"Discharge plasma" 검색결과 201-220 / 427건

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  빅막의 식각 및 PR제거 예비보고서

  실험이론(1) 플라즈마 (Plasma) 란?플라스마(plasma)는 물리학이나 화학 분야에서 디바이 차폐를 만족하는 이온화된 기체를 말한다. ... 또한 다음페이지의 그림을 보면 여러 종류의 식각 메카니즘은 물리적인 기초(Glow-Discharge Sputte ring)와 화학적인 기초(플라즈마 에칭), 혹은 두 가지의 조합(Ractive ... 건식 식각- 반응성 가스의 플라즈마(plasma)에 웨이퍼를 노출시켜, 플라즈마내의 이온이 고에너지로 웨이퍼 표면을 타격(bombardment)하게 하여 식각하는 방법.- 이온 타격에

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.11.26

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  디스플레이의 종류및구조용도

  PDP (Plasma Display Panel)플라즈마 디스플레이(Plasma Display Panel)는 기체 방전 시에 생기는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는그래픽을 ... 플라즈마 디스플레이는 플라즈마를 만들기 위해 외부에서 가해 주는 전압인가를 위해 사용되는 전극이 플라즈마에 직접 노출이 되어 전도전류(conduction Current)가 전극을 통해 ... 방전셀의 전극구조에 따라 대향 방전형, 표면 방전형(Surface Discharge Type), 격벽 방전형 등으로 분류가 되며, 방전가스로부터 나오는 가시광을 직접 이용하는 경우는

  리포트 | 28페이지 | 3,500원 | 등록일 2010.06.23

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  E-Beam Evaporator를 이용한 박막 증착 원리 이해(결과보고서)

  스퍼터 장치는 타겟을 증발 재료로 형성하면 높은 융점 재료나 합금 등 진공 증착하기 어려운 물질도 박막화 할 수 있다는 장점이 있으며 충격 이온원인 이온화 가스 또는 방전 플라즈마의 ... 또한 증착속도(50A/sec)가 빠르고 고융점 재료의 증착, Multiple deposition이 가능하지만 X-ray 및 와류, discharge 발생 등의 문제점이 있다.Sputter이온이

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.05.20

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  탄소 나노 튜브 (CNT), carbon nanotube

  화학기상증착법 (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 플라즈마 CVD는 열 CVD에 비해서 저온(550 °c)이하에서 탄소나노튜브를 합성시킬 ... 사용예차세대 반도체핸드폰 연료전지테니스라켓과 골프채평면디스플레이탄소나노튜브의 사용예탄소나노튜브의 사용예탄소나노튜브의 사용예탄소나노튜브의 사용예나노입자의 생성 방법전기방전법 (arc-discharge ... 사용한 방법 두 개의 그래파이트 막대를 두 전극으로 사용 음극에서 응축된 그래파이트 덩어리에 탄소나노튜브와 탄소 나노 particle 그리고 탄소덩어리가 포함나노입자의 생성 방법플라즈마

  리포트 | 15페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.01.01

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  [공학기술]플라즈마 산업

  Discharges)5) 마이크로파 플라즈마(Microwave plasmas)(3) 종 류1) 열 플라즈마(thermal plasma)2) 저온 플라즈마3. ... frequency), 플라즈마 내의 하전 입자 확산 등2) 충돌 (Collisions)3) DC 방전 (DC Discharge)4) 라디오 주파수 방전들(Radio Frequency ... 플라즈마 (Plasma)(1) 정 의 (Difinition)(2) 특 성(3) 종 류3. 플라즈마 산업4. 참고문헌1.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.06.14

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  E-Beam Sputtering

  은 많은 이번실험을 통해 플라즈마를 통한 방법과의 차이점을 알고 공부하여 보도록 한다.3.이론적 배경.1. Sputtering 이란? ... - 글로우 방전(Glow Discharge)을 이용하여 Ion을 형성하고, 이를 전자기장으로 가속하여 타겟 물질인 고체 표면에 충돌시킨다. ... 이러한 현상을 "Sputtering 현상" 이라고 한다.[ Glow discharge - 압력이 100～103 Pa 정도되는 진공 내의 두 개의 전극 간에 고전압을 걸어주었을 때,

