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evaporator의 원리 및 이론

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최초 등록일
2008.12.24
최종 저작일
2008.12
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소개글

박막 제조 공정 중 evaporator의 원리 및 이론에 대해서 설명한 자료입니다

목차

1. 진공이란?

2. Evaporation

3. Plasma Assisted E-beam Evaporation

4. 분석

본문내용

1. 진공의 정의
- 대기압보다 낮은 압력의 기체로 채워져 있는 특정공간의 형태
- 현재 최고 진공도 :1 ㎤에 3000개의 기체분자 존재
- 진공영역

2. 진공의 단위
- 압력의 단위 : Pa 로 표기 (종래 Torr – Torricelli가 처음 진공제조)
1 Pa = 1 N/ ㎡ , 1Torr = 133.322 Pa
압력단위 환산표

참고 자료

없음

태그

#evaporation의 원리#plasma assisted evar#진공의 정의#진공의 단위#진공의 영역

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