비저항이란?

소개글

비저항이란?

목차

1. 실험제목
2. 실험목적
3. 이론
4. 실험방법
5. 결과
6. 고찰

본문내용

1. 실험제목 : 비저항
2. 실험목적 : 재료의 전기적 성질인 비저항에 대하여 알아본다.
3. 실험이론

① 저항과 비저항

저항은 어떤 물체에 전기의 흐름을 막는 정도에 대한 값이다.
이 전기저항은 같은 재료라고 한다면 재료가 길수록 그리고 단면적이 작을수록 전기저항은 커집니다. 즉 형상에 따라 전기저항 값이 달라집니다.
전기저항을 결정하는 또다른 요소는 재료의 성질이다. 같은 형상이라고 하더라도 소재에 때라 전기를 잘 흘릴 수 있고 어떤 것은 전기가 거의 통하지 않는 경우도 있다.
비저항은 이같이 재료가 얼마나 전기를 잘 흘릴 수 있는가를 나타내는 물성값입니다.
같은 비저항값을 갖는 재료가 같은 형상이면 전기저항의 값이 같다.
하지만 비저항값이 다르면 같은 형상이라도 저항값이 달라진다.
형상과 저항의 관계는 길이가 길수록 그리고 단면적이 작을수록 전기저항은 커진다.
이것을 수식으로 나타내면
전기저항 = 비저항 * (길이/단면적)


② 비저항의 변화

반도체 박막의 비저항값은 공정시 매우 중요하다 한 예로 Al박막의 비저항값의 변화에 대하여 알아보았다.

온도와 증착속도에 따른 Al표면의 비저항 변화

Al박막의 전기전도도는 표면 grain의 크기와 박막의 두께에 의존성이 있다. 즉 grain이 크면 전기전도도가 좋다(비저항이 낮다). 따라서 Al박막이 두꺼운 웨이퍼가 가장 비저항이 낮은 특성을 보여 준다. 그리고 두께 또한 중요한 변수가 된다. 한 변이 일정할 때 두께가 두꺼울수록 저항체의 단면적이 증가 하므로, 두께가 두꺼우면 비저항이 감소한다. 따라서 가장 얇은 12in/min 웨이퍼가 가장 높은 비저항 값을 나타낸다. 온도특성 또한 표면온도가 높으면 grain의 크기가 증가해서 비저항 값을 낮춰준다. 9in/min의 데이터를 보면 잘 설명이 된다. 한 가지 실험 결과에서 특이한 점은, 300℃ 12in/min 웨이퍼의 비저항 값이 예상외로 낮은 값을 나타낸다. 오차가 너무 심하여, 일반적인 예상가능한 공정변수로 인한 오차가 아닌, 측정자 혹은 공정자의 실수로 인한 오차일 가능성이 크다.

참고 자료

없음