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.05.12

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  탄소나노튜브

  높은 온도 ( 800~1200℃) 의 전기로에서 전이금속과 탄소가루를 넣고 laser 를 쪼여주어 기화된 CNT 를 냉각하여 얻는다 .합성방법 3) 플라즈마 화학기상증착법 ( Plasma ... 현존하는 물질 중 결함이 거의 없는 완벽한 신소재합성방법 전기방전법 (arc-discharge ) He 기체를 수백 Torr 에 흘려주며 두 개의 탄소봉 사이에서 방전을 시킨다 . ... 합성 1993 IBM 의 Bethune 와 Iijima 박사 1nm 수준의 단중벽 나노튜브 합성 1996 Smalley 레이저 증착법 SWNT 를 고수율로 성장 1998 Ren 플라즈마

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.12.12

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  ITO Glass

  발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 플라즈마를 보인다. ... 이러한 단점은 RF sputtering 함으로써 해결될 수 있으며 특히 낮은 Ar 압력에서도 plasma가 유지될 수 있다.RF sputtering은 금속 이외에도 비금속, 절연체, ... 충돌하여 Ar을 이온화 시킨다.Ar +(primary) = Ar +(primary) +(secondary)Ar이 excite 되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며 이때 glow discharge가

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.17

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  진공증착 (Sputtering)_pre

  플라즈마플라즈마란 ‘partially ionized g ... 따라서 이것은 glow discharge을 일으킨다.(+)전기를 띤 가스 이온은 (-)전기를 띤 음극 쪽으로 이끌리게 되며, 그 결과로 생긴 이온 전류의 흐름은 압력의 단위로 측정된다 ... 이 방법의 장점은 낮은 진공도에서도 쓸 수 있다는 점이다.다이오드 스퍼터링에서 타겟을 떠난 모든 전자가 이온화된 플라즈마 방전에 기여하는 것은 아니다.

  리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2011.06.10

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  plasma에 대한 간단한 이해

  이것이 DC방전이다.라디오 주파수 방전들(Radio Frequency Discharges) : 처음에는 DC방전으로 플라즈마가 발생되지만 전자가 유전체위에 쌓이고 뒤이어 이온과 재결합하게 ... 기체플라즈마(plasma)는 이온화된 기체로써 고체, 액체, 기체 의 상태와 더불어 또 하나의 상태로 여겨진다. ... 전자온도는 높지만 기체 온도 Tg는 실내 온도 정도로 낮아 저온 플라즈마(cold plasma)라고 부른다.

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.03.11 | 수정일 2018.01.19

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  탄소섬유

  할지라도 이 경우는 탄소섬유 표면의 라디칼의 발생의 율속단계가 없다.- Corona Discharge surface treatments코로나 방전처리는 접착 특성의 개선이 요구되는 ... 금속 표면에 TiN/C, CrN/C, AIN 등과 같은 초경 피막을 코팅함으로써 표면의 내마모, 내부식 성질을 개선 할 수 있다.플라즈마를 이용한 증착법을 사용한 경우 부착력이 좋고 ... surface treatments플라즈마를 탄소섬유의 표면처리에 사용하면 탄소재료의 소수성, 친수성, 접착성 등을 개선하여 탄소복합재료의 기능을 향상시킬 수 있다.금속표면처리에 이용하면

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.04.23

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  유해물질 사용제한 지침서, RoHS

  Coupled - Plasma Atomic Emission Spectrometry) ppb ~% 유도결합플라즈마질량분석기 (ICP-Mass Spectrometer) ppt ~ ppb ... (Inductively Coupled - Plasma Atomic Emission Spectrometry) ppb ~ % 유도결합플라즈마질량분석기 (ICP-Mass Spectrometer ... ) ppt ~ ppm 글로우방전질량분석기 (Glow Discharge Mass Spectrometer) ppt ~ % Hg 흡광광도법 (UV/VIS Spectrophotometer)

  리포트 | 24페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.10.08

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  반도체공정 레포트 최종

  발생하여 이온과 전자가 공존하는 보라색의 plasma를 보인다.- Plasma 내의 Ar+ 이온은 큰 전위차에 의해 cathode(target)쪽으로 가속되어 target의 표면과 ... 고진공으로 갈 준비를 한다.④ 러핑밸브를 잠그고 Foreline 밸브(F/V)를 연다.⑤ 고진공이 잡히기 시작할 때 PENNING 게이지를 켜고 눈금이 떨어지는 것을 확인 한다.⑥ 플라즈마를 ... 시킨다.Ar + e-(primary) = Ar + e-(primary) + e-(secondary)- Ar 이 excite 되면서 전자를 방출하면, 에너지가 방출되며, 이때 glow discharge가

