"스퍼터링의 종류" 검색결과 1-20 / 423건

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  투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

  정의2.2전공펌프의 종류2.3진공펌프의 원리3.진공 게이지3.1진공 게이지의 정의3.2진공 게이지의 종류 및 원리4.스퍼터링4.1스퍼터링의 정의4.2스퍼터링의 종류4.3스퍼터링의 ... 전자재료 물성실험 예비 레포트투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리목차1.투명전극1.1투명전극의 정의 및 조건1.2투명전극의 종류1.3투명전극의 원리2.진공펌프2.1진공펌프의 ... 이하의 매우 낮은 작업압력 하에서도 성막이 가능해 고품질의 박막을 재현성 있게 빠른 속도로 얻을 수 있는 장점이 있다.또한 이 종류의 스퍼터링 장치는 기존에 널리 사용되어 오던 전자빔

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04

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  진공공학 스퍼터링 과제

  마지막으로 캐소드 쉴드 라는 장치는 원하는 음극기판에서만 스퍼터링이 일어나도록 하는 역할을 한다.이러한 스퍼터링에서 음극에 가해주는 전압의 종류에 따라 직류전압을 인가할 때 DC 스퍼터링 ... 따라서 점점 스퍼터링의 효율이 감소하고 결국 스퍼터링이 일어나지 않을 수 있다. 따라서 부도체 물질로 박막을 형성할 경우에는 DC스퍼터링 보다는 RF스퍼터링을 이용하게 된다. ... 이러한 현상을 스퍼터링이라고 하며 떨어져 나온 음극 물질이 기판에 날아가 붙으면서 박막이 형성된다.이러한 스퍼터링은 아래의 그림과 같은 장비에서 이루어진다.

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.06.03

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  ppt 발표 자료 / 박막공정 / PVD / 설명 애니메이션 포함 / ppt 템플릿

  박막공정의 종류3. ... 박막공정의 종류 3. PVD1. 박막공정이란 ? ... 박막공정의 종류원자층 증착법 ( A tomic L ayer D eposition) 화학 기상 증착법 ( C hemical V apor D eposition) 물리 기상 증착법 ( P

  리포트 | 14페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.05.17 | 수정일 2020.05.21

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  Evaporator_Sputter 레포트

  증착 속도가 여러 종류의 금속에 대해 거의 일정하고 전류량과 박막 두께가 거의 정비례하여 컨트롤이 쉽다.그림 SEQ 그림 \* ARABIC 7. ... 또한, 높은 녹는점을 갖는 텅스텐(W)이나 몰리브덴(Mo)의 금속은 증착시킬 수 없고 밀착의 강도가 낮다는 점이 있다.다음은 다른 종류의 Evaporator인 Electron Beam ... DC 스퍼터링에서는 타켓이 산화물이나 절연체일 경우에는 스퍼터링이 되지 않으나, RF 스퍼터링에서는 해결이 가능하고 낮은 Ar 압력에서도 플라즈마가 유지될 수 있다.

  리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08

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  [재료공학실험]투명전극재료의 합성 및 물성 평가

  스퍼터링 방법에는 DC 스퍼터링과 RF 스퍼터링 두 종류가 있는데, 우리가 사용한 방법은 주로 금속 타겟에 쓰는 DC 스퍼터링을 인듐틴을 타겟으로 사용하여 박막코팅을 하였다. ... 스퍼터링(Sputtering)투명전도체 박막을 제작하는 가장 일반적인 방법으로, 진공중에서 방전에 의해 플라즈마를 발생시키고, 이 플라즈마 중의 양이온이 부전극의 타켓 표면에 가속 ... 스퍼터링법에 의한 박막 제조 기술의 특징1) 금속, 합금, 절연물 등 폭넓은 재료의 박막제작 가능2) 적절한 조건의 설정에 의해 다 원계의 복잡한 조성의 Target을 사용해도 거의

  리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.02.20 | 수정일 2022.02.22

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  스퍼터링, RIE 실습 레포트

  측정이온 충격 및 라디칼 반응을 이용한 RIE 식각 기술을 이해하고 RIE를 이용한 bare glass, 실리콘 기판 표면처리 시 일정한 압력, 파워, gas의 양에서, gas 종류 ... 실험장비 원리 및 방법ⅰ) 스퍼터링 (Sputtering) 증착법◆ 실험장비 원리DC/RF Sputter는 스퍼터링 원리를 이용한 박막 증착 장비이다. 3개의 스퍼터 건(Sputter ... 플라즈마 공학스퍼터링 & RIE 실습 레포트Ⅰ. 실험목표Ⅱ. 이론적 배경Ⅲ. 실험장비 원리 및 방법Ⅳ. 실험결과Ⅴ. 결론 및 고찰Ⅰ.

