"터보분자펌프" 검색결과 61-80 / 164건

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  열역학 요약 정리

  가스 터빈을 동력 발생 장치로 사용하는 경우터보-팬 제트 엔진? 화학 로켓 엔진- 화학 로켓은 화학 반응을 통해 발생한 고온 ? ... 과정에서 열적오염을 일으킬수도 있다.대형 냉각탑을 사용하여 응축기의 냉각수를 재순환하는데, 냉각탑에서는 일부의 물이 증발하면서 남아있는 액체를 냉각한다.문제보안응축기에서 나온 응축수는 펌프로 ... 미시적 관점에서 본 에너지 형태분자 위치 에너지⇒밀도가 적당히 낮은 경우분자가 비교적 널리퍼져 있어서 두 분자 또는 세 분자간의 상호 작용이 위치 에너지를 결정한다.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.03.20

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  진공 결과보고서

  펌프승화 펌프초고진공Ultra High Vacuum10-7Torr∼10-10Torr전자현미경Plasma 발생기표면연구재료분석터보분자 펌프저온냉각 펌프크라이오 펌프게터 펌프 ... 펌프흡착 펌프고진공High Vacuum10-3Torr ∼ 10-7Torr진공코팅진공동결건조진공합금진공가스치환진공씰링진공용접이온주입확산 펌프터보분자 펌프흡착 펌프저온냉각 펌프이온 펌프크라이오 ... 진공 수준별 펌프저진공까지는 일반적으로 로타리 펌프와 같은 펌프로만으로도 원하는 진공수준까지 도달하나 중진공, 고진공을 얻기 위해서는 특수한 중진공, 고진공펌프와 로타리 펌프와 같은

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.12.25

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  진공의 정의, 펌프 그리고 측정

  일반적인 터보 분자 펌프의 구조 및 회전자(rotator)와 고정자(stator)의작동에 따른 분자 경로의 변화그림 7에 일반적인 터보 분자 펌프의 구조를 나타내었다. ... 배출과정에서 수증기의 응축은 배출밸브를 열 수 있는 압력을 낮추어 밸브작동을 어렵게 하고, 흡입과정에서의 기화로 최저도달 압력을 낮추는 악영향을 미친다.2) 루츠 펌프(Roots pump ... Roots pump의 작동원리그림3에서 보듯이 평행한 축에 달린 ‘8’자 모양의 두 개의 회전자가 서로 반대 방향으로 돌면서 기체를 흡입 배출한다.

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.08.23

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  [발광디스플레이 실험] Sputtering

  반면에 배출구 쪽의 경우 압력 차가 커지기 때문에 이를 유지하기 위해 날의 각이 많이 기울어 있다.이러한 터보 분자 펌프는 고속(10,000～100,000)으로 회전하는 날이 작은 ... 말하자면, 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump) 그린 것이다. ... 히터에서 끓어 형성된 오일 증기가 증기 탑을 따라 상승하다가 아래쪽을 향한 노즐에서 초음속(약 300m/초)으로 분출되는데, 이때 아래쪽을 향해 분사되면서 펌프주변으로 들어온 기체분자들을

  리포트 | 8페이지 | 5,000원 | 등록일 2012.01.01

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  [진공기술][진공][진공펌프][진공장치][진공도측정도구][피라니게이지]진공기술의 응용과 진공펌프의 분류 및 진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지에 관한 분석

  )4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)2. ... 이 때는 보일러를 만지기에는 너무 뜨겁다.4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 ... 고정자는 역류를 방지하는 baffle의 역할과 함께 회전자에서 튀어나온 분자를 아래쪽을 향하도록 각을 유지하고 있다.터보 분자 펌프는 고속(10,000?

  리포트 | 8페이지 | 5,000원 | 등록일 2009.05.06

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  펌프의 종류와 원리

  터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 전자 현미경이나 각종 반도체 생산 및 실험실 장비등 에 많이 쓰이고 있습니다 ... Rotary Pump (대기압~Torr 까지 가능)0. Rotary vain pump일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리는 옆의 그림과 같습니다. ... Rotary piston pump흔히"키니펌프"라 불리어지고 있는 펌프로서 기본 작동 원리는 옆의 그림과 같습니다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.12.25

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  열펌프(히트펌프)의 원리 및 적용

  흡수식 열펌프-기체분자가 다른 성분의 액체에 흡수될 때 열이 발생되고 반대로 액체로부터 기체 분자가 증발될 때에는 열이 흡수되는 원리를 이용. ... 종류Air Source Heat Pump열펌프 (HP)Water Source Heat PumpSolar Source Heat PumpGround Source Heat Pump채열원EHP ... 터보 압축기 : 원심식 응축기 압축기에서 나온 고압의 기체냉매가 상변환을 하여 고압의 액체 냉매로 변환하며 이 때 외부에 열방출 핀형 열교환기 : 공기와 열교환 판형 및 Shell

