[박막공학]진공펌프의 종류와 진공게이지

소개글

재료/반도체/표면공학-진공기술론 중에 진공펌프와 진공게이지에 대한 파워포인트 리포트입니다.

목차

진공
-진공상태 용도
진공펌프
-진공 펌프의 종류
진공게이지
-Bourdon 게이지
-열전쌍 게이지
-피라니 게이지
-이온게이지
-Penning 게이지

본문내용

진공상태의 용도

1) 공기 및 기체의 영향에 의한 부식, 산화등을 예방한다.
(제품보존등)
2) 물질의 끓는점을 낮아져 조기에 증발토록 한다.
(농축, 금속처리 등)
3) 흡착패드 등을 이용하여 타 기구로는 운반하기 어려운 물체의
운반에적합하게 된다. (분체, 판 등의 운반)
4) 물체속의 기체를 제거하고 타물질을 투입하는데 편리하다.
(가스충전, 함침 등)
5) 전기적 특성이 있다. (반도체, 브라운관, 진공관 등)

진공이란?
라틴어의 `Vacua`에서 유래
실제로 진공은 단지 부분적으로 비어 있는 공간을 의미
대기압 (1 기압) 이하의 Gas로 채워진 공간을 말함
실제로는 완전한 진공을 만들기가 매우 어렵기 때문에 보통 1/1000(10-3)㎜Hg 정도 이하의 저압을 진공이라 한다

참고 자료

참고 문헌
진공 공학, 한국경제신문, 배석희 외 4명 지음, p299~317
http://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%A7%84%EA%B3%B5
http://psel.snu.ac.kr/psel/files/lecture/vac2-gauge.hwp