"진공 증착기" 검색결과 201-220 / 1,371건

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  화학 증착법(CVD)에 대한 조사[정의, 원리, 응용, 특성, 종류 등]

  에너지를 공급하여 기체분자를 이온화하거나 높은 에너지 상태로 여기(Excite)시켜서 자발적으로 화학 반응을 일으킬 수 있는 상태로 활성화(Activate)하는데 이렇게 된 상태를 반응기( ... 이 과정에서 불완전하게 결합된 원자 또는 화학반응의 부산물(By-product)들은 다시 탈착되어 진공펌프에 의해 외부로 배기된다.- Growth Rate of CVD3. ... 원료기체는 밀폐된 용기 내에서 일정 기간 동안 보관할 수 있을 정도로 안정해야 함.- 외부로부터 장비 안으로 주입된 원료 기체(Reactant gas)는 저장용기에서 밀어내는 압력과 진공펌프의

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.01.06

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  전기화학실험-전기변색소자 (electrochromic) 물질 합성 및 색 변화 관찰

  , 처리방법에 따라 전기도금, 화학도금, 용융도금, 진공도금, 침투도금, 이온도금 등으로 나눌 수 있으며, 도금 목적에 따라 장식도금, 방식도금, 장식/방식용 도금, 공업용 도금으로 ... 이것은 반응이 일어나는 전위, 반응의 빠르기, 반응 생성물의 반응 성 등 전극표면에서 일어나고 있는 반응을 정성적으로 파악할 수 있는 가장 손쉬운 방법 중의 하나이고, 전기화학 분야뿐만 ... 둘째로 증착 기판의 표면에서 이물질이 같이 증착되어, 증착이나 이다.

  리포트 | 15페이지 | 4,600원 | 등록일 2018.01.29 | 수정일 2020.08.05

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  PVD 원리와 종류

  이것은 보통 크기(수십 ㎝)의 장치에 있어서 10-5Torr의 진공도는 되어야 증발입자가 지나치게 분산되지(dispersed) 않는다는 것을 의미한다. ... 진공 증착법 이외의 두 개의 기본방법은 플라즈마를 적극적으로 이용한다. ... 간단한 물리증착, 특정의 가스(반응성 가스와 금속성가스)를 반응시켜, 합금과 화합물을 증착시키는 반응성 물리증착 프로세스 등, 여러 가지 개량 프로세스가 개발되어 있고, 반응성 진공증착

  리포트 | 14페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.07.27

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  [화학공학실험]발광박막의 제조 및 PL분석

  진공증착법에 의한 박막증착1) 세정된 기판 위에 shadow mask를 씌우고, crucible에 유기물 시료(Alq _{3}, 또는 TPD)를 정량(2.0㎎)하여 넣는다.2) Thermal ... 가지 금속이나 반도체 또는 절연물 등을재료로 삼아 금속박막 ·반도체박막 ·절연박막 ·화합물 반도체박막 ·자성(磁性)박막 ·유전체(誘電體)박막 ·집적회로 ·초전도(超電導)박막 등이 진공증착법 ... 10-5～10-6 torr로 유지시킨다.4) 박막증착이 가능한 진공도에 도달하게 되면 power supply에 전원을 넣고, 전류를 가해 발생하는 저항열에 의해 시료(Alq _{3

  리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2016.03.07 | 수정일 2020.08.01

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  thermal evaporator(서머 이베퍼레이터), E-beem evaporator(이빔 이베퍼레이터) 조사 레포트

  단점으로는 x-ray가 발생하고, e-beam 소스위에 원자의 농도가 크므로 와류 또는 discharge가 심하다.▲ 전자빔에 의한 진공 증착기 기본구조(3) Evaporation ... evaporation)열 증착법은 진공증착이라고 표현하기도 한다. ... 진공증착법은 진공 중 에서 박막을 만들려는 물질을 가열하여 증발시켜 그 증기를 적당한 면 위에 부착시키는 방법으로서 증발의 과정이 열 교환 과정이다.