  리포트 | 23페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.04.03

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  Evaporator 원리및 설명, 진공의 종류및 응용

  PUMP)루츠 펌프 (ROOTS PUMP)수봉식 펌프 (LIQUID RING PUMP)터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)확산 펌프 (DIFFUSION PUMP ... 그러나 중×저진공 영역에서는 배기량이 저하됨으로 로타리 베인 펌프 등의 보조펌프와 함께 사용되고 있는 것이 일반적이다.그림 터보 분자 펌프의 구조 및 원리실험 순서1. ... 액화헬륨을 사용하는데, 초고진공 영역에서 배속도가 매우 크므로, 우주선 실험 등 여러 분야에서 높은 진공도를 얻는데 많이 쓰이고 있다.5)터보 분자 펌프이 펌프는 공기 입자성에 근거를

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.06.06

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  고진공 펌프

  고진공 펌프는 크게 Turbo molecular pump( 터보 분자 펌프 )와 Diffusion pump( 확산펌프 ) 로 나눌수 있다. ... Cryo Pump( 크라이오 펌프 )도 고진공 펌프에 포함할 수도 있다.여러 가지 진공펌프의 작업 가능 압력◆ Turbo molecular pump ( 터보 분자 펌프 )1958년 ... 분자를 쳐 공기의 입자 운동에일정한 방향성 부여함으로써 펌프의 배출구 쪽으로 향하게 하는 것이다.터보분자 펌프의 배기 원리일반적인 터보 분자 펌프의 구조 및 회전자(rotator)

  리포트 | 21페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.05.05

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  진공펌프

  실험 장치터보 분자 펌프, 저온 냉각펌프, 흡착 펌프§지금은 유체 기계-진공펌프 시간입니다§ 아아아아아아아아아*/51유회전형 진공펌프 (Oil sealed rotary type vacuum ... 터보 분자 펌프고진공영역 일정한 배기량 각종 반도체 생산 및 실험실 장비§지금은 유체 기계-진공펌프 시간입니다§ 아아아아아아아아아*/519.확산펌프구조가 간단 사용이 간편 고진공§지금은 ... 로타리 베인 펌프, 다단식 스팀 이젝타 , 루츠펌프 피스톤 펌프, 확산 펌프고진공10-3Torr ~10-7 Torr진공코팅, 진공 동결 건조, 진공 합금 , 신소재합금확산펌프, 터보

  리포트 | 50페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.12.02

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  cvd

  터보분자 펌프펌프의 분류작동 압력저진공 펌프 로터리 펌프 셕션 펌프 Dry진공 펌프(oil free)고진공펌프 오일확산 펌프 터보분자 펌프 크라이오 펌프초고진공펌프 티타늄 승화 펌프 ... 이온 펌프 무증발 Non-Evaporable 펌프작동 방식기계적 펌프- 기계적 작동에 의해 기체를 흡입하여 높은 압력으로 압축하여 배출 로터리 펌프, 터보분자 펌프, 오일확산 펌프 ... 큰 입구를 가진 high vacuum pump를 사용함 불규칙한 운동을 하는 분자의 pumping 확률을 높임.펌프의 종류 및 원리1. 로터리 펌프 2. 오일 확산 펌프 3.

  리포트 | 50페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.11

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  진 공 펌 프 레포트 자료

  Pump)터보분자 펌프들은 매우 청결한 기계적 압축 펌프들이다. ... 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump) 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다. ... 진공의 응용 현대 물리학에서의 진공 진공의 이용 진공펌프의 목적과 효과 진공펌프의 종류 - 로터리펌프 - 오일확산 펌프 - 루츠펌프 - 이온 펌프 - 크라이오 펌프 - 터보분자 펌프

  리포트 | 21페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.06.24

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  기계공학실험3_원심펌프 실험

  기어 펌프 - 두 개프진동식 펌프피스톤 펌프다이어프램 펌프루츠 펌프수봉식 펌프터보 분자 펌프? 로터리 베인 펌프 : 일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공 펌프이다. ... 일정한 회전 속도로 운전하고 있는 Centrifugal pump에 대해서 각 양수 량에서의 양정, 수동력, 축동력 및 효율을 구하고 유량에 대한 관계를 비교하여 그 특성을 이해하고 ... 그 외의 다른 펌프들유압펌프토출량에 따라정 용량형 펌프가변 용량형 펌프기구에 따라회전형기어 펌프베인 펌프왕복형피스톤 펌프?

