"대기압 플라즈마" 검색결과 201-220 / 398건

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  박막재료의 표면처리 및 식각실험(예비)

  전기장과 자기장은 보다 넓은 영역에 효력을 미치게 되어 매우 복잡하지만 활용성 또한 높은 물리적 현상이 나타난다.② 이용분야● 대기압 플라즈마정의기체의 압력을 100 Torr 부터 ... 대기압(760 Torr) 이상 까지 유지하면서 저온 플라즈마를 발생하는 기술을 의미한다.응용분야적용기술적용분야물질의 표면 개질(reforming) 및코팅 기술-반도체 후공정을 위한 ... 사용하여 적절한 식각가스와 power를 선택하여 식각 실험을 진행한다.(4) 식각된 산화막의 표면의 색깔과 패턴 모양 관찰 - 광학 현미경 사용(5) 마스크 패턴의 제거 (O2 plasma

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.07.28

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  박막재료의표면처리및식각실험(예비).

  이에 비해 성숙기에 들어선 세계 자동차 판매는 침체를 벗어나지 못하고 있다.연간 6000만대 규모의 세계 자동차 시장은 2004년정의기체의 압력을 100 Torr 부터 대기압(760 ... 사용하여 적절한 식각가스와 power를 선택하여 식각 실험을 진행한다.(4) 식각된 산화막의 표면의 색깔과 패턴 모양 관찰 - 광학 현미경 사용(5) 마스크 패턴의 제거 (O2 plasma ... 설명된 플라즈마 발생 기술 이외에 신개념 저온 플라즈마 발생 시스템 및 차세대 신기술에 사용될 수 있는 플라즈마를 이용한 시스템을 의미한다.응용분야적용기술적용분야반도체 및 Nano

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.09.23

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  박막재료의 표면처리 및 식각실험

  특히 대기압에서 개방상태의 석영관으로 하거나 기압을 상승시켜 닫힌 상태의 석영관으로 하는 방법이 있다. ... 또한 낮은 온도에서의 증착법(CVD), 전해액을 사용하여 성장하는 방법 등이 있으나 주로 고온산화막성장법이 사용되며 대기압에서 개방상태의 석영관으로서 공정을 한다. ... 이밖에 최근에는 차세대 고선명 텔레비젼에서 요구되는 대화면(50인치) 평판 표시장 치의 하나인 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel)에 대한 연구가 수행되고 있 고

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2008.05.27

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  [공학] 코로나 방전을 이용한 디젤엔진 배기가스 제거기(플라즈마)

  전자사태를 일으키기 위해서는 약 30[kV/cm] 이상의 전기장 필요 . ( ※ 단 상온 , 대기압 , 건조한 공기조건 ) 스파크 또는 절연파괴 : 국부적이고 순간적 방전 코로나 방전 ... 원통형 반응기 선 – 원통형 코로나 반응기 전체 평면도 2008 년 10 월 21 일지배방정식 2008 년 10 월 21 일 전위 전계강도코로나 개시전압 보통 평판전극을 이용하여 대기압의 ... 고주파 코로나 ( 펄스 코로나 ) 전극에 지속시간 1[us] 정도 이하의 펄스 고전압 인가시 방전전극에서 선상으로 퍼지는 코로나 방전이 발생하여 전극간의 넓은 범위를 플라즈마화 할

  리포트 | 15페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.01.09 | 수정일 2015.11.05

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  PDP에 대하여

  PDP플라즈마는 기체방전현상 중에서도 대기압에 가까운 고압력 글로우 플라즈마이다. ... PDP의 구조 및 발광원리3-1. plasma ?plasma는 흔히 ‘제4의 물질상태’라고 한다. ... PDP(Plasma Display Panel)의 역사와 개요1-1.

  리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.21

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  LNG선건조공법

  곡선 ]- 초저온 : 주성분인 메탄의 임계 온도가 낮고, 상온에서 가압할 때 액화하지 않아, 통상 대기압 에서 약 -163도의 초저온 액체 상태로 만들어 수송. ... LNGC용 WPS 승인을 위한 plasma 용접기 적용Membrane sheet 자동 plasma 용접 장비 개발LNG선의 역사Ⅰ[ Methane Princess at Canvey ... 연구 동향2. plasma 자동 용접 장비 개발3. 개발 장비의 문제점 파악 및 개선4.

