Cryo pump

소개글

Cryo pump에 대해 정리한 리포트입니다

목차

□ Cryo Pump
• 개 요
• Cryopump
◦ 구 성
◦ 원 리
◦ Pump의 구성
◦ Compressor의 구성요소
◦ Pumping 원리
◦ Cryopump 기동순서
◦ Oil Mechanical Pump 사용시 주의 할 점
• 요 약

본문내용

□ Cryo Pump
• 개 요
- 대부분의 Pumpemfdms 용기내의 분자들을 외부로 배출시켜 진공을 만드 나, Cryopump의 배출방식과 다르게 용기내부에 있는 분자들을 움직이지 못 하게 하여 진공을 만드는 독특한 Pump이다. 비록 분자들이 Pump내부에는 있으나 분자들이 정지 상태이므로 압력이 발생하지 않으며, 분자들이 용기 벽에 충돌하지 않고 어떤 한곳에 모일 수 있게 만들 수 있는 것은 다음의 기 체 분자 운동론을 적용하여 보면 알 수 있다.
상기 식에서 만일 온도 T를 로 만든다면, 기체 분자들의 질량 m이 0이 될 수 없으므로 속도 v가 0이 된다. 다시 말해서 절대온도 T를 로 만들 수 만 있다면, 기체 분자들은 움직이지 못하는 상태가 되고, 입력이 0이 된다는 것을 알 수 있다.
Cryopump는 결국 이처럼 Pump내부의 온도를 까지 낮추어 분자들을 응축, 흡착방식으로 움직이지 못하게 잡아 둠으로 해서 압력을 낮추게 된다. Cryopump내부에는 움직이는 부분이 있으나, 오일을 사용하지 않는 매우 청 정한 Pump이며, 특히 다른 고진공 Pump와 비교하여 Throughput이 매우 탁 월하여 반도체 산업과 같은 고청정을 요구하는 공정에 널리 사용되고 있다.

참고 자료

- 백우성
대한설비공학회 (구 공기조화냉동공학회)
2003년도 냉동부문 학술논문 발표 및 강연회 (2003) 논문 참조