반도체재료의 물리적정제

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목차

I. 정제의 필요성
II. Si, Ge 의 원재료
III. 화학적 정제
V. 물리적 정제
IV. 참고 자료

본문내용

정제의 필요성
반도체는 약간의 불순물이라도 존재하면 그 특성이 현저하게 저하된다. 따라서 우리가 원하는 반도체의 특성을 얻고, 제어하기 위해서는 물질을 충분히 정제(purification)하여 고순도화 한 다음, 필요한 도핑(doping) 불순물을 첨가하여 우리가 원하는 p형 혹은 n형 반도체를 얻는다. 따라서 반도체 물질로 사용되는 4족 원소, Si 혹은 Ge 은 원석에 존재하는 불순물을 완전히 제거하여 순도를 보통 99.999999%(나인나인) 이상으로 (일반적으로 99.999999999%(일레븐나인) 사용) 정제하여 사용한다.

실리콘의 원재료
실리콘(Si,규소)의 원재료는 규암이라 부르는 비교적 순수한 모래(SiO2)이다. 실리콘은 산소 다음으로 지구상에 많이 존재(28%정도)하는 원소로서 융점이 높고 또한 용융상태에서 화학적으로 매우 활성이라는 점 때문에 게르마늄에 비하여 화학적, 물리적 정제에 고도의 기술을 필요로 한다.

게르마늄의 원재료
게르마늄을 함유하는 광석으로는 게르마나이트(germanite), 아르기로다이트(argyrodite) 및 레니라이트 (renierite) 광석등이 있다. 이 광석들은 산출량이 적어, 보통 다른 금속의 정련과정에서 Ge 을 함유한 중간 제품이나 부산물을 원료로 추출한다. 게르마늄을 추출하는 방법은 광석에 따라 다르지만 원료 광석의 제련과정에서 바로 4염화게르마늄(GeCl4)의 형태나 또는 순도 85~90% 의 산화 게르마늄(GeO2)이 얻어진다.

참고 자료

실리콘테크놀로지 / 이문희저 / 청문각
반도체기술핸드북 / 이종명저 / 한림원
반도체집적공정 / 곽계달저 / 학술정보
반도체공학 / 허규성저 / 일진사
전기.전자재료 / 이준웅저 / 동일출판사
참고자료
인터넷
http://www.semiconsynapsis.com/new.html
http://www.chem.uiuc.edu/webFunChem/SeeElements/silicon2.htm