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박막공학 텀프

"박막공학 텀프" 검색결과 1-1 / 1건

  • 자료 표지
    [반도체][ppt 자료] 박막 증착 방법
    이온화된 가스 원자는 타겟에 충돌하고 모멘텀 전달에 의해 타겟내의 원자는 방출됨. ... 평평하게 된 박막이 필요.Step Coverage박막 증착Voids in CVDFillingMetal박막 증착Step Coverage 평가 기준 AR 0.5 이면, OK 0.5 AR ... 박막 증착(Thin Film Deposition)박막 증착의 정의 증착하고자 하는 물질을 수 나노에서 수백 나노 두께로 특정 기판상에 올리는 일련의 과정을 말함.
    리포트 | 23페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.10.24
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2024년 09월 01일 일요일
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