  리포트 | 29페이지 | 5,000원 | 등록일 2010.04.07

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  생리학 총론

  Cl-이 나타내는 삼투압이 가장많음(90%): 혈장의 삼투압은 약 300mOsm/L(혈구삼투압도 비슷)5. ... 면역반응구분세포성면역체액성면역림프구T림프구B림프구분화세포독성T림프구도움T림프구(helper T -cell)억제T림프구(Supperssor T-cell)형질세포(plasma cell) ... 이산화탄소(Pco2), pH, 온도, 2,3-DPG에 대한 영향(pH가 높다는 것은 이산화탄소는 적다는 것이고 이 때 포화도가 높게 된다, 온도가 낮을때 숨쉬기가 편하다는 말은 대기

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.10.30

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  VOC , 휘발성유기화합물

  VOCs1) VOCs의 정의증기압이 높아 대기 중으로 쉽게 증발되는 액체 또는 기체상 유기화합물의 총칭이다. ... 대기 중에서 광화학반응을 일으켜 오존 등 광화학 산화성물질을 생성시켜 광탄화수소류, 방향족 탄화수소류, 비균질 탄화수소류 (알데히드, 케톤, 알콜 등)중 레이드 증기압이 29.7kPa ... 여기서 레이드 증기압은 ASTM D323-90에 의하여 측정된 증기압으로서, 순수 단일물질의 경우 37.8℃(100℉)에서의 증기압과 같다.1.

  리포트 | 21페이지 | 3,500원 | 등록일 2009.07.25 | 수정일 2016.01.27

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  박막 재료의 표면처리 및 식각 실험 예비보고서

  평형플라즈마의 전형적인 것은 대기압 중에서의 아크방전에 의해 상성된 열플라즈마이고, 비평형플라즈마의 대표적인 것은 저압 중에서의 글로우방전에 의한 저온플라즈마이다.플라즈마는 자연계에서도 ... 식각장치 사용하여 적절한 식각가스와 식각가스를 선택하여 식각 실험을 진행한다.(4) 식각된 산화막의 표면, 표면 색깔과 패턴 관찰 - 광학현미경 관찰(5) 마스크 패턴의 제거 (O2 plasma ... 평형상태에 있는 플라즈마를 평형플라즈마, 평형 상태가 아닌 플라즈마를 비평형플라즈마라고 부른다.

  리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.03.20

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  자원과환경 족보

  연속적으로 존재 -통기대: 지하수면 위=지하수가 없는 곳 -포화대: 지하수면 아래=지하수가 차있는 곳 ★대수층: 물이 저장되어 있는 일종의 저수지 -자유면대수층: 지하수면에서의 압력이 대기압과 ... -핵융합장치: 고온플라즈마(고온에서 전자와 핵이 분리된 채 섞여있는 상태)를 고밀도로 가두는 토카막을 이용※신에너지: 석유에너지 및 대체에너지의 개발 이외에 자연의 에너지 흐름을 인간의 ... 동일한 상태 -피압대수층: 포화대의 상하부에 투수성이 불량한 지층이 있어 대수층 안에 있는 지하수가 압력을 받는 상태지하수 운동 -이동속도: 대수층, 지질구조, 지형, 기후, 인위적

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.03.20

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  용접 - 플라즈마 용접

  아크 전압은 양극 강하, 아크기둥 강하, 음극 강하로 이루어지며, 대기압에서 20 ~ 40V 정도이다. ... (단위 : V/mm 또는 V/cm)Plasma 전압강하 Ep = 아크의 전위경사도 × 아크 길이 열적핀치효과 (Thermal pinch effect): 아크 기둥(Plasma)이 주위로부터 ... potential) 분포* Pa = Ea · I = (Ek + Ep + EA) · I : 아크(Arc)에 공급되는 에너지로서 열과 빛 에너지로 전환된다.* Ep · I : 아크 기둥(Plasma

  리포트 | 104페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.12.18

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  Nox Analyzer, ICP 예비레포트

  비슷하거나 더 큰 일부 원소들은 유도결합 플라즈마에서도 쉽게 이온화가 되지 않으므로 실질적인 분석이 불가능하다.3) 인터페이스Interface는 대기압 상태에서 이온들을 생성하는 ... 시료의 종류가 무기물이나 유기물 또는 이들의 혼합물이건 대기압하에서 분해시키거나 가압하에서 분해시켜 투명 용액으로 만든다. ... 또한 분석속도가 빠르고 감도가 좋으000°K의 높은 온도를 갖는 Argon Plasma를 이용하여 액상 시료를 원자화 시키고, 6,000-7,000°K의 온도를 갖는 꼬리 불꽃 부분에서

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.11.03

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  pvd 실험 보고서

  crysal-oscillator deposision-rate monitors)가 진공증착에 의해 증착에 광범위하게 사용됨에도 불구하고 그들의 사용은 대부분 CVDD피퇴적기판을 가열하므로서 박막형성을 행하며, 대기압하에서 ... 증기압이 높은 경우는 냉각, 반대로 낮은 경우는 가열해서 쓰는 것도 있다. ... plasma를 발생시키기 위해서 중요한 parameter로 된다.

