"박막재료공학" 검색결과 1-20 / 916건

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  재료공학실험(세라믹) 박막 증착된 웨이퍼들의 XRD 분석

  실험 목적회절 X선을 이용하여 시료에 함유된 결정성 물질의 종류와 양에 관계되는 정보를 알 수 있다.실험 원리회절 X선이 나타내는 입사각 θ가 정해지면 격자면 간격 d가 구해지게 된다. 보통, X선 회절법에 관해서는 입사 X선과 격자면이 이루는 각도 θ보다도 측정계의 ..

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.09.08

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  광운대학교 박막재료공학 이()() 교수님 A+ 시험 공부 자료

  on dielectrics:APCVD:LPCVD:PECVD:HDPCVD:ALCVD:Spatial ALD:MOCVD:PLD:I-PVD:Uniformity:Step coverage등등 ... 정의와 기준> - 특성 차이 종류 -전체 도금 말하는거임

  시험자료 | 26페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.12.21 | 수정일 2023.12.22

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  재료공학실험-재료의 산화 및 박막성장

  재료공학실험1재료의 산화 및 박막 성장-예비REPORT실험목표- 실리콘 집적 회로 제작에서 가장 기본적이며 자주 사용되는 열 산화막을 형성하는 방법을 알아본다.- 열 산화막의 성장기구 ... 따라서 덩이물질의 경우 ellipsometry 각은 다음과 같은 범위를 가짐을 알 수 있다.박막이 있는 경우 물론 (Δ, Ψ) 값에 제한이 없다. ... ellipsometry'는 그 측정기술을 일컫고 그 장비를 지칭할 때는 ‘ellipsometer' 라고 부른다.(1)ellipsometry 각 (Δ, Ψ)순수한 덩이의 표면이든지 박막이

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.03.08

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  [공학]박막 재료의 물성 측정

  이 때 온도의 조절이 매우 중요하며 재료에 따라서는 어닐링에 의해 잔류응력이 감소하여 계면접합특성이 향상되기도 한다.(1) Pull-off test핀을 접착제로 박막에 고정시킨 후 ... 철필에 하중을 주어 박막 표면을 긁어 박막이 모재로부터 분리된 순간의 응력 측정한다. ... 재료 표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해내는 표면 분석 장치.

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19 | 수정일 2016.03.21

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  [재료공학]박막의 증착 공정

  박막의 광범위한 응용범위는 진공 및 관련기술의 발달에 힘입어 반도체소자, 광학재료, 자성재료, 센서, 초경재료, 내부식성 및 내산화성 재료에 이르기까지 매우 다양하다진공이란진공은 공간의 ... 박막증착공정모재 표면에 수 마이크로미터 정도의 두께를 갖는 이종물질을 증착함으로써 표면성질을 개선하거나 특수한 기능을 갖는 구조를 제조하려는 연구가 활발히 진행되고 있다. ... 이것은 분말 야금법으로 만들어진 타겟 같이 밀도가 높지 않은 재료의 경우 수증기가 표면에서 화학반응을 일으킬 수 있으므로 좋지 않은 영향을 끼칠 수 있다.

  리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.09

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  [재료공학] 박막 기초

  ＊박막형성에서 증착 소스로부터 탈출한 입자가 잔류가스에 충돌하지 않고 주행 방향을 굽히지 않고 박막을 형성하려고 하는 기판에 당도 할 수 있도록 하기 위한 필요조건으로는 평균 자유행로가 ... (진공이 아닐땐 증착입자의 직진을 방해하여 공간중에서 이슬과 같은 미립자로 변화하고 평편한 박막의 생성이 힘듦 )d)압력이 낮는 등, 대기압과는 다른 상태가 얻어짐. ... 진공: 공업적으로 ‘대기압 이하의 상태’○공업적으로 진공이 이용되는 이유a)화학적으로 비활성 (공기중의 활성 분자가 박막의 물질과 화합물 형성막음, 원하지 않는 화학 반응 예방)b)

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.05.13

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  [재료공학] 박막 제조법

  3 박막 제조 방법1) 물리적 증착법물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는 것을 의미하였으나, 최근에는 ... 그리고 sputter 되는 원자들은 기판(substrate)에 축적되어 박막을 형성하게 된다.스퍼터링이 일어나면 타겟에서 2차 전자, 중성의 반사 입자, 음 또는 양이온, 타겟 원자를 ... 표면에 충돌하여 표적재료 원자를 방출시킨다.

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.27

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  고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착

  방식이다.PVD 방식으로 제조할 수 있는 박막재료는 금속, 합금을 비롯하여 화합물, 비금속 산화물 등이 있다. ... Phys. 31: 1326진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(결과보고서) PAGE \* MERGEFORMAT 1고려대학교 신소재공학부 ... 챔버는 펌프를 사용하여 높은 진공 상태를 유지하고 아래쪽에는 증발시킬 재료인 소스를 설치한다. 그리고 위쪽에는 기판을 장착한다.