  리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2015.05.30 | 수정일 2015.10.04

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  E-beam evaporator 원리

  비교적 큰 크기의 source는 증발을 위해 실제 무한대의 물질을 공급하며, 증착속도는 e-beam의 전류와 에너지를 변화시킴으로써 쉽게 조절할 수 있다.증착속도를 감시하는 한 가지 ... 전자빔 증착이 진행되는 동안 진공의 공간은 진공 펌프계의 역할로 계속해서 진공이 유지가 된다. ... 진공에서의 증착법 중 다른 하나의 중요한 방법은 본 레포트에서 설명하려고 하는 e-beam evaporator를 이용한 방법으로 고에너지가 집적된 전자빔을 증착시키고자 하는 재료에

  리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2015.06.12

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  OMO구조의 Metal층 두께에 따른 특성평가 예비보고서

  증착 기술로써 진공 챔버는 일반적으로 5×10-4∼5×10-7 Torr범위의 높은 진공도가 요구된다.목적하는 코팅 물질의 원료(타겟)는 기판과 함께 진공 챔버 내에 위치한다.이런 ... 가벼운 점을 이용하여 항공기, 자동차, 선박, 철도에 사용되고, 전기의 양도체인 점을 이용하여 송전선 등에 사용된다. ... 캐리어농도)*q(전하량)* mu(전자이동도)이번실험에서 OMO구조에서 Metal층에 들어갈 메탈의 전기전도율는 은>구리>알루미늄>>티타늄 순이다.각 메탈의 전기전도도에 의하여 면저항의 크기는전기전도율

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2016.06.18

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  OLED 실험 보고서 OLED 제작공정(증착공정)

  (ITO일함수 4.5->4.8) 이 이유는 증착재료의 밴드갭이 너무 커서 홀 주입이 힘들어서 낮추는 과정을 거친다. 이 과정 후에 30분 안에 진공 챔버에 넣어 증착을 해야한다. ... Cathode 증착한 후 저진공인 로드락을 거쳐서 빼낸다.- 유기물의 경우 열선을 이용해 온도를 높임, 메탈은 전류 사용. LiCl 증착하면 클로라이드는 날라가고 리튬만 남는다. ... 밝기를 측정하기 위한 spectrophotometer를 발광부에 위치시킨다.? 빛이 없는곳에서 전압을 증가시키면서 전류와 밝기를 측정한다.?

  리포트 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.03.29 | 수정일 2016.04.06

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  3. Thermal evaporation 결과

  대표적인 CVD 증착물질인 GaN의 경우에는 MOCVD 법을 이용할 때 TMGa라는 Ga에 methyl기를 붙인 물질을 수송기체에 실어보내고 한 쪽에서는 암모니아 (NH3)를 불어넣어서 ... 이번 실험에서는 물리적 증착법 중에서도 끓는점을 이용하는 진공 증착에 대해 이해하고 은 코일을 얇은 유리에 씌우는 Thermal Vaporation을 하여본다.2. ... 박막 증착 기술 중 하나인 Thermal Evaporation은 기기 내부의 공기를 제거함으로써 진공상태에 근접시키며 압력을 낮추어 시료의 끓는점을 떨어뜨리고, 다른 반응(시료의

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.22

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  PLED 소자제작 (논문)

  증착법에 의한 전자동 생산? 방식의 적용 가능? 재료정제가 용이? 대 화면 사용 곤란? 증착률이 낮고 물에 약함고분자? 고색상 가능? 고가격의 진공장치 불필요? ... ) EIL과 전극물질을 증착하기 위하여의 열증착기(Thermal evaporator)의 고진공 챔버(1×10-6 torr 이하)로 이송하며, BaF2(0.1Å/s, 2nm)/Ba(0.2Å ... .2) 원하는 크기의 사이즈로 ITO Glass를 자르고 질소(또는 에어)를 이용하여 유리 가루 등의 이물질을 불어낸다.3.1.2 ITO Cleaning1) Detergent(Alconox

