전자 현미경

소개글

전자현미경의 정의와 원리, 사진, 응용분야 등에 관한 내용입니다.

목차

전자현미경
1.원리
2.배율
3.종류
1)TEM
2)SEM
3)TEM과 SEM의 비교
4.응용범위

본문내용

전자현미경 [電子顯微鏡, electron microscope]
광학현미경의 광선 대신에 전자빔, 광학렌즈 대신에 전자렌즈를 사용하여 형광면 위에 물체의 확대상을 결상시켜 관찰하는 현미경.

1.전자현미경의 원리

-SEM 이란 10-3Pa이상의 진공중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의 미세한 전자선으 로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등의 분석을 행하는 장치이다. 주로 금속 등의 도체, IC, 산화물 등의 반도체, 고분자 재료나 세라믹 등의 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 된다. 주로 2차 전자가 시료의 형태관찰, 반사전자나 X선이 성분분석에 사용된다. 전자선은 전자총부의 원통내의 음극(Filament) 를 가열하여 발생한 전자가 양극으로 가속되어진다. 통상, 0.5~30kV로 가속되어진 전자선은 집속 렌즈와 대물렌즈의 전자 렌즈의 작용으로 최종적으로 3~100nm의 직경까지 미세해지며 시료표면에 조사 된다. 이렇게 미세해진 전자선을 전자 probe라고 부른다. 전자probe는 주사 코일에 의해 전자표면상의 X와 Y의 2차원방향으로(통상의 Television) 새롭게 설정된 면적을 주사 시킨다. 전자 probe의 주사와동기된 브라운관 화면상에 시료로부터 발생한 신호를 각각의 신호로 변환시킨 검출기에서 검출, 증폭하여 영상으로 보여준다. 브라운관화상은 전자 probe의 주사면적을 작게 할수록 확대 되어진다.

참고 자료

없음