"건식세정" 검색결과 1-20 / 298건

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  기판 (glass, silicon 등) 클리닝 공정 정리

  이러한 문제와 습식공정의 단점을 보완하기위해 제시되고 있는 방법이 건식세정공정(Dry cleaning)이다. ... 건식세정공정의 종류로는 레이저, 드라이아이스, 자외선 혹은 플라스마를 이용하는 세정공정이 있으며, 기판상의 오염물질의 종류에 따라 세정공정이 선택된다. [2]참조문헌 1. ... 습식세정공정 (이원규_강원대학교)2. Skhynix newsroom, 세정공정

  리포트 | 1페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.10.07 | 수정일 2021.10.29

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  기판 건식, 습식 클리닝 공정 정리

  건식 클리닝 공정건식 세정은 유해한 화학약품을 사용하지 않고 기상 상태나 가스 상태로 세정하는 것을 말한다. ... 따라서 이를 보완하기 위해 나온 세정법이 바로 건식 세정법이다.3-(2) RCA 클리닝습식 세정법 기본토대는 1970년대에 Kern과 Puotinen에 의해 발표된 RCA 기판 세정 ... 구종의 종횡비의 증가, 화학약품 속의 불순물에 의한 역오염, 고순도의 화학약품과 대량이 DI water 사용으로 인한 비용증가, 폐기물의 처리 문제 등 많은 문제점들로 인하여 건식

  리포트 | 9페이지 | 4,000원 | 등록일 2021.11.12

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  [고분자재료실험] ITO scribing & cleaning 결과레포트 (만점)

  금속이온과 유기물을 세정하며(소자의 금속 코팅이 벗겨지지 않도록 주의), DI water로 잔여 오염원을 제거한다.건식 세정(dry cleaning): 건식 상태로 세정하는 방법으로 ... 산/염기성 용매, 유기 용매 및 증류수 등을 포함하는 세정액을 사용하여 화학적 세정을 한다. ... 웨이퍼는 각각의 오염물들을 효과적으로 제거하기 위한 여러 가지 세정 용액을 혼합하여 일괄 처리 공정으로 세정 된다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.01.21

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  숭실대 신소재공학실험1) 14주차 고분자 디바이스 예비보고서

  Ar 플라즈마는 산화 방지 능력 및 다양한 소재에 광범위한 가용성으로 인해 전처리 및 표면처리 세정에 사용되는 가장 일반적인 유형의 플라즈마 방식이다.3) Spin coating의 ... Etching 처리는 물질에 따라 습식(Wet)와 건식(Dry)으로 나뉘는데 습식 처리는 용액을 이용하여 화학적 반응을 통해 처리하는 방법이며 건식 처리는 반응성 기체, 이온 등을 ... 습식은 건식에 비해 비용이 저렴하고, 빠른 속도와 공정도 단순한 장점이 있으나 정확성이 낮고 유해 화학물질로 인해 오염 문제가 발생 되는 단점이 있다.

  리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2024.04.29

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  공기 청정 기술

  포집이 누적돼 정화능력이 떨어지면 집진부 앞에 강한 바람을 일으켜 초미세먼지를 집진부에서 분리하고 동시에 뒷면에서 진공청소기로 먼지를 흡입해 물을 이용하지 않고 건식으로 세정- 용어 ... 건식 전기집진장치는 기계적인 충격이나 진동을 가해 포집된 입자를 제거하는 방식. ... 높은 전압의 전류가 흐르면서 흡입된 공기 속의 오염 물질이 +전하를 띠도록 만들어서 -전하를 띤 판에 달라붙게 하는 방식으로 오염 물질을 없앰- 포집된 입자를 제거하는 방식에 따라 건식

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2023.09.02

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  ITOscribingcleaning A+ 레포트 건국대학교 고분자재료과학

  이 방법은 액체를 전혀 사용하지 않기 때문에 드라이아이스 스크러빙법과 함께 cluster tool에서 채용할 건식세정 기술로 유력한 것으로 생각된다. ... 급격히 증발시키기 위해 파장이 조절된 레이저로 표면을 때리면 moisture는 증발해 파티클을 때어낸다.- 자연산화막 제거(Native oxide removal)자연산화막을 제거하는 건식세정방식에는 ... 양면 세정, 한 면 세정의 대응이 가능. 간단 조작, 세이프티 기능 내장.

