진공펌프의 종류와 용도

소개글

우리는 주변에서 진공이란 말을 많이 들으면서 살고 있습니다. 넓은 의미로 정의하면 대기압보다 낮은 기체의 압력 상태를 말하는데 가까이에서 많이 접하고 있다. 높은 산에 오라가면 물이 잘 끓지 않는 현상, 빨대를 이용하여 음료수를 들이키는 것, 숨을 들이쉬는 것, 바람이 세차게 부는 날 전봇대에서 소리가 나는 것 등이 진공 현상과 관련이 있다고 하겠다. 또한 일상생활 주변에 있는 많은 제품들이 직접 또는 간접적으로 진공에 관련되어 있다. 진공보온병, 진공청소기, TV 브라운관등 일상 생활에 직접적으로 관련 된 것 뿐만 아니라 우리가 모르는 중에 사용하고 있는 대부분의 전자제품의 부품들이 진공공정과정을 통하여 만들어진다. 그럼 이런 진공이 왜 필요한 것인가 이 필요성을 그게 세가지로 구분할 수 있다. 첫째는 깨끗한 환경 제공이다. 예를 들어 반도체 물질의 도핑 정도를 따질 때 ppm이란 단위를 쓴다. 즉, 백만분의 일 정도의 이물질이 그 특성을 바꾼다는 것이다. 실제로 반도체 재료인 실리콘 10ppm 정도의 붕소를 첨가하면 전기 전도도가 약 1000배정도 증가한다 이 정도면 대기중에서 수소분자를 만나는 확률이다. 따라서 이런 경우에는 오염의 없는 환경이 필요한 것이다.

목차

서론
본론
결론
참고문헌

본문내용

이런 진공펌프의 성능을 구분하는 여러 가지 기준이 있다. 우선 배기속도를 말할 수 있다. 펌프의 성능을 나타내는 용어로서 그 단위로는 보통 L/sec가 일반적이고 영미 단위계의 경우 ft3/min을 많이 사용한다. ‘배기’라고 표현하는 것이 현상적으로 맞는 것 같은데 실제 여러 가지 펌프들의 작동원리는 감안하면 꼭 맞는 표현은 아니다. 예를 들어 게터 펌프의 경우 제거된 기제가 여전히 진공용기 속에 있기 때문이다. 배기속도는 경우에 따라 구분해서 사용해야 한다. 즉, 그 자체의 성능을 표시하는 배기속도가 있고 진공용기와 각종 진공기기가 어울러진 진공시스템 전체에 대한 배기속도가 있다. 후자의경우는 전도를 고려한 값으로 실제적인 표현이라고 할 수 있다. 이 배기속도라는 물리량은 주어진 진공용기로부터 단위시간당 얼마만큰의분자를 제거해 주는지에 대한 정보는 지니지 않고 있다. 물론 진공용기 속이 기체로 가득 차 있거나 진공작압을 위해 기체가 계속 공급되고 있는 경우는 큰 배기속도를 가진 펌프는 진공용기 속의 입자를 빠르게 뽑아낸다는 의미를 가지고 있으며 때로는 도달할 수 있는 진공용기의 압력도 낮다. 하지만 압력이 낮을 때는배기속도란 말 그자체로는 큰 의미가 없다. 즉, 그 단위에서 보듯이 거의 빈진공용기에서 매초 몇 L의 부피를 제거한다는 뜻이 되는데 어떤 의미가 있는가? 비유적인 예를 들면, 먼지가 거의없는 카펫을 흡인력이 좋은 진공 청소기로 빨아들이든지 흡인력이 나쁜 청소기로 작업을 하고 있던지 거의 아무 일도 일어나지 않고 있다는 사실이다. 즉, 이런 경우에 흡인력의 좋고 나쁨은 아무런 정보를 주지 못한다. 단지 에너지 손실만이 다를 뿐이다. 그리고 압력범위에 따라 배기속도가 일정하지 않는 펌프도 많다. 두 번째는 배기량이다. 주어진 온도에서 일정 크기의단면을 통해 단위시간에 지나가는 기체량으로 [압력ⅹ부피]의단위로 나타낸다. 실제로 배기되어 나가는 입자수에 비례하므로 진공용기의출구에서 펌프의배출구까지 어느 단면에서 측정하든지 간에 같은 값이 되어야 한다.

참고 자료

없음