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.12.03

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  반도체 집적소자 제조 단위공정 ( 금속박막공정, 사진공정, 식각공정 )

  플라즈마(plasma)나 광자(photon)를 이용한 CVD는 반응물 기체를 플라즈마나 혹은 광자로 미리 활성화시킴으로서 실제로 일어나는 화학반응의 활성화에너지를 낮추는 효과를 나타내도록 ... 실질적으로는 주위 대기압보다 더 적은 기체를 포함한 즉, 온도.▶ 복잡한 반응 경로.▶ 사용기체의 위험성 ( Toxic-gas )▶ 큰 도금면적을 얻을 수 없다.※ CVD 장치CVD ... CVD 반응기 내의 공정압력이 대기압인 APCVD의 경우에는 기체상의 반응물의 농도가 높기 때문에 박막의 성장속도가 충분히 커야하는 경우에 활용되며 LPCVD는 박막의 성장속도를 조절하여

  리포트 | 16페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.11.06

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  표면공학 - 화학증착법 발표

  요구되어지는데 이것은 불균일 핵생성에 필요한 것보다 낮은 과포화에서 선택적 성장 조건이 우세하다 . 1200 도에서 SiCl4 로 부터 실리콘 성장과 SiO2 마스크를 사용하여 대기압에 ... 박막화 / 고품질화 -ALCVD, 플라즈마 반응원이용 , 매엽식공정 저결합 / 고수율 - 설비의 Cluster 화 , 고전공 Low cast of ownership( CoO )-high

  리포트 | 35페이지 | 2,000원 | 등록일 2012.10.14

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  Vacuum Pump

  특징 Rotary Pump Roots Pump Diffusion Pump Turbo-molecular Pump Ion Pump Cryogenic Pump진공은 공간의 기체 압력이 대기압보다 ... 압력 차에 의한 힘의 발생, 극청정 환경 제공, 단열효과, 입자의 장거리 비행가능 증발과 승화작용, 안정된 플라즈마를 유지, 생화학 반응 억제, 우주환경 제공등의 특성이 있다.진공 ... 하지만 He, H2, Ne등은 증기압이 높아 15K영역에서도 냉온응축이 되지 않기 때문에 안쪽 표면에 활성탄을 붙여 냉온흡착하는 방법으로 제거 하게 된다.Fig.6 Cryogenic

  리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.05.20 | 수정일 2015.04.09

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  반도체 제조공정

  플라즈마 에칭은 특수가스를 감압 시켜 방전함으로서 일반 대기압에서 얻을수 없는 강한 반응성의 물질을 생성 에칭을 하는 방법으로 SiF4, CF4, C3F8, C2F6, CHF3, CClF3 ... 건식에칭은 다시 기상에칭 , 플라즈마에칭 , 이온빔에칭 등으로 나뉘는데 기상에칭의 경우 ( HCl , HF, HBr , SF6, Cl2 등의 기체가스를 사용하지만 기존의 습식 에칭과

  리포트 | 22페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.05.02

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  cvd

  사용진공(vacuum)물질이 전혀 존재하지 않음 대기압(766Torr)보다 낮은 압력 공간 공기양에 따라 진공의 정도가 결정 분자밀도가 약 2.7×1019 분자/cm3 보다 적은 상태를 ... 때-측정압력이 높을 때Bourdon guage장점 - 구조가 간단함 - 정확도는 높지 않으나 신빙성이 높음 단점 - 느린 응답속도 - 기계적 마찰에 의한 오차발생 - 설치 공간의 제한적 - 대기압 ... 반응기에 주입된 기체들이 기판 위에서 표면 화학반응을 통하여 박막을 형성하는 방법 CVD 구 통하여 원료로 Gas를 공급 Energy부에서 공급된 Energy(열 ,플라즈마 , 빛

  리포트 | 50페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.11

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  Thermal evaporation system

  사용하지않는 일반적인 PVD 즉 Evaporation이라고 하는 저항가열식 증착방법과2) 플라즈마를 사용하는 PAPVD(Plasma assited PVD)로 나뉜다.PAPVD는 다시 ... 진공과 자연진공은 공간의 기체압력이 대기압보다 낮은 상태, 즉 분자밀도가 약2.5´1019분자/cm3보다 적은 상태를 의미한다.진공의 기술요소진공을 응용하기 위해서는 지상에 인위적인 ... 상태는 공간의 절대 압력, 즉 기체분자 밀도가 줄어듦에 따라 저진공, 중진공, 고진공, 초고진공 및 극고진공 영역으로 표현된다.진공의 구분 압력(Pa) 응용 분야저진공 105 (대기압

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.05.16

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  화학기상증착(cvd)

  Enhancement Chemical Vapor Deposition)1)상압 CVD (APCVD )o 대기압 공정o Particle contaminationo 제작용이, 박막 형성이 ... 증기압이 높은 경우는 냉각, 반대로 낮은 경우는 가열해서 쓰는 것도 있다. ... 개선된 플라즈마 혹은 RECVD라고 불리우는 CVD의 변형은 필름의 침전물과 화학적 반응을 얻는데 요구되는 온도로 낮추기 위해 가스 플라즈마를 사용합니다.

  리포트 | 11페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.05.28

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