고진공 :~, 저진공 : 759~, 대기압 : 760torra) 반도체공정 시스템에서 진공을 이용하는 이유를 4가지 이상 설명하시오.진공은 불순물이 적은 공정을 할 수 있으며, 압력이 ... 또한 플라즈마를 사용할 수 있으며 안전하다는 장점을 갖기 때문에 반도체공정 시스템에서 진공을 이용한다.b) 1 mtorr의 압력에서 Ar(알곤) 원자의 mean free path는 ... BJT 소자를 제작하는 공정에 따라 단면을 그리고 단계별로 설명하라.32. MOSFET 소자를 제작하는 공정에 따라 단면을 그리고 단계별로 설명하라.33.