TEM(투과전자현미경)의 원리, 특성과 SEM과의 비교

소개글

고 에너지를 가진 전자가 얇은 시편에 입사되어 투과된 전자의 위상과 강도에 의하여 영상이 형성되는 현상을 이용하는 TEM 즉, 투과전자현미경에 대한 자료입니다. 투과전자현미경의 원리, 특성 그리고 SEM과의 비교를 통해서 TEM을 이해할수있습니다.

목차

TEM

Introduction

TEM의 구성

TEM의 특징

TEM과 SEM의 비교
▣ TEM의 시료준비
▣ TEM의 시료준비
▣ Applications of TEM

왜? TEM 인가

TEM Image

본문내용

TEM
Introduction
투과 전자 현미경의 개요
고 에너지를 가진 전자가 얇은 시편에 입사되어 투과된 전자의 위상과 강도에 의하여 영상이 형성되는 현상을 이용하는 방법
◎ 회절 Contrast - 시료 내부의 구조적인 정보
◎ 회절 Pattern 결정학적 구조
◎ 특성 X선 화학적 조성에 관한 정량적 정보
▣ Illuminating system
→Electron gun
→ Condenser lenses
TEM의 구성
▣ specimen manipulation system
→ Specimen stage
→ specimen holder
▣ Imaging system
→ Objective lens
→ intermediate lens
→ projector lens
시편에 입사되는 전자빔의 양을 조절
얇은 시편의 방향을 조절
영상을 형성하고 초점을 맞추고 배율을 조정
High lateral spatial resolution(better 0.2nm “point to- point”
Capability to provide both image and diffraction information from single sample
TEM의 특징
A focused electron beam is incident on a thin film(less than 200nm)sample
The signal is obtained from undeflected

참고 자료

없음