MS 파워포인트 
소개글
TFT 제작실험입니다.목차
1. Introduction1-1. TFT의 정의
1-2. A-si TFT
1-3. Poly-si TFT
1-4. Single-si TFT
1-5. OTFT
1-6. TFT 제조공정
2. Experimental Process
Wafer Cleaning
Priming, PR dispersing and spining
Developing
Etching
Doping
Dielectric Layer Deposition
Metal Deposition
전극측정(Probestation 이용)
3. Experimental Results
VDS Curve
VGS Cuve
4. References
본문내용
1-1. TFT (Thin Film Transistor)- 유리 기판 등의 절연 물체 위에 화학 증착법(CVD)등의
증착방법으로 트랜지스터를 형성하는 것
1-2. A-Si TFT (Amorphous Silicon Thin Film Transistor)
- 비정질 실리콘 박막을 활성층으로 사용하는 TFT
A-Si TFT 의 장점
1) 저온, 넓은 영역에 걸쳐 증착 가능
2) 다른 물질의 표면과 접착이 잘 됨
4) 내스크래치성, pattern화가 잘됨
5) 독성이 없음
6) 400도 이하에서 형성, 유리기판 사용
A-Si TFT 의 단점
1) 비저항 수치가 높고 결함이 많음
- 고정밀 고속 디스플레이에 부적합
2) Photo leakage current 매우 높음
- 가시광에 노출 시 특성이 매우 불안정
1-3. Poly-Si TFT (Poly Silicon Thin Film Transistor)
- 다결정 실리콘 박막을 활성층으로 사용하는 TFT
1-4. Single-Si TFT (Single crystalline Silicon Thin Film Transistor)
- 단결정 실리콘 박막을 활성층으로 사용하는 TFT
1-5. OTFT(Organic Thin Film Transistor)
- 유기물 반도체재료를 활성층으로 사용하는 TFT
1-6. TFT 제조공정 : Gate Metal Deposition
Wafer Cleaning
1) Si-wafer를 결정 방향으로 커팅
(Clean Bench에서 작업)
2) Ultra Sonic Cleaner로 세척
- 아세톤 처리 (Wafer의 불순물 제거)
- Isopropanol 처리 (표면 이온 제거)
- Di-water 처리 (남아있는 IPA 제거)
참고 자료
1) http://cafe.naver.com/goodcoating.cafe Gcos 2강 박막2) OTFT 소자와 회로 연구개발 동향 / 배병성 교수 / 경희대학교 정보디스플레이학과
3) http://www.udia.co.kr/rnd/lowtem.html / UDIA
4) Display 산업 기술 / 이승훈 / 원광대학교 반도체학과 교수
5) 전계 방출 이론 및 응용 / 이종덕 / 청범출판사
6) http://ko.wikipedia.org/wiki/%EB%B0%95%EB%A7%89 위키피디아 사전
7) http://www.semipark.co.kr/semidoc/waferfab/thin_film.asp?tm=8&tms=8 반도체 종합 정보 서비스 Semipark
8) Flexible 디스플레이로의 응용을 위한 플라스틱 기판 위의 박막트랜지스터의 제조 /
배성찬 외 2인 / 대한전자공학회 전자공학회논문지 제40권 SD편 제7호
9) 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 Active Matrix OLED 디스플레이를 위한 이중 변조 구동 / 김재근, 정주영 저 / 대한전자공학회, 전자공학회논문지 제41권 SD편 제10호
