"박막 공학" 검색결과 21-40 / 1,502건

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  [박막공학]반응성스퍼터링의 원리

  스퍼터링고에너지의 입자를 원하는 박막과 동질인 물질로 이루어진 기판에 충돌시켜 그곳으로부터 원자와 분자가 떨어져 나와 박막을 만드는 방법을 말한다. ... 증착가능 박막두께의 조절이 비교적 용이함 진공증착에 비하여 보다 정확학 합금성분조절 가능 Step coverage, grain structure, 응력등의 조절가능 X-ray손상 ... 타겟에 입사되면 이온과 타겟 원자의 충돌에 의해서 타겟 표면에서 방출되는 방향의 운동량 성분을 가진 타겟 원자가 나타나 타겟에서 탈출한다스퍼터링의 장단점장점 넓은 면적에서 균일한 박막두께

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.11.03

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  [공학]박막공정에대해

  물성을 얻기위하여 덩어리 재료인 기판위에 박막(Thin Film)을 성장시키고 이용박막공정의 순서세척(Cleaning)= 증착(Deposition)= 포토리소그래피(Photolithography ... Thin Film Process 박막증착과 포토리소그래피기술을 이용하여 원하는 형상의 회로를 형성하는 일련의 과정 덩어리 재료(Bulk Material)에는 없거나 나타나기 어려운 ... 형성하는 증착법 현재는 공업적으로 확산되어 여러 박막제작에 이용된다 고온이 필요하기 때문에 확산,열응력 문제로 인해 플라즈마 CVD방법 도입 기존의 CVD가 열에너지를 반응에 필요한

  리포트 | 27페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.06.16

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  [박막공학]Capacitively Coupled plasma(CCP)

  박막 공학 및 설계Contents*RF플라즈마의 정의13.56MHz의 RF가 주로 사용(전파법으로 지정) 저기압 가스에 고주파전압을 인가하며 자유전자가 한쪽 전극에 도달하기 전에 극성이 ... Capacitively Coupled Plasma`CCP의 특성자계는 이용하지 않고, 전계를 이용하여 플라즈마를 발생넓은 범위에 균등한 밀도의 플라즈마가 발생함플라즈마 공정상 낮은 식각속도와 박막 ... www.PVDworld.net 2.http://www.semipark.co.kr 3.산업용 플라즈마 발생 기술및 개발 동향, KISTI, 장용무, 2002년 12월 논문 4.경북 대학교 전기전자 공학부

  리포트 | 20페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.01.03

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  [박막공학]이온빔의 원리와 스퍼터링

  Target에 미치는 영향에너지를 갖는 이온 입자를 이용하여 어떤 특정 기판위에 박막의 형태로 고품위 재료를 제작투사 이온입자방출 이온입자Substrate그림5. ... 증착시 이온빔의 역활그림12.보조이온빔의 역활보조이온총에서의 이온빔 divergence(발산)가 적어야 되는 이유는 보조빔에 의해 증착된 박막의 선택적인 sputtering이 일어나게 ... 되며 이 선택적 sputtering이 박막의 집합조직 형성에 결정적인 역할을 하기 때문TaegetIon beamIon beamSubstrate그림13.이온빔 스퍼터링 공정Ion Beam

  리포트 | 17페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.12.27

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  [박막공학] Sputtering

  기체의 압력은 glow discharge의 유지와 박막의 증착에 모두 영향을 미친다. ... 이에 대하여 열속도보다도 큰 운동 에너지로 가속된 이온을 증착 입자에 포함시켜 박막 형성을 하는 기술로 개발된 것이 이온 플레이팅이다. ... 그리고 계속해서 다양한 기능들의 수행 범위를 넓히고 있다.microelectronics를 위한 박막 제조방법은 크게 화학적 방법과 물리적 방법으로 나눌 수 있다.

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.12.22

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  [공학]박막 재료의 물성 측정

  철필에 하중을 주어 박막 표면을 긁어 박막이 모재로부터 분리된 순간의 응력 측정한다. ... 박막의 Adhesion 측정"adhesion - 동종 또는 이종 소재간의 계면 접합 특성"계면접합특성은 여러 인자들에 의해 다양한 영향을 받으며 이는 크게 박막과 모재의 물성 차이, ... 인장시험기 이용해 핀을 수직으로 당기는 시험법.박막이 모재로부터 분리된 순간의 응력을 측정함으로써 계면접합특성을 평가할수 있다.{(2) Scratch test{ 그림 2.