  리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.06.28

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  서울과학기술대학교 무기공업화학 중간고사 요약자료 및 예상문제 (30제, 직접 제작한 문제입니다)

  증착됨)-종류? ... 직류 인가 스퍼터링 : 가장 간단한 방법, 손쉽게 사용할 수 있지만 비전도성 물질의 스퍼터링 불가? ... 라디오 주파 스퍼터링 : 13.56MHz의 라디오 주파전원을 주로 활용하며, 이러한 교류전원을 이용할 경우절연물질의 스퍼터링이 가능하게 된다.⑷ 화학기상증착(CVD)-기체, 액체 혹은

  시험자료 | 26페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.07.08

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  CMOS 제조 공정 실험 레포트(예비,결과)

  산화의 종류에는 습식 산화와 건식 산화가 있다. ... 스퍼터링 증착은 증착 속도는 낮지만 견고한 박막을 형성시킬 수 있고, 접착력이 우수하다. 게다가 모든 물질에 증착이 가능하기 때문에 스퍼터링을 많이 이용한다. ... 금속화의 방법에도 필라멘트 증착, 전자빔(e-beam), 스퍼터링 증착이 있다.

  리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08

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  ALD 예비보고서

  PVD 종류열증발법(thermal evaporation)전자빔증발법(e-beam evaporation)스퍼터링법(sputtering)증착 시키고자 하는 물질을 보트 위에 올려두고 보트를 ... PVD는 열증발법, 전자빔증발법, 스퍼터링법으로 나뉜다. ... 예비보고서실험제목 ALD (Atomic Layer Deposition)이론 및 배경1) 박막 증착법의 종류‘박막(thin film)’이란 1마이크로미터(μm, 100만분의 1미터)

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.12.16 | 수정일 2021.04.08

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  금오공대 화학적 특성평가 "졸겔" 보고서

  졸겔 반응에서 사용되는 금속 화합물의 종류6. ... 생산 효율성 향상을 시킬 수 있어 스퍼터링, CVD에 비하여 생산 비용이 저렴하다. ... 겔을 건조하면 망상구조에 갇혀 있던 물이나 알코올이 빠져나오면서 망상구조가 쭈그러들게 되어 응축과정이 더욱 더 쉽게 된다.3) 화학적 반응의 단계위의 세 종류의 반응에 있어서 화학반응은

  리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2023.05.01

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  반도체 PVD 공정의 종류와 원리

  입자들은 직선방향으로 나아가려는 경향이 있기 때문에 물리적 방법으로 도포되는 박막은 일반적으로 방향성을 가진 상태가 된다.PVD의 종류PVD증착(Evaporation)스퍼터링(Sputtering

  리포트 | 9페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.11.09

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  반도체 공정 실습보고서

  반도체 공정 실습보고서▶ 웨이퍼 준비웨이퍼의 종류: 웨이퍼는 p형과 n형이 있으며 결정 방향에 따라 (0 0 1)부터 (1 1 1)으로 나누어짐채널의 종류에 따라 도핑타입, 도핑농도에 ... 산화막과의 좋은 접착성▷ 금속 공정 소개Sputtering(스퍼터링)▷ 실습과정면저항 공식 (= 물질 고유값)을 통해 Al 두께가 원하는 값으로 증착되었는지 확인할 수 있다. ... 위해 증착두께 avg값의 20~30%를 더 식각하는 것▷ 사진 공정 실습과정▷ 식각 공정 실습과정▶한눈에 알아보기MOS Capacitor의 소자 완성: 웨이퍼 세척 .산화 공정 스퍼터링

  리포트 | 15페이지 | 3,500원 | 등록일 2020.10.07

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  국민대학교 기계공작법 표면처리 요약 리포트

  증착종류정의설명물리 증착법코팅재료를 진공 챔버에서 증기 상태로 전환한 후 대상재의 표면에 얇은 층으로 응축시키는 박판공정대상: 금속, 세라믹, 폴리머 등예) 진공기화, 스퍼터링화학 ... 열처리: 가열과 냉각공정을 통해 재료의 미세조직을 변화시킴으로써 기계적 성질을 바꾸는 과정종류정의목적 및 설명어닐링금속을 적정 온도로 가열하고 그 온도에서 일정시간 유지한 후 서서히 ... 대상(제거 대상)종류(원료)화학적 세정금속가공시 윤활제로 사용되는 오일, 그리스금속 칩, 연마입자, 현장오물 등 고형물버핑과 폴리싱 연마재, 산화막, 녹알칼리 세척(NaOH, KOH

  리포트 | 2페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.12.01

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  동국대 공학법제 특허요건 및 판례 정리 만점 레포트

  ’, ‘수산화나트륨은 pH가 높아 부식성이 크므로 아민계열 안정제로 보완하였으며’ 등의 기재 및 기록에 나타난 이 사건 특허발명 출원 당시의 기술상식을 종합해 보면, 이들 3가지 종류의 ... 제3원소 산화물의 비율이 0.01원자% 미만이면 스퍼터링 타깃의 부피저항률을 충분히 낮은 값으로 억제할 수 없고, 1원자%를 초과하면 그 타깃을 사용하여 제막된 투명도전막이 옥살산 ... 따라서 이 사건 제1항 발명에서 제3원소 산화물의 함유량을 ‘0.01 내지 0.2원자%’의 수치범위로 한정한 것은 스퍼터링 타깃의 부피저항률을 낮게 하면서도 이 타깃을 사용하여 제막된

