"스퍼터링 공정" 검색결과 1-20 / 493건

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  On-axis 스퍼터링과 FTS 공정으로 증착한 ZTO 박막트랜지스터의 특성

  한국재료학회 이세희, 윤순길

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2023.04.05

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  전기도금,스퍼터링,용사공정

  크롬도금: 크롬 도금은 장식 목적으로 니켈 도금위에 10마이크로미터 정도 하며 거울과 같은 표면을 가진다. 장식용 도금은 강한 부식성을 가지므로 차량 또는 주방 용품에 사용된다. 대기중에서 변색이 안되고 내구성과 내마모성이 좋다. 왼쪽그림은 차량에 크롬도금을 한 것이다..

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.07.22

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  마그네트런 스퍼터링법으로 증착한 투명전극용 Al도핑된 ZnO의 공정 분위기에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성비교

  한국재료학회 임근빈, 이종무

  논문 | 3페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  스퍼터링 박막공정

  스퍼터링 박막공정1.스퍼터링 박막공정 개론스퍼터링법은 플라즈마, 이온빔, 아크등을 사용하여 타켓 물질을 스퍼터하여 기판에 세라믹스 박막을 형성하는 방법이다. ... 타겟 표면을 스퍼터링하여 코팅을 수행하는 공정이다. ... 이온화 고주파 스퍼터링스퍼터링 박막공정의 경우 기판의 트렌치 옆면을 코팅하는 스텝 커버리지에 어려움이 있다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.07.18 | 수정일 2018.11.24

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  Cu, Zn, Sn의 스퍼터링 적층방법과 황화 열처리공정이 Cu2ZnSnS4 태양전지재료 특성에 미치는 효과

  한국재료학회 박남규, 비나야쿠마, 김의태

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  [반도체공정] 스퍼터링

  실험시간 외에 따로 와서 디지털 카메라로 공정 사진을 찍고 발표를 준비하면서 간단한 패턴일지라도 만들기는 쉽지 않다는 것을 새삼 느꼈다. ... 빛이나 방사, 열등 여러 형태의 에너지에 노출되었을때 내부구조가 바뀌는 특성을 가진 혼합물Photomasking 이론(2)양성 및 음성 PR의 공정도Photomasking 이론(3) ... 방법 다이오드 DC 스퍼터링 다이오드 RF 스퍼터링 Triode 스퍼터링 Magneteon 스퍼터링스퍼터링의 원리Sputtering 이론(2)Sputtering 이론(3)웨 이 퍼초

  리포트 | 24페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.06.22

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  [박막 공정] 박막공정(스퍼터링, CVD)

  효율에 영항을 미치는 인자 : 이온에너지, 이온 조사 각도, 이온종류▶ 스퍼터링 공정 장치 개발1 스퍼터링 속도 향상2 타겟 면적 증가3 모재의 플라즈마 가열 저하4 가스 압력 저하5 ... ▶ 스퍼터링의 정의활성화된 가스이온으로 고체표면을 충격하여 에너지 이전에 의해 표면 원자를 물리적으로 축축하여 다른 고체표면에 도금하는 공정.▶ sputtering의 발생glow discharge에 ... 속도2 Magnet 반응 최소화2 이온에너지 및 dose량 조절에 의한 스퍼터링 속도 조절 용이▶ 피막 형성1 모재표면으로 스퍼터링 된 원자의 이동 및 흡착2 흡착원자들의 표면이동

  시험자료 | 5페이지 | 6,900원 | 등록일 2004.06.15 | 수정일 2014.06.30

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  증착법, 스퍼터링, 박막 공정 (THIN FILM PROCESS)의 기초

  증착Ar+AlAr+Ar+Ar+AlAlAl타겟의 DC bias에 의해 plasma가 발생물리 기상 증착법(Sputtering)물리 기상 증착법(PVD)단점고전압 (가격 증가) 낮은 스퍼터링률 ... 박막 공정 과정 이 외에도 부가적인 공정으로 도금, 드릴링(drilling), 다이싱(dicing), 트리밍(trimming) 등이 있으나 박막 제조 공정을 의미하지 않음.세 척 ( ... 한 공정에 최대 200장 웨이퍼 장착화학 기상 증착법 (LPCVD)b.

