"VPE" 검색결과 101-103 / 103건

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  [박막 공정] 박막공정(스퍼터링, CVD)

  10torr)- UHCVD : Ultra-High-Vacuum CVD(below 10-3torr)- RTcvd : RApid-thermal CVD(by heat swieching)- VPE

  시험자료 | 5페이지 | 6,900원 | 등록일 2004.06.15 | 수정일 2014.06.30

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  [전기전자] 반도체제작법

  때문에 단결정층을 성장한다는 것을 강조하는 의미에서 epitaxy라는 이름을 사용하여 MOVPE(MO vapor phase epitzxy) 혹은 OMVPE(organometallic VPE

  리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.07.13

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  Wafer 결정성장 방법

  최적화되어있다.액상 에피택시는 극히 열평행에 가까운 상태에서 결정 성장이 이루어진다는 특징이 있으며, 이 때문에 다른 방법에 의한 에피택셜 층보다 결정의 완전성이 좋다.2)기상 에피택시 (VPE

  리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.10.03

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