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.01.25

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  아동실습 수두증 케이스스터디

  .※12/11-12/12 Rt. eye discharge(small) 있음.입과 인후/목객담량, 객담색깔, 객담양상 (-)흉곽호흡양상 easy, 호흡음 clear, 흉부함몰 없음.심장심음 ... 31.5↓ANC1800-7700/uL2920Lymphocyte22-40%52.7↑Immature lymphocyte0%0Immature monocyte0%0Monocyte2-10%8.5plasma

  리포트 | 21페이지 | 3,000원 | 등록일 2014.04.19

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  플라즈마란

  통해 안정적이고 풍부한 라디칼을 형성할 수 있는 상압 플라즈마 처리 장치에 관한 것이다.플라즈마(Plasma)란 이온(ion)이나 전자(electron), 라디칼(radical) ... , 글로우 방전(glow discharge)에 의한 플라즈마 생성은 직류(DC)나 고주파 전자계에 의해 여기된 자유전자에 의해 이루어지는데, 여기된 자유전자는 가스분자와 충돌하여 이온 ... 이러한 여러 분야의 응용에 대한 성공은 불활성 가스뿐 아니라 산소, 수소, 염소 및 천연가스 등의 다양한 활성 플라즈마 가스의 사용이 가능하고, 충분히 강력하고 신뢰성이 있는 플라즈마.플라즈마를

  리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.07.09

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  신소재공학실험 집적회로실험보고서 반도체 집적회로 IC

  오염한 오염 가능성.(2) 스퍼터링의 종류(가) 직류 인가 스퍼터링(D.C Glow Discharge sputtering)가장 간단한 스퍼터링 구조로서 전도성 물질의 스퍼터링에 사용된다 ... 그 이후 셔터를 열어준다.균일하게 스퍼터링을 하기위해 substrate를 돌려줌약 30분정도 증착을 진행(12시45분~13:15분) 하였다.⑦ 30분 증착 후 플라즈마 끈다(225V

  리포트 | 37페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.06.29

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  스퍼터링(sputtering)

  , discharge 내의 구성요소들의 존재는 특성 스펙트럼 파장의 조사로 알 수 있다.Figure 2. ... 이러한 Plasma내에는 고출력 직류전류계에 의해 Ar가스 기체가 양이온으로 이온화 된다. Ar양이온은 직류전류계에 의해서 음극으로 가속되어 Target표면에 충돌하게 된다. ... Chamber내에서 스퍼터링 기체로 불활성 물질인 아르곤(Ar)가스를 흘려주면서 Target에 직류 전원을 인가하면(㎠당 1W정도), 증착하고자 하는 기판과 Target 사이에 Plasma가

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.11.18

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  CNT의 특성과 응용

  CVD법은 열 CVD법, DC 플라즈마 CVD법, RF 플라즈마 CVD법, 마이크로파 플라즈마 CVD법으로 구분할 수 있다. ... .................................................................................... 7(1) 전기방전법(arc-discharge ... 값보다 작은 값을 보일 것이며, 튜브형태이면서 wall 두께가 작을수록 modulus는 증가할 것으로 예상된다.5.탄소나노튜브의 합성기술탄소나노튜브합성은 처음에는 전기방전법(arc-discharge

  리포트 | 19페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.06.04

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  PDP (PLASMA DISPLAY PANNEL) PDP의 구동원리및 이론 메커니즘, 제조방법,

  **P D P(Plasma Display Panel)Contents1.PDP의 제조공정 2.PDP의 특성1.PDP의 정의 및 플라즈마 2.PDP의 역사 및 작동원리 3.PDP의 종류 ... 진공자외선 이 R,G,B의 형광체를 여기시켜 가시광으로 영상을 표현플라즈마플라즈마란? ... PDP 패널 구동법 - ADSPDP의 제조공정및 특성IIPDP의 정의IPDP의 동향IIIPDP의 정의PDP의 정의-Plasma 를 이용하여 문자나 영상을 표시 -글로우방전을 통해 생성되는

  리포트 | 20페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.12.18

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  플라즈마와 RF

  이중 공업적으로 이용이 활발한 플라즈마는 저온 글로우 방전 플라즈마로서 반도체 공정에서 플라즈마 식각(Plasma Etch) 및 증착(PECVD: Plasma Enhanced Chemical ... Discharge)방전 시스템,capillary 방전, Micro-discharge 시스템, RF&MF 대기압 방전 시스템, μ-wave 방전 시스템, Induction & DC Torch ... 열 플라즈마열 플라즈마(Thermal plasma)는 주로 아크 방전에 의해 발생시킨 전자, 이온, 중성입자로 구성된 기체로 구성입자가 1,000-20,000 ℃와 100-2,000

  리포트 | 19페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.05.23

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