sheet resistance 측정 실험보고서(4 point probe)

소개글

4 point probe를 이용하여 sheet resistance를 측정한 실험보고서 입니다.

목차

Objective
General principle
Experiment
Calculation
Discussion

본문내용

Calculation
1Å=㎝ Rs=ρ/t
500Å
Rs의 평균값=(12.97+13+13.23)/3=13.07 Ω/㎠
ρ=13.07Ω/㎠*5*㎝=6.533* Ω/㎝
2000Å
Rs의 평균값=(2.678+2.679+2.692)/3=2.683 Ω/㎠
ρ=2.683Ω/㎠*2*㎝=5.366* Ω/㎝
6000Å


Discussion
How can Rs be expressed as a function of thickness?
→ Rs(Ω/㎠)=ρ(Ω/㎝)/t(s≫t)
Is there any better way to get the relationship between Rs and t?
→ thickness를 잴 때나 Rs를 잴 때 좀 더 정확하게 측정을 하고 미세하게(ex: 500 Å, 2000 Å. 6000 Å 뿐 아니라 더욱 측정간격을 줄이는 방안) 측정함으로써 더욱 정확한 relationship graph를 얻을 수 있다.
Is there any better way to measure the sheet resistance of materials?
¡æ sheet resistance의 측정은 여러 가지 요인에 의해서 약간의 오차가 발생할 수 있다.
그러므로 그러한 환경을 최소화 한다면 좀더 정확한 값을 얻을 수 있다. 오차의 이유는 4)에서 이야기하였다.

What do you think the same thickness samples have difference Rs?
→ sample도 역시 만들어진 것이기 때문에 약간의 오차가 생길 수 있다. 예를 들면, 이온을 떨어뜨려 막을 만드는 과정에서 두께가 다르게 될 수 있다. 또한 실험과정에서도 오차를 만드는 요인이 있는데, 실험실 안에는 미세먼지가 많이 존재하기 때문에 그것에 영향을 받을 수 있다

참고 자료

없음