  리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.02.09 | 수정일 2021.04.30

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  일반화학및실험 간단구리도금 실험 레포트

  음극 스퍼터링 : 진공 내에서 양이온의 입자로 음극물질을 때림으로써 음극물질이 튕겨나온 것이 진공내의 피도금물체에 피막을 만든다. ... 이해)----------------선정이유 : 과제와 관련해 도금의 종류와 그 방법들을 이해하고 이를 위의 이론들과 연관지어 생각해보기 위해1. ... 성분의 박막을 입히는 행위*산화/환원*산화:(분자/원자/이온)이 (수소/전자)를 잃거나 산소를 얻는 것환원:(분자/원자/이온)이 (수소/전자)를 얻거나 산소를 잃는 것*산화 환원의 종류와

  리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2020.12.18 | 수정일 2024.03.11

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  [계측공학 및 실습]Thermistor를 이용한 온도측정_예비보고서

  이것은 세라믹 로드에 니크롬, TiN, TaN, 니켈, 크롬 등의 합금을 진공증착, 스퍼터링 등의 방법으로 필름 형태로 부착시킨 후 홈을 파서 저항 값을 조절하는 방법으로 만든다. ... Thermistor 종류그림2. 저항-온도 그래프2. ... [필터의 종류]주파수 특성의 커브에 따라 몇 개의 종류로 나눌 수 있다.① 하이 패스 필터 [HPF]: 차단 주파수(fc)보다 위에 있는 주파수대를 통과하기 쉬운 특성을 가진다.CR-직렬회로

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.02.11

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  금속재료시험기능사 필기 요점 정리

  Ni-Fe계 합금, 강하고 인성좋음, 열팽창계수 작음, 표준자, 바이메탈구리합금: 이산화탄소가 포함되어 있는 공기중에서 녹청색 녹이 발생비정질합금: 기체 급랭법, 진공 증착법이나 스퍼터링법오일리스 ... 금속의 소성변형의 종류와 특성쌍정변형: 마치 거울에 나타나는 상이 거울을 중심으로 대칭하는 것과 같은 현상12.철강 조직별 경도 크기페라이트 ... -UNF: 유니파이2.저융점 합금 금속원소Pb(납), Bi(비스무트), Sn(주석)3.냉간, 열간가공 기준: 재결정온도4.금속원소 종류와 특성Sn(주석): 무독성, 포장 튜브용 금속

  시험자료 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2021.03.11 | 수정일 2021.03.16

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  박막태양전지

  Cds 층은 광흡수층과 투명전극과의 전기적 완충역할을 하며 , 투명전극을 플라즈마 분위기에서 스퍼터링 성막할 때 손상을 방지해준다 . ... 구성하고 있는 양이온 및 음이온의 종류와 조성을 변경함으로써 결정격자 상수 뿐 만 아니라 에너지 밴드갭 조절이 가능하다 . 실외에서도 전기광학적으로 장기안정성이 매우 우수하다 .

  리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.12.22 | 수정일 2023.05.30

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  삼성전자 공정기술 합격 자기소개서 (2)

  특히, 프린팅 종류, mask의 OPC와 PSM 이슈를 배워 포토공정 이해도를 높혔습니다. ... #경험2 성균관대 RIC 공정실습직접 Lift-Off기법 웨이퍼를 만들기 위해 Proximity 프린팅, NegativePR 패턴생성, 스퍼터링 등의 과정을 실습했습니다. ... 주업무로 FS3제품의 Process flow 제작했으며 이 과정으로 Mask종류, 공정 recipe, 용도에 대한 공부를 했습니다.

  자기소개서 | 5페이지 | 3,000원 | 등록일 2023.02.06

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  Glow discharge

  또한 스퍼터링이라는 표면 처리 기술에 사용된다.글로우방전을 이용한 사례는 이 외에도 글로우방전 질량분석법을 이용하여 구리 박막내의 미량불순물의 농도분석과 음의 기판 바이어스에 대한 ... [Glow Discharge](1) 결과해석글로우 방전은 기체 방전의 한 종류로, 방전관의 압력이 0.5 torr 정도의 극히 낮은 압력에서 방전관에 높은 압력을 가하면 전류가 흐름에 ... 따라서 이러한 오차를 줄이기 위해 진공펌프를 교체해야 한다.(3) 실생활 예시글로방전은 유리관을 채운 기체의 종류에 따라 특유한 색이 나타나는데 공기는 분홍색, 나트륨과 헬륨은 노란색

  리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.03.02 | 수정일 2020.03.03

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