클린룸설비에 대하여

소개글

클린룸의 종류, 클린룸의 구성요소, FILTER의 종류, 클린룸의 방식. 클린룸 설계, 성능평가방법등과 직접사례조사한 내용도 담겨있어 클린룸에 대해서는 이 레포트 하나로 끝낼수 있다.
설비시간에 제출한 과제로 직접 견학을다니며 조사한 소중한자료입니다.

목차

1. 클린룸의 개요

2. 클린룸의 종류

3. 클린룸의 구성요소

4. FILTER의 종류

5. 클린룸의 방식

6. 클린룸 설계

7. 클린룸의 성능평가방법

8. 결론

▣ 사례 조사
① 오창 네패스(NEPES) 반도체 공장 제2공장
② 나노 종합 팹 센터 (NATIONAL NANOFAB CENTER)

본문내용

1. 클린룸의 개요

◎ 클린룸의 정의

클린룸이란 공기 중의 부유 미립자가 규정된 청정도 이하로 관리되고, 또한 그 공간에 공급되는 재료, 약품, 물 등에 대해서도 요구되는 청정도가 유지되며, 필요에 따라서 온도, 습도, 압력 등의 환경조건 등에 대해서도 관리가 행하여지는 공간을 말한다. 그 이외에 실내 기류 형상과 속도, 유해가스, 진동, 실내 조도 등이 관리항목으로 요구되고 있다.
그리고 클린룸은 반도체 산업뿐만 아니라 정밀산업, 전자산업, 의학품제조, 식품제조산업, 광학기계, 병원, 실험실 등 광범위한 범위까지 다양하게 적용되고 있다.

◎ 클린룸의 역사와 발전 배경

- 19세기 후반 세균의 발견 이후에 미생물이 전염병의 원인으로 밝혀짐에 따라 오염 물질이 제거된 청정 공간의 필요성 인식
- 20세기 급속한 산업 발달과 함께 청정 공간에 대한 요구 급증
- 2차 세계대전중 항공기의 주요 고장 원인이 기계, 전자 부품의 생산 시 부품에 부착되는 분진임이 밝혀서 미국 국방성의 주도로 청정 공간에 대한 연구가 수행되고, 이 결과가 각 산업분야로 전파되어 활용이 활성화
- 1965년 BCR이 병원에 설치된 것을 시초로 산업용 ICR은 우주항공, 전자산업을 중심으로 발전

◎ 클린룸의 필요성
- 최근 첨단 기술 산업의 중요성이 급속히 높아지고 있기 때문에 이들의 제조 기술은 거의 미세가공을 기본으로 하고 있음. 제품의 품질에는 공기 중 육안으로 식별이 불가능한 먼지나 세균 등이 큰 영향을 미치기 마련

참고 자료

차세대 클린룸 기술동향 - 최재홍
클린룸환경의 계획과 설계 - 김종열
나노종합팹센터 팹이용자 교육 책
반도체 클린룸의 설계 및 시공 - 대한설비공사협회