  리포트 | 16페이지 | 2,000원 | 등록일 2023.06.03

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  실리콘 웨이퍼 표준 세정, Cr증착, photolithography 공정 최종보고서

  핸들링 전반, CVD, PVD막 내 함유산화막, 산화물SiO2 연마제(슬러리)(실리카, 알루미나, 제라늄 등)자연산화막, 식각 잔여물, CMP 공정후 표면세정은 크게 습식세정과 건식 ... 건식 세정법은 가스 상태에서 웨이퍼 표면의 오염믈 제거하는 방식이다. ... 과거에 여러 가지 기법이 시도되었지만 완전 건식화는 이루어지지 않아 습식 방식과 병용하여 오염을 제거하는 경우가 많다.

  리포트 | 17페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.04.01 | 수정일 2020.08.17

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  [고분자재료실험]ITO patterning 결과레포트

  (물이나 약품을 사용하지 않고, 건식상태로 세정 예, UVO cleaning, plasma cleaning)과 습식세정(화학적 세정-산/염기성 용매, 유기 용매 및 증류수 등을 포함하는 ... 실험에서는 HCl:Fe:=1:1:1 비율의 etchant를 이용하여 5~5m30sec 동안 dipping하였다.3) 각 공정 시 주요한 원리 및 반응을 이해한다.Cleaning: 건식세정 ... 세정액을 사용, 물리적 세정-초음파를 이용한 진동효과)이 있다.PR coating: PR을 기포 없이 얇게 토포한 후, spin coater를 이용하여 도포한다.Soft baking

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.01.21

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  반도체 8대 공정(전공정, 후공정)의 이해

  자극을 사용하는 물리적 세정, 가스나 플라즈마를 사용하는 건식 세정 등이 있다. ... 이런 점 때문에 세정기술 난도도 더 높은데, 현재 세정공정은 전체 반도체 공정의 15%에 이를 만큼 핵심적이다.(2) 세정 방식세정공정 방식에는 액상 소재를 사용하는 습식 세정과 물리적 ... 흐름이 원활해야 하는 곳에는 로우-K(저유전율 으로 주로 쓰이는데, 현재 SK스페셜티 (SK머티리얼즈에서 사명 변경)가 세계 1위의 생산능력을 보유하고 있다.(3) 습식식각 기술 동향건식

  리포트 | 13페이지 | 3,000원 | 등록일 2024.01.14

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  대기환경기사 필기 3과목 대기오염방지기술 기출 정리(2017~2021)

  : 표면적이 충분히 넓은 충전물을 채운 흡수탑 안에서 알칼리성 용액에 의한 흡수제거습식 전기집진장치Ÿ 전기저항↓ → 재비산 방지Ÿ 처리가스 속도를 건식보다 2배 정도 높일 수 있음Ÿ ... 유해가스 처리Ÿ 염화인 : 물에 잘 용해되어 흡수처리하는 것이 좋음Ÿ HCN : 물에 대한 용해도↑ → 가스를 물로 세정하여처리Ÿ 아크로레인 : 그대로 흡수X, NaClO 등의 산화제를혼입한 ... 가성소다 용액으로 흡수 제거Ÿ 이산화셀렌 : 코트럴집진기로 포집, 결정으로 석출,물에 잘 용해되는 성질 → 스크러버에 의해 세정 등Ÿ CO : 백금계의 촉매를 사용하여 연소시켜 제거