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2016.06.27

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  인하대학교 전자공학과 기초실험1 예비보고서 RLC회로

  세라믹 로드에 니크롬, 니켈, 크롬, TiN, TaN 등을 진공증착, 스퍼터링 등의 방법을 이용해 필름 형태로 부착한 후, 홈을 파 저항 값을 조절하는 방법으로 만든다. ... 축전기의 경우 전기용량은 판의 넓이에 비례하고 판 사이의 간격에 반비례한다. ε0(진공의 유전율)의 단위는 1F/m이다.1) 캐패시터의 종류·진공 축전기유전체를 사용하지 않고 진공용기 ... 휴대용 이외의 라디오 AM수신기에 가변용량형 공기 축전기가 사용된다.

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.10.15

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  3. Thermal evaporation 예비

  또한, PVD법은 진공 증착법과 스퍼터법, 이온플레이팅법으로 나눌 수 있다. ... 전자빔 방식의 단점은 전하가 축적되어 증발율을 측정하는 장치와 간섭이 일어날 수 있으며 유동하는 전자가 피처리물에 전기적으로 축적될 수 있으나 측정기를 접지하거나 특별한 과정으로 단점을 ... 그 중 진공 증착법은 진공(10-4Torr) 중에서 고체 또는 액체를 가열하여 분자 또는 원자로 분해한 후 기판표면상에 응축시키는 방법으로, 장치 구성이 간단하고, 매우 많은 발시키는

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.22

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  VLSI공정 7장 문제정리

  있어서a) 반응식을 완성하여라->Si+4Cl → SiCl4b) 주입된 Cl의 10%가 실리콘의 식각에 작용하며, 식각챔버의 암력은 10 mTorr, 식각속도는 2um/min일 때, 진공펌프의 ... 빠르게 저진공으로 감에 따라 chamber 내의 기체분자 수가 매우 적은 영역이 되어 플라즈마를 일으킬 기체 입자들의 수가 적어 플라즈마가 잘형성되지 않는다.d) 펌핑속도가 위a)의 ... 절연체 증착이 가능하고 결함이 작다.d)rm CF_4 플라즈마에rm CF_3 ^+ 이온상태에 비하여rm CF_3와 F가 더 많이 존재하는 이유->rmCF _{4}플라즈마는 해리 이온화

  리포트 | 9페이지 | 4,000원 | 등록일 2018.06.05 | 수정일 2020.05.03

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  [무기합성화학] 다양한 무기합성법

  초고진공을 사용하기 때문에 챔버내 잔류불순물의 부착이 매우적어 고순 도의 박막을 얻을 수 있다.2. 증착속도가 대단히 느리기 때문에 단원자층 두께로 박막을 제어할 수 있 다3. ... 다양한 기상법*기상법 개념도- 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition)반응기에 주입된 기체들이 가열된 기판 위에서 화학반응을 통해 박막을 형성하는공정으 로 반도체 ... 단점 : 설치 가격이 비싸고 초고진공을 유지해야 하므로 유지비가 많이 들며, 생산 성이 작다.?

  리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2017.06.22

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  디스플레이 관련 용어 정의 레포트

  때문에 많은 소재 기업들이 현재 증착방식의 OLED 소재뿐 아니라 용액형 OLED 소재에 대한 연구에 힘을 쏟고 있습니다. ... 이하로 매우 작은 크기에서 쌓아가며 크기를 늘려가는 상향식(Bottom-up approach) 공정이 가능해 고집적? ... 인쇄전자 기술은 기존의 여러 단계에 걸친 공정을 단순화하여 재료의 손실을 줄일 뿐 아니라 고가의 진공 및 고온 장비가 필요 없어져서 제조 기업 입장에서도 싼 가격에 회로 부품을 만들

