기계와 전기등 다방면의 기술이 관련된 Micro feature size를 갖는 시스템을 다루는 학문이다. ... and packaging)등을 들 수 있으며, 이외에도 다양한 종류의 유기 및 무기 소재 기술, 반도체, 기계, 전기 화학적 가공 기술, 회로 및 시스템 기술 등이 개발, 적용되고 ... 된 분야는 NEMS(Nano-Electro-Mechanical Systems)로 구분하고 있다.MEMS 기술의 장점은 소형화를 비롯하여, 집적화, 저전력화, 괴신뢰화, 그리고 저가격화를