"MOCVD" 검색결과 141-160 / 327건

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  반도체 공정_CVD (메카니즘, 종류, System, Future)

  0.13㎛ (’01~’04) 0.1㎛ (’03~’05) 300mm Integrated Process Single Wafer Process Low temperature process MOCVD

  리포트 | 21페이지 | 3,000원 | 등록일 2013.12.01

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  기계공학실험 보고서(5. 마이크로 표면측정)

  .- CVD(Chemical vapor deposition): MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition), HVPE (Hydride Vapor

  리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.07.16

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  CIS,CIGS

  MOCVD법으로 성장시킨 CIGS박막의 표면 형상(3) 특성그림 1. ... 산화아연은MOCVD와 스퍼터링법이 주로 사용되고 있으나, CIGS 태양전지의 창(window)층인 산화아연 박막 성장에는 스퍼터링 방법이 주로 사용되고 있다.그림 1. ... 반면에 MOCVD 또는 CVD 방법은 이들 두 방법에 비해 진공장치 내부의 오염이 적고, 불소(F)를 포함하는 가스를 이용한 플라스마 클리닝 방법을 이용하면 손쉽게 오염 물질을 제거할

  리포트 | 18페이지 | 15,000원 | 등록일 2010.12.22 | 수정일 2022.08.12

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  금속 박막증착

  사용한다.실험장비는 DC 스퍼터, RF 스퍼터, 마그네트론 스퍼터, E-beam evaporator 등이 있다.화학 기상 증착(CVD) 에서도 일부가 금속 박막 증착에 사용하는데 실험장비는 MOCVD ... (금속 유기물 화학 기상증착): 유기금속의 열분해반응을 이용해 반도체 기판상에 금속화합물을 퇴적, 부착시키는 화합물반도체의 기상성장법 이다.MOCVD는 에피택시 성장법의 새로운 한 ... 형태로서 공정의 간편성과 제어의 용이성 및다른 화합물 반도체의 생성 편리성의 장점이 있다.전형적인 MOCVD 공정에서는 트리메틸갈륨(TMG)이나 트리에틸갈륨(TEG) 등이 갈륨원료로

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.08.24 | 수정일 2015.02.12

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  LED Procsee

  LED PROCESSAir ShowerInGot 성장 + SUB Wafer 제작 EPI 성장 (MOCVD, LPE, VPE) CHIP Process Package ProcessVGFLECHBWafer

  리포트 | 54페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.01.09

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  [공학]반도체, LED용 특수재료가스 산업 현황

  주요 특수 가스암모니아(NH3)수요처실리콘반도체 질화막 재료, LCD 분야 개척(TFT 절연질화막형성재료)고휘도 청색 LED용 질화갈륨(GaN)용 MOCVD재료.주요 업체 : 쇼와정공과

  리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2006.08.03

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  LED 시장 . Package 투자비용 ,Chip제조공정 , 특허현황

  Ⅰ. Over view Ⅱ. Patent Ⅲ. Value chain Process Ⅳ. 업체 현황 Ⅴ. 루미마이크로 Ⅵ. 검토 종합CONTENTSLED Biz 현황2. LED market TrendⅠ. Over view세계적 Issue로 거론되는 친 환경, Energy..

  리포트 | 34페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.07.28

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  [박막공학] MBE, CBE, GSMBE

  GSMBE광전자재료 연구실 신 상 훈Contents◈ MBE의 개요와 이론 ◈ HARDWARE ◈ Application ◈ CBE, GSMBE의 개요와 이론 ◈ HARDWARE ◈ MBE와 MOCVD ... 가스셀 내에 흡착하지 않도록 (40-50℃)의 온도로 가열Gas Crackers and InjectorsMBE, CBE, MOCVD의 특성비교TMG,TEG,TMIn,TEIn,AsH3

  리포트 | 27페이지 | 2,000원 | 등록일 2004.11.02

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  Alq3의 발광 박막의 제조

  thermal evaporation( 열 증착 ) e-beam evaporation(e-beam 증착 ) Sputtering CVD(chemical vapor deposition) MOCVD

  리포트 | 16페이지 | 4,000원 | 등록일 2011.05.28

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  magnetron sputter를 이용한 박막 형성 실험레포트

  .㉢ 금속 유기물 화학 기상증착 MOCVD는 화학적 기상 성장법 중의 한가지로 유기금속의 열분해반응을 이용해 반도체 기판상에 금속화합물을 퇴적, 부탁 시키는 화합물반도체의 기상성장법이다

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.08.18

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  CIGS박막태양전지

  금속 또는 절연체를 증착할 수 있음 Ar과 다른 혼합가스를 사용하여 반응을 수반한 화합물 증착이 가능 넓은 면적의 박막 제작CIGS의 박막기술(국내 기술동향)유기금속 기상성장 법(MOCVD ... 기술 → CIGS에서는 적절한 전구체 선택과 공정기술 개발이 이루어 지지 않아 성공은 제한적 → 2003년 CIGS에 증착 (국내 대학에서 개발)CIGS의 박막기술(국내 기술동향)MOCVD장점 ... 재현성이 뛰어남, 대형박막 쉽게 제작 → 동시증착과 스퍼터링법에 비하여 박막성장속도 빠름 → 가열된 기판에만 증착물이 선택적으로 증착되어 시료의 효율적인 사용, 진공장치 오염 최소화 MOCVD

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.11

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  사파이어 웨이퍼

  사파이어 단결정에 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체를 증착하는 장비인 MOCVD는 4인치 기판을 양산하기에 적합하도록 되어있다. ... 4인치 사파이어 기판 공급증가시 LED 가격하락웨이퍼 크기가 2인치에서 4인치로 확대되면서 20%의 가격하락과 함께 LED 적용 속도가 빨라질 전망이다.단결정 성장된 사파이어는 MOCVD에서