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19 | 수정일 2016.03.21

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  [박막공학]여러가지 박막 제조 공정

  여러 가지 박막 제조공정수 업 목 표여러 가지 박막 증착 법의 종류를 안다. 여러 가지 박막 증착 과정을 이해한다. ... 요박막 공정의 정의 박막 증착 기술을 이용 원하는 형상의 회로를 형성하는 일련의 과정 박막 증착의 정의 박막을 만들고자 하는 물질을 수 나노에서 수백 나노 두께로 기판위에 올리는 ... 제어 내부에 장착된 여러 개의 셀로 다중 화합물 증착 가능분자선 에피탁시의 단점낮은 성장속도에 따른 저 생산성 박막을 만들기 위한 높은 진공도 필요 박막생산 과정에서의 여러 가지

  리포트 | 30페이지 | 3,000원 | 등록일 2005.11.16

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  [반도체공학]박막증착

  Crystalline silicon layers made by the BESOI technique.epitaxial growth으로 두께를 증가시킬 수 있다.3-3 Silicon Nitrideㆍ센서공학에서 ... Surface micromachining1.개요표면(박막)미세가공법(surface micromachining)은 다층박막의 증착과 패턴닝(Pattening) 및 선택적인 박막(희생층 ... 박막재료미케니칼 센서를 만들기 위한 박막재료는 다양한 종류가 있다.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.12.23

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  [재료공학]박막의 증착 공정

  박막증착공정모재 표면에 수 마이크로미터 정도의 두께를 갖는 이종물질을 증착함으로써 표면성질을 개선하거나 특수한 기능을 갖는 구조를 제조하려는 연구가 활발히 진행되고 있다. ... 박막의 광범위한 응용범위는 진공 및 관련기술의 발달에 힘입어 반도체소자, 광학재료, 자성재료, 센서, 초경재료, 내부식성 및 내산화성 재료에 이르기까지 매우 다양하다진공이란진공은 공간의

  리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.09

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  [박막공학]E-Beam Evaporation(EBM)

  10-9mbar정도의 초진공에서 수행전자빔 가속전압은 약 5~30kVX전자빔 발생타켓 가열시료 증발쉴드에 막힘쉴드 개방코일 가열박막 증착E-Beam Evaporation이란?

  리포트 | 15페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.01.03

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  [박막공학]진공펌프의 종류와 진공게이지

  일으켜 이온화 낮은 기압에서도 방전을 지속 열 음극 이온 게이지에 비해 작동 범위가 좁다 (10-2~10-6Torr) 열 음극 이온 게이지와 열 특성 게이지의 중간 영역참고 문헌진공 공학

  리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.21

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  [재료공학] 박막 기초

  ＊박막형성에서 증착 소스로부터 탈출한 입자가 잔류가스에 충돌하지 않고 주행 방향을 굽히지 않고 박막을 형성하려고 하는 기판에 당도 할 수 있도록 하기 위한 필요조건으로는 평균 자유행로가 ... (진공이 아닐땐 증착입자의 직진을 방해하여 공간중에서 이슬과 같은 미립자로 변화하고 평편한 박막의 생성이 힘듦 )d)압력이 낮는 등, 대기압과는 다른 상태가 얻어짐. ... 진공: 공업적으로 ‘대기압 이하의 상태’○공업적으로 진공이 이용되는 이유a)화학적으로 비활성 (공기중의 활성 분자가 박막의 물질과 화합물 형성막음, 원하지 않는 화학 반응 예방)b)

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.05.13

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  [전자공학] 박막형성법과 박막특성

  ..PAGE:1박막형성법소속 :학번 :성명:..PAGE:2목 차박막 형성법 개요물리적 방법중 스퍼터법스퍼터법의 종류화학적인 방법중 CVD 방법박막의 특성PLZT 박막의 광학적 특성PZT ... 계 박막의 전기적 특성..PAGE:3박막 형성법의 개요막을 형성시키는 방법으로는 물리적인 방법과 화학적인 방법으로 크게 나눈다. ... 특성PZT 박막의 조성과 X선 회절도기판은 MgO(100)을 사용하고 기판온도는 600[℃]로 막두께[㎛]인 PZT박막의 조성과 X선 회절 패턴의 관계는 그림과 같다.PZT박막은

