때려내기에 의한 박막증착

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최초 등록일: 2009.01.31
최종 저작일: 2008.05; 2페이지/ MS 워드; 가격 1,000원

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실험 메뉴얼에 이론이 나와 있을 것이고, 여기에서는 실험 자료 분석 및 토의를 실었습니다.

본문내용

저압의 기체 중에서 2개의 전극간에 고전압을 걸고 방전을 일으키면, 방전으로 인해 생긴 양이온이 음극에 충돌한다. 그 결과, 음극 표면의 원자가 튀어 나오는데, 이 현상을 sputtering 이라고 부른다. sputtering 된 원자를 기판에 증착시킴으로써, 박막을 형성할 수 있는데 이러한 성막 방법은 반도체, 전자 부품 등에 넓게 이용되고 있는 기술이다. 우리는 박막을 증착시키기 위하여 이러한 sputtering 증착법을 사용하였다.

참고 자료

없음

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