  리포트 | 49페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.12

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  LED의 구조와 기본 원리, LED산업의 전망

  두 번째로 사파이어 기판 등의 위에 n형 반도체(n-GaN), p형 반도체(p-GaN)를 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition ; 유기금속화학 ... LED의 재료, 파장, 성장방법에 대해 정리 하였다.LED의 재료 파장 성장방법색기존의 발광 소자새로운 발광 소자재료파장제조기술재료파장제조기술적색AlGaAs660LPEAlGaInP644MOCVD주황색GaAsP610VPEAlGaInP612황색GaAsP585VPEAlGaInP590녹색GaP570LPEAlGaInP562,574GaP555LPEInGaN525청색InGaN450자외선InGaAlN

  리포트 | 15페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.01.23

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  LED 시장의 실태와 전망

  .- 삼성전기·삼성전자가 구매를 결정한 MOCVD 물량만 합쳐도 이미 80여대로 국내 최대 규모이며, 삼성전자가 본격 투자에 나선다면 반도체시장에서의 경험과 기술로 조기에 시장선점이 ... 또한 질화물 반도체의 MOCVD 에피 공정 및 LED 제조 공정라인을 가지고 있다.- 최근 백라이트에서 축적한 광 기술을 응용하여 조명 분야로의 사업 확대를 추진하고 있다.○ 2005년 ... 위해 인수전에 나섰고 남영전구 또한 에피밸리 인수를 검토중.- 현재 국내 대다수 LED기업들은 미국, 대만등에서 ODM형태로 칩 공급받고 있음.○ 에피밸리는 LED 생산과 관련된 MOCVD장비

  리포트 | 29페이지 | 2,500원 | 등록일 2010.09.27

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  LED 제조 공정

  SYSTEMLED 제조 공정■ Epi 공정Schematic Diagram of MOCVD ReactorLED 제조 공정■ Low Temperature Buffer를 사용하여 GaN ... 결정재료가 포함된 반응가스를 기판위로 흘리면서 열에 의한 분해 와 반응을 통해 결정을 성장 → 반응가스의 형태에 따라 HVPE, MOVPE 등으로 분류LED 제조 공정■ 성장방법MOCVD ... 발전추이LED 제조 공정FabricatonLED 제조 공정LED 제조 공정LED 제조 공정■ Blue chip StructureLED 제조 공정■ Epi 공정LED 제조 공정■ Epi 공정MOCVD

  리포트 | 46페이지 | 5,000원 | 등록일 2009.06.08

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  [신소재 설계입문] 생체 세라믹 재료를 이용한 인공뼈의 설계 보고서

  또한, MOCVD공정을 사용하여 수산화아파타이트를 다공질 섬유단상조직 위에 Coating함으로서 생체친화성을 극대화 시켰다. ... 이러한 CVD에 해당하는 증착법으로는 열CVD, 플라즈마 CVD(Plasma CVD), 광 CVD, MOCVD(Metal Organic CVD), 레이저 CVD(Laser CVD)

  리포트 | 36페이지 | 2,500원 | 등록일 2011.06.23

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  화학적 기상 증착법 (Chemical Vapor Deposition) 7~8분 분량의 핵심적인 내용만 담은 잘 정리된 PPT자료

  1200 ℃ - Mass Products - High Purity Thin Film - influenced by various factors  Metal-Organic CVD(MOCVD ... 0.13㎛ (’01~’04) 0.1㎛(’03~’05 ) 300mm Integrated Process Single Wafer Process Low temperature process MOCVD

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.11.17

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  증착기를 이용한 반도체 공정

  )MOCVD는 Chamber 안에서 가열된 기판 표면에 증기압이 높은 금속 유기 화합물 증기를 보내어 박막을 만드는 방법입니다.MOCVD는 step coverage가 우수하고, 기판이나 ... PVD보다 유리한점은 진공상태가 아닌 상압에서도 증착이 가능하다는 것입니다.① MOCVD (금속 유기물 증착법 - Metal Organic Chemical Vapor Deposition ... 따라서 고순도, 고품질의 박막을 성장할 수 있고 생산성도 우수합니다.MOCVD는 현재 널리 활용되기 시작한 대형전광판 및 색채영상, 그래픽, 표시소자, 교통신호등 등에 이용되는 발광소자를

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.09.21

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  thin file공정

  수천 두께로 특정 기판 상에 올리는 일련의 과정을 지칭하며 이러한 방법으로는 Thermal evaporation, E-beam evaporation, Sputtering, CVD, MOCVD

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.12.04

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  LED에 대하여

  Zn으로 도핑하여 성장시키는 제4공정과, 상기 활성층위에 p형 AlGaN클래딩층을 성장시키는 제5공정 과, 상기 클래딩층위에 p형 GaN오믹 접촉층을 성장시키는 제6공정과, 상기 MOCVD로 ... 저항이 크게 감소되므로적 층하여 청색 발광소자를 제작하는 더블클래딩-더블헤테로구조를 갖는 청색발광소자의 제작방법에 관한 것으로, 사파이어기판을 사용하여 유기금속화합물 화학기상증착방법(MOCVD ... 상태에서 균일하게 활성층에 유입되게 함으로써 신뢰성과 양자효율 을 향상시키는 효과가 제공된다.일본의 니치아 화학의 나카무라는 1992년 새로운 Two-Flow 유기금 속 화학 증착법(MOCVD

  리포트 | 40페이지 | 3,000원 | 등록일 2009.12.16

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