  리포트 | 22페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.01.18

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  [방막공학] 박막제조

  참고 문헌광·전자 화학 공학 소재 실험 1 교재네이버 백과사전{http://blog.naver.com/tungsten1.do? ... 실험 목적화학 기상 증착 공정의 기본 원리를 이해하고 직접 실험을 통하여 박막을 만들어보고 그 특성을 분석하여 실제 연구에 응용할 수 있는 기본적인 능력을 배양하는 데에 본 실험의 ... 화학증착법의 장점으로는 첫째, 융점이 높아서 제조하기 어려운 재료를 융점보다 낮은 온도에서 용이하게 제조할 수 있고 둘째, 순도가 에너지에 의해 반응을 촉진시켜 박막형성을 행하는데,

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.06.04

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  [금속공학실험]ZnO박막 실험

  Sputtering 할 때 조절해야 할 조건1) 기판재료 선정 및 세정2) 박막두께 결정 및 조성결정3) 박막조성에 따른 target 결정4) 기판온도 결정5) 기판회전시 기판회전수 ... ◆ 실험목적진공 증착시 증착시간에 따른 박막의 특성 변화를 확인할 수 있다.◆ 이론● PVD(물리적 증착법)PVD : Physical Vapor Deposition의 약자로 도금될 ... 스퍼터링(sputtering) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며[3], 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다.

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.25

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  [재료공학] 박막 제조법

  3 박막 제조 방법1) 물리적 증착법물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는 것을 의미하였으나, 최근에는 ... 그리고 sputter 되는 원자들은 기판(substrate)에 축적되어 박막을 형성하게 된다.스퍼터링이 일어나면 타겟에서 2차 전자, 중성의 반사 입자, 음 또는 양이온, 타겟 원자를

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.27

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  [박막공학] MOCVD,CVD.VPE

  (precursor)들이 표면에 단분자층(monomolecular-layer)을 이루며 포화되므로 Self-limiting mechanism에 의한 박막 성장기구를 통해 박막의 우수한 ... .▣ 원자층 박막(ALD)특징각 반응 기체들이 교대로 반응 용기 내로 공급되며 기판표면에 흡착되지 않는 기체들을 배출시키는 공정을 삽입함으로서 다른 화학기상층착과 구별 각각의 반응물질

  리포트 | 34페이지 | 2,000원 | 등록일 2004.11.02

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  고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착

  Phys. 31: 1326진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(결과보고서) PAGE \* MERGEFORMAT 1고려대학교 신소재공학부 ... 박막 증착 시에는 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다. ... 이해하고 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.진공 증착 개요 및 원리박막을 제조하는 기술은 크게 물리적 방식을 이용하는 Physical Vapor Deposition과

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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  [재료공학]박막의 두께 측정방법

  박막 두께의 정확한 측정을 위해 수백대의 박막 두께 계측장비들을 이용하고 있다. ... 대하여 조사하고 또한 종류는 어떤 것 들이 있는지에 관하여 조사한다.반도체 박막두께 인증표준물질최근 반도체 소자가 고집적화ㆍ소형화됨에 따라 반도체 소자 제조공정에서 사용되는 박막의 ... 성장된 이산화규소(SiO2) 박막과 10~450㎚ 정도로 성장된 실리콘질화(Si3N4) 박막이 주로 사용된다.여기서 1㎚는 사람의 머리카락 두께의 약 10만분의1 정도며 가장 작은

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.18

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  [박막공학] MBE, CBE, GSMBE

  균일하고 평탄한 막을 얻을 수 있다 ◈ 각 증착된 셀에 있는 기계공학적인 셔터나 각 셀의 온도를 제어함으로써 성장 방향의 혼정조성분포, 불순물 도핑의 분포를 고정밀도로 제어 가능 ... 얻을 수 있다 ◈ 증착속도가 대단히 느리기 때문에 단원자층 두께로 박막을 제어할 수 있다 ◈ 기판에 도달한 분자들이 충분한 표면이동을 할 수 있기 때문에 큰 면적에서 원자단위 정도의 ... diodes, laser diode, photodiodesLaser structure.MBE의 장단점♧ 장점 ◈ 초고진공을 사용하기 때문에 챔버내 잔류불순물의 부착이 매우적어 고순도의 박막을

  리포트 | 27페이지 | 2,000원 | 등록일 2004.11.02

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