  시험자료 | 12페이지 | 3,000원 | 등록일 2022.11.21

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  ESC(정전척) 시장조사, 시장조사 ppt, 시장조사 발표자료

  내 주요 부품인 하부전극을 장비업체에서 SET 으로 판매 ESC( 하부전극 ) 만 판매 세정 및 Repair 등의 LCD/OELD 소모품 전문 업체에서 ESC( 하부전극 ) 만 판매 ... 용사코팅 층 제거 후 다시 재 코팅 전면 재생 : 엠보싱 및 전극 층 제거 후 전극 층 , 세라믹 층 다시 재 코팅 부분 재생 : 생산 작업 시 작업자 실수의 의한 부분 적인 재 코팅 세정 ... ) 로 식각할 때 유리 기판 지지 용 / 건식식각 장비의 핵심 부품 Electro Static Chuck 소개ESC( 하부전극 ) SIZE Electro Static Chuck 소개

  리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.11.01

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  국민대학교 기계공작법 표면처리 요약 리포트

  브러쉬 세정의 여러 단으로 구성되어 파티클 및 유기성 오염원을 제거건식세정1. ... , 스케일, 얇은 막, Burr분사 다듬질(SiO2, Al2O3 고속 분사)숏 피닝(작은 주철 알갱이)텀블링(연마재)브러쉬 세정(나일론, 말총 같은 모)종류과정원리습식세정초음파세정과 ... 오염원 제거3) 제품의 외관과 성능개선4) 작업자나 수요자의 위생상태 개선2-2 세정공정의 종류분류세정 대상(제거 대상)종류(원료)화학적 세정금속가공시 윤활제로 사용되는 오일, 그리스금속

  리포트 | 2페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.12.01

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  [신소재기초실험]Wafer Wet Etching on lab

  식각이 어려운 물질 존재그림 2.7 건식 식각※Plasma란? ... UV수치를 확인하며 진행되어야 하며, 클린룸은 일반적으로 Yellow Room으로 설계된다.세정의 단계는 Spin-Coater 장비를 사용해 아세톤을 도포하여 세정한다. ... 간접 노출, 폭발 가능성그림 2.6 습식 식각Dry etching-모든 원자는 각각의 고유한 파장을 가짐-Plasma 발생시 노출된 표면의 원자에 따라 plasma 의 색이 변함-건식

  리포트 | 17페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.01.07

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  (보건영양 2학년) 국내에서 발생한 생물, 물리화학적 요인으로 인한 식품오염 사건 5가지 사례를 조사하여 사례당 1페이지 정로도 정리해 보세요

  그러나 식품을 직접 세정하는 일은 먼지, 토사, 기생충란 등을 제거하는 데는 유효하지만, 농약을 제거하기는 상당히 어렵다. ... 반려견 건식 사료의 유통기한은 대개 제조일로부터 1~2년 정도입니다. 이때 표기된 유통기한은 사료를 밀봉한 경우에 해당합니다. ... 포장지를 뜯은 건식사료, 캔 뚜껑을 연 습식사료 모두 외부의 균과 습기에 노출돼 금방 상할 수 있습니다. 남은 사료를 꼼꼼히 밀봉해도 온도 변화를 주의해야 합니다.

  방송통신대 | 14페이지 | 6,000원 | 등록일 2022.09.22

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  입자상오염

  반대로 쉽게 손상할 수도 있다는 것과 여과포의 손상이 많아 설비비가 비싸다는 단점이 있다.세정집진기는 물을 기포, 액막이나 물방울 화시켜서 가스와 접촉하도록 하여 관성충돌, 흡수와 ... 확산에 의하여 세정하게 하여서 물이 먼지에 부착 및 입자끼리 응집시켜서 분리 제거하는 습식 집진시설이다.적용공정으로는 가연성, 폭발성, 부식성 먼지나 가스와 분진이 동시에 발생하는 ... 제거하려는 목적으로 사이클론을 여러 개 연결하여 멀티사이클론도 개발되었다.전기집진기는 가장 널리 쓰이는 입자 제거 장치 중 하나로 집진기에 모인 먼지를 제거하는 방식에 따라 습식과 건식이

