[OLED, LED] (Sputtering) 금속 박막 특성 평가

소개글

실험주제는 `Sputtering을 이용하여 증착한 금속(Ni) 박막의 특성을 분석한다. Sheet Resistance, Resistivity, Etch rate의 개념을 익히고 four probe measurement의 사용법을 익힌다.`이었고 이에 대한 이론 조사 및 실험 결과-분석을 했습니다. 필요하신 내용이 있으신 분은 참고하시길 바랍니다.

목차

1. 실험목적
2. 실험기구 및 재료준비
3. 실험이론
- Conductivity vs Conductance
- Resistivity (비저항) vs Resistance (저항)
- Sheet resistance (면저항 ohm/sq = Ω/□)
- Four-Point Probe Measurement
4. 실험방법
- 박막 준비
- Sheet resistance 측정
- Adhesion Test
- Etch rate 측정
5. 실험결과
① Sheet resistance
② Ni의 resistivity(비저항) : ρ (단위 : Ωm) - 문헌값과 비교 포함
③ Etch Rate
④ Adhesion
6. 결과분석 및 고찰

본문내용

1. 실험목적
Sputtering을 이용하여 증착한 금속(Ni) 박막의 특성을 분석한다. Sheet Resistance, Resistivity, Etch rate의 개념을 익히고 four probe measurement의 사용법을 익힌다.

2. 실험기구 및 재료준비
금속(Ni) 박막, 칼, Teflon Beaker, 케톤 테입, 증류수, 질산, 염산

3. 실험이론 (자세한 내용은 본문 참조.. 생략)
- Conductivity vs Conductance
- Resistivity (비저항) vs Resistance (저항)
Resistivity (비저항)은 물질이 가지고 있는 저항의 정도로 물질이 얼마나 전류를 잘 흘릴 수 있는 지에 대한 물성값이다. 물질마다 저항의 정도가 다르지만, 같은 물질이면 그 정도가 같다. 비저항은 단위길이와 단면적의 물질이 띠는 저항의 크기 를 말하는 것으로, 물질마다 다르기 때문에 물질의 특성이 될 수 있다 단위는 이다....(생략)
- Sheet resistance (면저항 ohm/sq = Ω/□)
- Four-Point Probe Measurement
4-point probe는 탐침이 4개가 달린 표면저항측정용으로 사용하는 probe를 일컫는 말이다. 보통은 1mm간격이며 일렬(Linear type)로 탐침을 정렬시킨 것을 말한다....(생략)

4. 실험방법
- 박막 준비
- Sheet resistance 측정
- Adhesion Test
- Etch rate 측정

5. 실험결과
① Sheet resistance
② Ni의 resistivity(비저항) : ρ (단위 : Ωm) - 문헌값과 비교 포함
③ Etch Rate
④ Adhesion

6. 결과분석 및 고찰

참고 자료

없음