pvd 실험 보고서

소개글

PVD 실험을 통한 증착방법을 이해하고 고찰한다.
공학실험에서 결과예비 모두를 포함한 실험 보고서.

목차

1.실험제목
2.실험목적
3.실험의 이론
실험방법
실험결과
고찰

본문내용

<물리증착법>
물리증착(PVD : Physical Vapor Deposition)이란 진공증착, 스퍼터링 및 이온 플레이팅을 총칭하는 용어이다. 금속재료의 표면경화처리에는 예로부터 여러 가지 방법이 이용되어 왔으나 최근에는 내마모성과 내열성의 향상과 함께 내식성 및 장식성을 동시에 개선시킬 목적으로 PVD법이 주목을 받고 있다.
PVD법은 공해가 없으면서 가능성이 아주 풍부한 표면경화처리기술로 판단된다.
최근 십 수년이래 초경합금이나 합금공구강 등 공구류에는 물리증착법이 널리 적용되어 왔으며, 우수한 내마모성 때문에 공구 수명의 크게 연장되었다. 따라서 착실하게 그 사용량이 확대되고 있는 실정이다. 물리증착법중에서도 이온 플레이팅에 의한 피복법이 가장 많이 채택되어 있으므로 그 내용을 중심으로 기술하기로 한다.
물리증착법의 원리와 특징
스퍼터링법은 증착시키려는 물질인 기판을 양극으로, 타겟(피처리물)을 음극으로 하여 그로우(grow)방전시킨 것이다. 이 때 타겟에 조사되는 이온의 운동에너지는 수 백 내지 수천 전자볼트(keV)이다.
물리증착법중에서도 최근에 주목을 받고 있는 플라즈마 아크식 이온플레이팅법(일명 이온 본드법)은 러시아에서 개발된 이온플레이팅법이다. 기술 사용권리를 미국의 멀티아크(Multiarc)사가 취득하여 실용적인 생산설비 개선과 그 조업기술을 계속하여 향상시켜 왔다. 이미 미국을 비롯한 선진국은 물론이고, 인도, 중국, 브라질 등에서 코팅기술센터방식의 수탁가공이나 공구메이커의 전용 가공시설로 도입 운영되고 있는 실정이다.
이 이온플레이팅은 진공 용기 내에 증착시키고 싶은 금속을 증발시켜, 1) 피가공물의 표면에 금속피막을 증착시키거나, 2) 동시에 반응가스를 진공 용기 내에 도입하여 피가공물의 표면에 두 성분으로 된 화합물을 형성시키는 두 가지 경우가 있다. 세라믹 코팅에는 후자가 이용되는 것이며, 반응성 이온플레이팅이라고도 부른다.

참고 자료

없음