MEMS 소개 및 MEMS 응용 센서 조사

목차

1. MEMS (Micro Electro-Mechanical System)
1) MEMS란?
2) MEMS의 장점
3) MEMS 기술의 응용 분야
4) MEMS 부품에서 고려되어야 할 사항(단점)


2. MEMS기술을 이용한 센서
1) 관성 센서(Inertial Sensor)
2) 압력 센서(Pressure Sensor)
3) 유량 센서
4) 기타 센서로의 응용 분야

3. 참고 자료 : MEMS기술 센서 제품 시판 현황


4. 참고 문헌

본문내용

1. MEMS (Micro Electro-Mechanical System)
1) MEMS란?
멤스(MEMS: Micro Electro Mechanical Systems)란 미세전자기계시스템, 미세전자제어기술 등으로 불리는 것으로, 반도체 공정기술을 기반으로 성립되는 마이크론(㎛)이나 ㎜크기의 초소형 정밀기계 제작기술을 말한다. 다시 말하면, 마이크로 단위의 기계적 구조물(Mechanical Structure)과 전자회로가 집적화 되어 결합된 시스템을 뜻한다. 실리콘이나 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로, 머리카락 절반 두께의 초소형 기어, 손톱 크기의 하드디스크 등 초 미세 기계구조물을 만드는 기술이다. 유럽에서는 MST(Micro System Technology), 일본에서는 마이크로머시닉으로도 불린다.
MEMS는 육안으로는 보이지 않는 작은 전기기계소자를 제작하는 기술로서 아주 작은 기계 구조물을 제작해서 응용할 수 있는 모든 분야에 응용할수 있는 기술이다.
[그림 ] MEMS Structure 1
[그림 ] MEMS gyroscope (SEM)
또한 바이오기술(Biotechnology)과 결합하여 현재 의료, 생명공학 분야에 적용해 활용하고 있으며, 이러한 기술을 Bio-MEMS라고 불린다.

MEMS는 전자 및 기계 부품들로 구성되어 있고 초기에는 IC 공법과 소재를 이용하여 미세 기계 요소들을 만들었다. 즉, 앞서 잘 개발된 반도체 공법을 이용하여 실리콘 웨이퍼 위에 3차원 구조물을 만들었다. 요즘에는 LIGA, EDM 등 다양한 제작 공법과 소재들을 사용하고 있다. 이러한 MEMS 기술들은 일괄공정으로 초소형 부품들을 대량 생산해낼 수 있을 뿐 아니라 시스템 제조 시에 전자 회로 등을 같이 내장할 수 있어서 결과적으로 더욱 소형화 시킬 수 있는 장점이 있다. 만들어진 부품들은 보통 수 마이크로미터의 크기이지만 수 nm ~ 수 cm크기인 경우에라도 마이크로 머신이라고 한다. MEMS 기술로 만들어진 시스템은 수 밀리미터라고 할지라도 그 자체로 완전한 시스템이다 센서와 액추에이터는 MEMS기술을 이용할 수 있는 두개의 중요한 분야이다. 그것은 센서나 액추에이터가 비교적 단순하며 구체적인 기능을 가지고 있으므로 현재의 MEMS의 기술로서 용이하게 실현할 수 있기 때문이다. 또한 MEMS센서와 액추에이터는 사용 시 작업 대상에 영향을 덜 주므로 정확한 평가를 가능하게 한다.

참고 자료

1) http://www.microsystem.re.kr 전자 부품 연구원
2) http://www.itri.org.tw/eng/about/annual/annual96/p22_mems.jsp
3) http://oic.co.kr/data/2005/table.htm?text=yolwism;MEMs
4) http://www.cstl.nist.gov/div836/tech_reports/techrpt017.pdf