  리포트 | 41페이지 | 5,000원 | 등록일 2007.10.17 | 수정일 2014.08.27

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  [반도체공학] 반도체 공정 및 스퍼터링

  현상(Development)공정 웨이퍼 표면에서 빛을 받은 부분의 막을 현상시킴.반도체 제조 공정 8★ 10. ... 반도체공정 Sputtering 결과반도체 제조 과정 11. ... 금속연결(Wire Bonding) 칩 내부의 외부연결단자와 리드프레임을 가는 금선으로 연결하여 주는 공정반도체 제조 공정 1418.

  리포트 | 22페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.05

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  [공학기술]박막 공정,PVD,증착,진공증착,스퍼터링 보고서

  이러한 공정을 반응성 스퍼터링(Reactive sputtering)이라고 한다.bias sputtering과는 반대의 역할로 임의의 목적에 따라 산화물 또는 질화물등의 박막을 형성하기 ... 박막 공정THIN-FILM PROCESS목 차1.박막공정6p1.1. 박막공정의 정의7p1.2. 박막공정의 과정7p2. 세척7p3. 증착8p3.1. 증착의 정의9p3.2. ... 스퍼터링- 음극스퍼터링(cathode sputtering)24p4.4.1. 직류스퍼터링(DC sputtering)34p4.4.2.

  리포트 | 70페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.08.16

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  반도체 공정 term project

  이러한 현상을 물리학에서는 “sputtering”이라고 말한다.1)DC 스퍼터링1. ... 사용 및 응용분야스퍼터링 방법의 응용분야 및 생산제품분 야생 산 제 품기 계 용공구용 고경도 코팅, 고체 윤활제, 비행기 엔진부품,착륙기어, 자동차 엔진 부품전 자 용반도체, 저항재료 ... 장비의 개선 방안국내 스퍼터 장비 업체들의 장점으로는 LCD 등 디스플레이 제조에 있어 공정시간을 단축하여 제품 생산량을 증가 가능하다는 것과 국내 IT 디바이스 선진 대기업 보유중인

  리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.06.22

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  진공공학 스퍼터링 과제

  SputteringSputtering(스퍼터링)이란 반도체 제조 공정에서 박막을 형성하기 위해 사용되는 플라즈마를 이용하는 박막 형성 공정이다.플라즈마란 고체, 액체, 기체외에 제4의 ... 따라서 점점 스퍼터링의 효율이 감소하고 결국 스퍼터링이 일어나지 않을 수 있다. 따라서 부도체 물질로 박막을 형성할 경우에는 DC스퍼터링 보다는 RF스퍼터링을 이용하게 된다. ... 마지막으로 캐소드 쉴드 라는 장치는 원하는 음극기판에서만 스퍼터링이 일어나도록 하는 역할을 한다.이러한 스퍼터링에서 음극에 가해주는 전압의 종류에 따라 직류전압을 인가할 때 DC 스퍼터링

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.06.03

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  스퍼터링(Sputtering) 이론레포트

  석사학위, 부산대학교 대학원, 2011.성진욱, “이온빔 스퍼터링으로 제조된 투명 산화물 박막의 물리적 광학적 특성 및 응용.” ... 석사학위, 한국해양대학교 대학원, 2004.박지봉, “고품질 산화물 및 질화물 박막의 제조를 위한 마그네트론 스퍼터링법의 활용과 연구.” ... 증착 속도가 기존 Sputtering에 비해 비약적으로 향상되고(증착 속도가 떨어지는 Sputtering의 단점을 보완), 기판이 충돌하는 전자 수가 적어지므로 Sputtering 공정

  리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.05.21

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  CMOS 제조 공정 실험 레포트(예비,결과)

  스퍼터링 증착은 증착 속도는 낮지만 견고한 박막을 형성시킬 수 있고, 접착력이 우수하다. 게다가 모든 물질에 증착이 가능하기 때문에 스퍼터링을 많이 이용한다. ... 금속화의 방법에도 필라멘트 증착, 전자빔(e-beam), 스퍼터링 증착이 있다. ... 마지막으로 비어컷 공정과 금속화 공정을 거쳐서 그림 6과 같은 CMOS를 제작할 수 있다. [1],[3]그림 SEQ 그림 \* ARABIC 6.