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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  [재료공학]박막의 두께 측정방법

  박막 두께의 정확한 측정을 위해 수백대의 박막 두께 계측장비들을 이용하고 있다. ... 대하여 조사하고 또한 종류는 어떤 것 들이 있는지에 관하여 조사한다.반도체 박막두께 인증표준물질최근 반도체 소자가 고집적화ㆍ소형화됨에 따라 반도체 소자 제조공정에서 사용되는 박막의 ... 성장된 이산화규소(SiO2) 박막과 10~450㎚ 정도로 성장된 실리콘질화(Si3N4) 박막이 주로 사용된다.여기서 1㎚는 사람의 머리카락 두께의 약 10만분의1 정도며 가장 작은

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.18

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  (재료공학실험)진공증착기를 이용한 ohmic contact 형성용 metal박막증착

  진공 증착기를 이용한Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비 보고서)2007170033신소재공학부이희준1. ... 실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통하여 진공 및 진공장비의 원리를 이해하고, 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의기본개념을 이해한다.2. ... 관 내부에는 바륨·마그네슘·붉은인 등을 주재료로 하는 금속조각을 증발시킴으로써 관 벽에 막을 만들어 전극에서 나오는 기체를 이것에 흡착시킨다.현재 전구나 각종 진공관을 비롯하여, 진공

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.03.22

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  고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비보고서)

  세라믹 재료의 박막은 상당히 다양하게 사용되는데 상대적으로 단단한 경도를 가진 세라믹은 부식이나 산화에 강하여 이런 것들에 보호를 요구하는 물건들의 코팅에 사용된다. ... 이해하고 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.배경 이론박막(Thin Film)이란? ... AMSE305진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 (예비보고서)실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통해서 진공 및 진공장비의 원리를

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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  [공학]박막재료의 표면 처리 및 PR제거

  실험제목박막재료의 표면 처리 및 PR제거2. ... 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 (1) 증착공정, (2) 마스크의 패턴형성 그리고 (3) 식각 공정으로 구분된다.이러한 공정들 가운데서 ... 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다.

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.06

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  [공학]반도체 박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거

  ■ 실험 제목- 박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거■ 실험 목적- 여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠 지는데 첫째로 ... 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. ... 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.■ 실험 내용- 가장

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.15

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  [재료공학] 박막측정,기구

  Nanolithography(사진묘사), Nanomachining(절삭), 나아가 분자의 합성 등의 연구에 사용되고 있다.※ SPM의 응용분야- 표면 물리학- 반도체의 표면계측- 분자생물학- 전기화학- 재료공학 ... ● 박막의 두께 측정 방법★ ESCA를 이용한 박막의 두께 측정박막이 ESCA로 관찰할 수 있는 깊이 이내의 두께를 가질 때에는 ESCA에 의한 박막의 두께 측정이 가능해진다. ... 회절 시키므로 Kb필터가 필요하지 않으며, 시료에서 발생하는 background X-선 즉 형광 X-선, 비간섭성 산란 X-선 등을 제거시킨다.예를 들면, 강시료 또는 철분이 많은 재료를

  리포트 | 28페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.27

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  [반도체공학]박막 재료의 표면처리 및 식각 실험

  실 험 제 목 : 박막 재료의 표면처리 및 식각 실험2. ... 실 험 목 적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지는데 첫째로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 ... 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다.

  리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.27

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  [재료공학] 초음파 분무 분해법의 종류와 박막증착

  {Spray pyrolysis 법의 종류 및 그에 의한 박막 증착- Spray pyrolysis Technique and thin film deposition -I.

  리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.12

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  [재료공학실험]전착 공정을 이용한 박막의 제조 및 특성 분석

  전착 (electrodeposition)1) 전착의 원리와 다른 증착방법들과 비교하였을 때의 장단점은 무엇인가?전착의 원리전착도장은 전착도료 용액 중에 양극 또는 음극으로 침적한 피도물과 그 대극 사이에 직류 전류를 통하면 다음과 같은 현상이 동시에 일어나면서 피도물 ..

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.24

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  [재료공학] 플라즈마,PVD,박막형성기구

  박막 형성 기구진공증착장치(Evaporator)진공증착장치는 기판위에 박막을 형성하는 기구로서, 주로 금속막을 증착합니다. ... 반응이나 공정방법을 구현할 수 있다.♣ 플라즈마의 응용분야(1) 신소재 합성 ☞ 종래의 초고압, 고온에서 얻어지던 인조 다이아몬드가 플라즈마를 이용한 기상 증착법에 의해, 특히 박막 ... 물리증착(PVD)물리증착(PVD)이란 Physical Vapor Deposition의 약자로 도금될 금속을 증발시켜 부착시키는 것으로, 진공 중에서 피복하고자 하는 재료를 증발시켜서

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.27

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  [재료공학]SBT 박막제조와 누설전류 정전기용량 측정 결과 보고서

  재료공학기초실험ⅢSBT 박막제조와 누설전류,정전기용량 측정 결과 보고서분반 :조 :학번 :이름 :■ 실험목적SBT 박막 증착 과정을 통해 유전체의 성질을 알고, 반응 온도 및 두께를 ... 이용한 MFIS 구조의 제조 및 특성에 관한 연구(2002. 2월) 공학석사 논문- 비 휘발성 기억소자용 SrBi2Ta2O9 박막의 강유전체 특성, 조선대학교 재료공학과- http ... 한편 전자산업에 쓰이는 각기 다른 전기적 특성을 가지는 재료들이 어떻게 활용되는가에 대해 이해하고 재료공학도로써 재료를 설계할 때, 어떠한 전기적 특성들을 고려하고 평가할 것인가에

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19

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  [재료공학실험] 박막증착실험(진공, pvd, cvd)

  {진공의 구분압력(Pa)응용분야저진공105 (대기압) ~ 102기계공학, 식품공학중진공102 ~ 10-1전자공학, 광학 진공야금고진공10-1 ~ 10-5반도체, 레이저 광학초고진공10 ... 또한 원자수준에서 박막의 조성조절이 가능하며, 넓은 면적에 균일한 박막을 증착할 수 있고 계단 도포성이 우수하다. ... 셔터에 의해 증발분자를 차단하여 박막두께를 조절할 수도 있다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.15

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