진공 증착 물리 실험

소개글

진공 증착 물리 실험 보고서입니다.

목차

1. 진공이란?
2. 왜 진공을 만들어야 하는가?
3. 오일 회전 베인 펌프 (Oil Rotary Vane Pump)
4. 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
5. 진공 증착
6. 진공 게이지
7. 실험 방법
8. 결과 및 고찰

본문내용

1. 진공이란?
진공에 대한 정의는 여러 가지로 설명되고 있지만 진공 기술에 관한 국제적인 규격을 제시하고 있는 ISO(International Standard Organization)와 AVS(American Vacuum Society)의 기준에 따르면 다음과 같이 정의된다.
“중략..
5. 진공 증착
진공 증착법은 1857년에 Faraday가 처음으로 행한 방법으로, 진공 중에서 금속, 화합물, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 evaporated된 입자들을 표면에 증착시키는 방법이다. 진공에 놓은 용기 속에 피복될 물체와 그 표면에 부착시키려는 금속들의 입자를 넣어 둔다. 가열기를 이용하여 그 금속입자를 휘발시켜 차가운 물체표면에 응축, 부착하는 것을 이용하여 표피를 붙인다. 가열체와 피증착 표면간의 거리가 분자의 평균자유행로에 비해 충분히 작아지게 될 정도의 고진공으로 유지할 것과 표면을 깨끗하게 하여 흡장수분을 완전히 제거해 두는 것이 필요하며 10-9mmHg이상의 초고진 공중에서 증착하면 흡장불순물의 영향이 없는 깨끗한 증착막을 만들 수 있다.
제조된 박막재료는 금속, 합금을 비롯 화합물과 비금속 산화물 등이 있으며 이들 박막의 기능과 성질은 매우 다양하며, 사용범위는 소자의 소형화, 경량화, 초집적화의 추세에 따라 용기, 반도체, 기판등 다방면으로 급격히 확산되고 있으며 화장품 용기에도 용기 코팅 품질
향상을 위해 이 기술이 적용되고 있다.
진공증착 박막방법의 장점은
(1) 장치전체 구성이 비교적 간단하다.
(2) 표면 박막의 내구성과 접착성이 우수하다
(3) 여러 가지 용기 재질에 쉽게 적용할 수 있다.
(4) 박막이 될 수 있는 메카니즘이 비교적 단순하기 때문에 박막형성에 있어서 핵생성이나성장이론과의 대응을 하기 쉽다.
(5) 박막을 만들 때, 열적, 전기적 번잡함이 작기 때문에 박의 형성시의 막의 물성연구(insitu observation)에 적합하다.
(6) 열역학적으로 평형조건에서 되는 물질과 다른 결정구조를 지닌 물질이나 다른 성분비를 지닌 화합물을 만들 수가 있다.

참고 자료

없음