  리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08

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  ReRAM 실험 예비레포트

  그들은 유연한 poly[ethylene naphthalate] (PEN) 기판에 스퍼터링 방법으로 IGZO 반도체 층을 형 성하였다. ... 용액공정 산화물 박막 트랜지스터는 주로 SiO2 등의 무기 박막을 게이트 절연체로 이용하여 연구되고 있으며 우수한 소자특성 및 공정성으로 인해 유망한 연구분야로 인식되고 있다. ... 이를 바탕으로 저온공정 소자의 신뢰성 문제도 충분히 극복할 수 있으리라 전망된다.하지만, 고분자 게이트 절연체는 용액공정 산화물 박막 트랜지스터 등과 같은 무기 박막 트랜지스터에의

  리포트 | 12페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08

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  ppt 발표 자료 / 박막공정 / PVD / 설명 애니메이션 포함 / ppt 템플릿

  박막공정이란 ? 2. 박막공정의 종류 3. PVD1. 박막공정이란 ? ... 박막공정의 종류3. ... 박막공정이란 ? ( )2.

  리포트 | 14페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.05.17 | 수정일 2020.05.21

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  [박막공학실험]이온스퍼터링과 탄소코팅

  실험 공정도.기판의 절단, 세척, 건조의 전처리과정을 하고 각 조건에 따라 진공증착과 이온 스퍼터링으로 성막하였다. ... 실험 공정도실험의 전반적인 공정도를 그림 6에 나타내었다.그림 6. ... 이온스퍼터링과 탄소코팅1. 실험 목적가.

  리포트 | 9페이지 | 3,500원 | 등록일 2023.03.07

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  스퍼터링, RIE 실습 레포트

  이용한 화학적 반응을 이용한다.ⅰ) 스퍼터링 (Sputtering) 증착법스퍼터링 증착법은 진공 증착법의 일종으로 비교적 낮은 진공도에서 플라즈마를 이용해 이온화된 아르곤 등의 가스를 ... 실험장비 원리 및 방법ⅰ) 스퍼터링 (Sputtering) 증착법◆ 실험장비 원리DC/RF Sputter는 스퍼터링 원리를 이용한 박막 증착 장비이다. 3개의 스퍼터 건(Sputter ... 이러한 전위차를 갖는 플라즈마 내부는 이온 및 전자가 전기적 반응에 의해 가속되어 충돌현상을 갖는데, 증착 및 식각 등의 플라즈마 공정은 이러한 충돌현상으로 발생하는 물리적, 라디칼을

  리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.06.28

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  [재료공학실험]투명전극재료의 합성 및 물성 평가

  Plasma 및 Sputtering 제조공정 학습을 통한 공정설계 능력 배양.다. ... 스퍼터링 방법에는 DC 스퍼터링과 RF 스퍼터링 두 종류가 있는데, 우리가 사용한 방법은 주로 금속 타겟에 쓰는 DC 스퍼터링을 인듐틴을 타겟으로 사용하여 박막코팅을 하였다. ... 스퍼터링(Sputtering)투명전도체 박막을 제작하는 가장 일반적인 방법으로, 진공중에서 방전에 의해 플라즈마를 발생시키고, 이 플라즈마 중의 양이온이 부전극의 타켓 표면에 가속

  리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.02.20 | 수정일 2022.02.22

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  서울과학기술대학교 무기공업화학 중간고사 요약자료 및 예상문제 (30제, 직접 제작한 문제입니다)

  직류 인가 스퍼터링 : 가장 간단한 방법, 손쉽게 사용할 수 있지만 비전도성 물질의 스퍼터링 불가? ... 라디오 주파 스퍼터링 : 13.56MHz의 라디오 주파전원을 주로 활용하며, 이러한 교류전원을 이용할 경우절연물질의 스퍼터링이 가능하게 된다.⑷ 화학기상증착(CVD)-기체, 액체 혹은 ... 열진공 증착법, 전자빔 증착법⑶ 스퍼터링법 : 높은 에너지를 갖는 이온의 충돌에 의해 표적의 표면에서 원자들이 떨어져 나오는 현상-전도성을 가진 금속 박막의 증착에 주로 이용 (이온이

  시험자료 | 26페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.07.08

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