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.03.27

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  비파괴검사 액체침투탐상검사

  침투제 적용방법; 침지법, 분무법, 붓칠법 등침투제를 적용한후 과잉 침투 제를 제거하기전까지 일정한 침투시간을 두는데, 이러한 침투시간은 검사규격에서 권고 한 기준을 따라 적용(3) 세정처리 ... 따른 분류① 수세성 침투탐상검사② 후유화성 침투탐상검사③ 용제제거성 침투탐상검사3.3 현상방법에 따른 분류관찰방법 및 세척방법에 따라 분류된 침투탐상 검사방법을 현상방법에 따라 건식 ... ,습식, 속건식, 무 현상법과 같이 4종류의 현상법으로 분류 한다.(4) 침투 탐상시험 방법 선택의 고려사항① 요구되는 탐상 감도② 시험품의 크기, 수량 및 형태③ 시험품의 표면 상태④

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2022.11.17

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  반도체공정 중간정리

  대부분의 산화물은 습식단계에서 성장하고 건식단계에서는 향상된 항복전압을 가진 더 높은 밀도의 산화물을 생성한다.3) 건식은 보통 게이트 산화물을 성장시키는데 사용된다.4) 질소는 매우 ... 깊은 층의 실리카를 이용하여 디바이스 사이들의 전기적 신호를 끊어주는 역할을 한다.· Shallow Trench Isolation공정 과정1) PR을 에칭하고 웨이퍼를 세정2) Pad ... 반응성 이온 혹은 가스형태의 플라즈마 에칭시스템을 이용한 건식에칭법이다.1)은 control하기 어려워 정밀하게 못하는 반면 2)는 더 정밀한 패턴을 얻을 수 있다.· Printing

  리포트 | 8페이지 | 3,000원 | 등록일 2022.10.22 | 수정일 2024.04.30

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  NMP 공장 설계 고려 사항

  xxx. xxNMP 재생 설비 고려 사항 NMP N-Methly-2-Pyrrolidone 비점 ( 沸點 ) 202 ℃ 배경 NMP 는 LCD/OLED 등 디스 플레이 제조 공정에서의 세정제 ... 건식 하이브리드 방식으로 회수하는 방법이 연구 ∙도입되고 있으나 , 현재는 초기 단계로서 일반적이지 않음 .NMP 재생 설비 고려 사항 NMP 재생 공정 개요 전술된 EV Battery

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.06.06 | 수정일 2023.06.21

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  대기환경기사 실기 3과목.대기오염 방지기술 핵심요약정리

  경험식, 입경비({d _{p}} over {d _{p50}})을 알면 집진율 계산 가능(5) 세정 집진장치와 여과 집진장치□■세정 집진장치와 여과 집진장치의 집진원리세정관성충돌, 접촉차단 ... 건식탈황법의 종류: 석회석 주입법, 활성 산화망간법, 활성탄 흡착법, 접촉산화법, 전자빔법, 산화구리법, NOXSO 공법? ... 3} +H _{2} O□■중유 탈황방법(예방책)① 접촉 수소화 탈황② 금속산화물에 의한 흡착 탈황③ 미생물에 의한 생화학적 탈황④ 방사선 화학에 의한 탈황□■배연탈황▶ 건식법?

  시험자료 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.07.20 | 수정일 2021.06.28

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  여성간호학 실습 교육자료(회음부 간호)

  건열요법 좌욕과 비슷한 원리이지만 습식이 아닌 건식으로 회음부를 관리하는 방법입니다 . ... . - 지나친 염기나 산성 세정제의 경우 정상 질 PH 산도를 해쳐 몸에 유익한 정상균들의 존재를 위협할 수 있습니다 !

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.12.15

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