ITO glass cutting, glass 세정 및 건조공정

소개글

LCD cell의 기판이 되는 ITO glass를 cutting하고 세정, 건조하여 cell 제작공정에 대해 알아본다, ITO glass 위에 MASK 상의 패턴을 전송할 수 있다.
실험과정 그리고 이론, 토의까지준비

목차

실험제목
실험목적
실험이론
실험과정
실험결과
토의
참고문헌

본문내용

1)ITO
ITO란 Indium Tin Oxide의 약자이며, 투명하면서 전기가 통하는 물질을 말한다. ITO(Indium Tin Oxide)는 In₂O₃: SnO₂ = 90 : 10 ~ 95 : 5의 비율로 Sn doped In₂O₃ 입니다. ITO는 ATO와 유사한 특성을 지니지만 ATO에 비하여 높은 전기전도도가 우수하면서 Band-gap이 2.5eV이상으로 가시광역에서 높은 투과성을 나타내기 때문에 각종 디스플레이 패널, 전저파 차폐 Film, 유기 EL등에 사용되고 있다. 또한 다른 투명전극 재료에 비해 전극 패턴 가공성이 우수하고, 화학적 열적안정성이 뛰어나며 Coating시 저항이 낮다.

2)ITO glass
ITO Glass는 투명 기판(Glass) 위에 ITO 박막을 sputtering 방법으로 코팅한 유리를 말함. 투명 Plastic film 또는 sheet 기판에도 적용이 가능. (ITO란 Indium Tin Oxide의 약자이며, 투명하면서 전기가 통하는 물질임.) 모든 디스플레이에 공통적으로 사용되고 또한 필수적인 것이 투명전극으로 불리는 ITO Glass이다. 이들의 조성은 90In2O3-10SnO2 부근으로 보다 높은 투명도와 전도도, 그리고 평탄도를 갖도록 공정제어가 행해지고 있다. 이들은 디스플레이에서의 투명전극으로의 응용 이외에 대전방지막, 열반사막, EMI 방지막, 면발열체, 광전변환소자 등 다양한 응용처를 가지고 있다.

참고 자료

없음