  리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.10.15

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  반도체 진공 장비(DRY ETCHER 장비)

  TMP (turbo molecular pump, 터보 분자 펌프)터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 운동량 전이가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 ... 일반적인 터보 분자 펌프의 구조를 나타내었다. ... 터보 분자 펌프는 고속으로 회전하는 날이 작은 입자나 부스러기에 의해 쉽게 손상을 입을 수 있고, 또 고속 회전 시 각 속도가 회전축으로 크게 걸려 작은 충격에도 망가질 수 있으므로

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.11.17

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  주조응고실습 진공도 및 압력 측정 예비 + 결과 + 고찰 보고서

  positive displacement 펌프 : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 로터리 펌프 (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular ... 1×10-8torr초고진공펌프1×10-8torr와 그 이하로터리 펌프셕션 펌프Dry진공 펌프(oil free)오일확산 펌프터보분자 펌프크라이오 펌프티타늄 승화 펌프(Titanium ... 흡착 펌프(sorption pump)나 냉온 펌프 (cryopump), 이온 펌프(ion pump)가 이에 속한다.?

  리포트 | 12페이지 | 2,500원 | 등록일 2010.03.16

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  진공과 진공펌프에 대해서~

  펌프터보분자 펌프흡착 펌프저온냉각 펌프이온 펌프크라이오 펌프승화 펌프초고진공Ultra High Vacuum10-7Torr∼10-10Torr전자현미경Plasma 발생기표면연구재료분석터보분자 ... 펌프저온냉각 펌프크라이오 펌프게터 펌프극고진공Extremely High Vacuum10-10Torr ~ 이하원자핵연구입자가속우주실험물리연구터보분자 펌프저온냉각 펌프이온 펌프10. ... 예를 들면 웨이퍼 이송장치, 고진공 펌프라인 (고진공 터보 펌프 / 확산 펌프와 진공 시스템 사이에 위치)등에 쓰인다.

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.08.17

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  Vacuum pump(진공펌프) 와 gauge

  ◎진공 펌프 (Vacuum pump)1. 진공이란?물질이 전혀 존재하지 않는 공간. ... 로터리 베인 펌프(Rotary pump)일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공 펌프로, 기본 원리는 밑의 그림과 같다. ... *************크로형 펌프******************터보 펌프********************************수봉식 펌프******증기분사펌프오일확산 이젝터

  리포트 | 27페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.03.23

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  Pump 종류 및 구조

  및 축류식으로 나눌 수 있으며 대부분의 산업용 펌프가 터보형이라 볼 수 있다.터보형 펌프의 원리는 회전차에서 속도에너지를 만들고 회전차를 감싸고 있는 케이싱 내를 유체가 통과하면서 ... 있다.터보형 펌프는 압력을 유지해 주는 케이싱(Casing) 속에서 회전차(Impeller)를 고속회전 시킬 때 작용하는 원심력에 의해서 유체를 이송하는 펌프를 말하며, 원심식, 사류식 ... 이들 분자는 눈에 보이지 않는 매우 작은 입자지만약간의 무게를 가지고 있다.

  리포트 | 50페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.10.01

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  dry펌프와 turbo펌프 비교설명

  하는 것에 의해 저온 여역으로 균일하여 고온에서 반응하는 Process Gas 배기 및 고온 진공 배기에 사용터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 ... Boster pump 및 turbo분자 pump와 조합하여 사용 되기도 하고 이런 Pump의 보조 pump로도 사용 되며 주로 활성 가스 배기(CVD, Eching), 또는 불황성 ... Gas 배기의 배기 Pump로도 사용전자 현미경이나 각종 반도체 생산 및 실험실 장비등에 많이 쓰임.Dry / Turbo pump 용도Dry pumpTurbo pump오일 펌프의 단점인

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.08.24

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  CABIE-dry etching

  이용해 대기 압 상태의 공정실을 10-3torr 로 낮추고 터보 분자 펌프를 이용하여 10-4torr까지 낮춘다. ... + AsCl3(g) GaCl3(s) - GaCl3(g) + Free surface siteCAIBE 방식의 반응 매커니즘CAIBE 방식의 SystemCAIBE 방식의 개략도로터리 펌프를 ... 그런 다음, Cl2와 같은 할로겐 분자를 첨가하여 기판과 반응하는 화학적 방식(화학 보조 방식)이 첨가된다.

  리포트 | 18페이지 | 2,000원 | 등록일 2010.12.04

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