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.05.30

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  투명전극 전기적 특성 평가

  기존 평판디스플레이에 이용되고 있는 금속산화물전극은 진공 상태에서 유리 기판 상에 코팅이 이루어지며, 화소의 패터닝을 위하여 포토리소그래피 및 에칭 공정을 이용하기 때문에 사용하는 ... 또한 박막은 결정화 온도가 다른 TCO 박막에 비하여 높기 때문에 유기 EL 등에 사용되는 플라스틱 기판에 증착하는 것은 거의 불가능하다. ... 기존의 평판디스플레이의 경우, 금속 산화물 투명전극이 진공 공정을 통해 도포된 유리 기판상의 각 화소를 포토리소그래피 공정으로 제조된 박막 트랜지스터(TFT : thin film transistor

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2017.06.30

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  플렉서블디스플레이

  TFT Backplane을 형성하기 위해서는 진공 증착, 노광, 식각 등 다양한 공정이 진행되며 그 중에는 300℃ 이상의 고온 공정도 있어, 유리전이 온도가 낮은 소재는 사용이 불가능하다 ... 애플의 아이폰은 한손에 쉽게 들어오는 작은 크기로서 휴대성이 장점인 반면, 그 크기로 인해 많은 정보를 한눈에 볼 수가 없다는 단점이 있다. ... TFE는 [유기물 도포 → 경화 → 무기물 증착(Sputtering)] 공정이 반복적으로 진행되어 다층의 배리어막이 형성된다.

  리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2018.12.15

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  마이크로 측정 A+

  이 모든 과정은 진공상태의 ... 대상물의 화학적 구조의 변화가 없이 물리적인 상태(phase)가 변하여 기판에 증착 되는 것을 말한다.도포할 물질들에 에너지나 열을 가해 주면 표면으로부터 작은 입자들이 떨어져 나간다 ... 표면개질(surface modification)을 물리적/화학적 방법으로 나누어 간략히 조사하시오.- 물리적 방법 PVD(Physical Vapor Deposition)PVD 방법은 증착

  리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2017.07.17

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  DLC코팅 레포트

  1 -DLC 코팅은 다이아몬드의 주 성분인 탄소성분의 가스를 이용하여 진공 상태에서 플라즈마를 발생시켜 원하는 표면에 코팅막을 증착시키게 되며 , 표면에 다이아몬드와 유사한 구조의 ... ㄴ탄화수소 계 가스를 이용하는 방법DLC 막의 적용 분야 4DLC 의 막을 이용되는 예 4 항목 적용 예 절삭공구 • 인물 알루미늄용 엔드밀 알루미늄용 스로웨이 칩 쥬스믹서 날 면도기 ... 그 중에서도 열전자 충격에 의한 이온화 증착법은 옛날 동독일에서 개발된 성막법으로 , 1980 년대에 일본에 소개되고나서 DLC 막 생산용 장치로 채용되게 되었다 .

  리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2016.07.14

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  반도체제조공정 실습 레포트 A++

  이 공정 조건으로 PVD를 통해 텅스텐을 증착한 후 알파스텝, 접촉각, 반사율을 측정하여 비교하였다.공정 조건1조2조3조4조5조공정 압력 [torr]4.5*10-34.5*10-39.0 ... 접촉각의 크기는 액체의 표면장력과 고체의 표면에너지에 의해 영향을 받는다. 표면에너지는 가장 바깥쪽에 존재하는 원자의 인력에 의해 외부 물질을 끌어당기는 에너지를 의미한다. ... 이는 진공도가 높을수록 음극으로부터 나온 전자가 충분히 가속될 수 있어 Ar가스를 이온화 시키기 위한 에너지를 얻을 수 있지만, 진공도가 낮을 경우 전자의 MFP가 짧아져 충분히 가속되기

  리포트 | 2페이지 | 2,500원 | 등록일 2016.11.21

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