마이크로열유체

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마이크로열유체

본문내용

MEMS 소개
◈ Micro Electro Mechanical Systems의 약어
◈ 1960년대 초 - 실리콘 가공기술에서 시작
◈ 1970년대 - 이방성 에칭을 이용한 여러 가지
device가 연구
◈ 1980년대- surface micro machining 기술
◈ 현재- LIGA, LASER, 전기방전 등등의 여러 제작
기술이 개발

MEMS 이용분야
1. 광학용 : Optical mirror, switch, waveguide

2. 센서 : 속도계, 압력 센서, 중력계

3. 모터 : 초소형 모터, 기어

4. RF (Radio Frequency) : 저잡음 장비, 도파관, 필터,
inductor
5. 생체학 : DNA 칩, 마이크로 펌프, 체태 수술 로봇

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