"High-k dielectrics" 검색결과 61-65 / 65건

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  [실험자료]원자층 단위 증착(ALD) 공정의 기본 원리

  현재 반도체 소자제작에 있어 process적으로 혹은 물리적 특성상 한계에 다다른 공정에 우선 적용 될 예정이며, 그 예로는 단차피복성을 확보한 극박막의 고유전막 (high-k material ... ), 확산방지막 (diffusion barrier), 게이트 절연막 (gate dielectrics) 등을 들 수 있 다. ... 10분간 담근 후, DI-water 로 Rinsing 한다.- wafer 표면에 있는 유기물 및 먼지 제거.② HF 희석용액(HF : DI-H2O = 1: 100 , 부피비)에 20초간

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.07

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  [재료공학] LTCC-MCM에 대하여

  기술은 이 가운데MCM-C를 제조하는데 사용하는 기술 중 하나라 할 수 있겠다.MCM-C를 제조하는 방법에는 초기에 알루미나 계통의 재료를 사용한 HTCC(High TemperatureCofired ... 이와 같이구성되는 다중 칩 모듈(Mutichip Module, MCM)은 칩이 실장 되는 기판의 종류에 따라MCM-L(Mutichip Module on Laminated Dielectric ... layer200500100HermeticyesnonoSubstraten/an/an/aDielectric Contant4~1003~3.54.7TCE(PPM/℃)7.11316Max O Temp250125125Thermal Cond W/M K2.50.350.16Line

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.10.24

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  [반도체] Investigation of GaN (질화 갈륨의 특성 조사)

  Silicon Carbide는 Nitride device structure에서 우수한 열전도도를 보증하는데, 이것은 High-power device에 있어서 아주 중요한 요소이다.3 ... Electron velocity in Si,GaN,SiC and GaAs at 300K (from [3]).b. ... 수 있다.이 때,는 thermal conductivity,는 saturation velocity,는 breakdown field,는 low field mobility, 그리고는 dielectric

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.09.21

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  [전자, 전파] 수동소자와 능동소자의 특징 (R, L, C)

  k그림 1. ... 전송transmission line에 비해 높은 전력을 전송고출력 기지국이나 위성용으로 사용특징유전체 손실이 적음도체의 저항 손실이 적음방사 손실이 적음전송 전력이 큼차단 파장이 존재High ... 유전율(Permittivity)유전체(Dielectric Material)즉 부도체의 전기적인 특성을 나타내는 중요한 특성 값교류 전자기파의 특성..PAGE:13- 재질에 따른 비유전율10.1AlAs8.4GaP14.8GaSb15.9InSb12.1InP11.5GaAs16Ge12Si10Ceramic5Mica4Paper2.5Polystrene1Air비유전율재질

  리포트 | 34페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.05.10

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  반도체공정

  k재료의 도입이 검토되고 있다. ... SiO2층은 dopant의 확산동안 mask로 사용되거나, gate dielectric, junction passivation, insulating field oxide로써 사용된다 ... 이런 process를 wet oxidation이라고 한다.Dry oxidation은 0.05㎛의 얇은 층에서 high quality를 제공하고, wet oxidation은 0.5㎛정도의

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2001.03.31

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