"음극스퍼터링" 검색결과 1-20 / 229건

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  리튬 이차전지에서 Si 음극박막의 스퍼터링 증착조건에 따르는 구조적, 전기화학적 특성 연구

  한국재료학회 주승현, 이성래, 조병원, 조원일

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  진공증착과 음극스퍼터링

  음극 스퍼터링은 이 플라즈마 속의 이온을 음극의 음전기의 힘으로 음극 쪽에 가속시켜 음극물질을 튕겨 내서 기판에 부착되게 하는 현상을 말한다.< 글로방전(플라즈마 발생시)과정 >·Glow ... 글로 방전으로 만들어진 플라스마로부터 이온이 나와서 음극에 들어간다. 이 이온은 음극에 놓인 재료의 스퍼터링을 일으켜 양극 기판에 퇴적하는 방식이다. ... 스팟타와 같은 플라즈마에 의한 시료의 파손이 없다.오래 된 형광등을 보면 관 끝 쪽이 거뭇하게 되어 있는데 이는 플라스마로부터 음극에 들어가는 이온에 의한 스퍼터링 현상이며 음극 재료인

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.10.11

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  진공공학 스퍼터링 과제

  마지막으로 캐소드 쉴드 라는 장치는 원하는 음극기판에서만 스퍼터링이 일어나도록 하는 역할을 한다.이러한 스퍼터링에서 음극에 가해주는 전압의 종류에 따라 직류전압을 인가할 때 DC 스퍼터링 ... 이러한 현상을 스퍼터링이라고 하며 떨어져 나온 음극 물질이 기판에 날아가 붙으면서 박막이 형성된다.이러한 스퍼터링은 아래의 그림과 같은 장비에서 이루어진다. ... , 교류전압을 인가할 때 RF 스퍼터링으로 나누어진다.먼저, DC 스퍼터링의 경우 주로 금속물질로 음극을 만들어 금속박막을 형성하는데 주로 사용된다.

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.06.03

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  [박막공학실험]이온스퍼터링과 탄소코팅

  이 현상 자체를 스퍼터링 현상이라 부르며, 튕겨나간 원자들이 음극 반대편에 위치한 기판까지 날아가 붙으면서 증착이 이루어지게 되는 것이 스퍼터링법이다. ... 이온스퍼터링고에너지입자를 이온화된 아르곤 가스등의 기체를 이용하여 음극에 충돌시켰을 때 충돌에너지가 충분히 큰 경우에는 음극을 구성하고 있는 물질의 표면에서 원자를 떼어낼 수 있게 ... 이온스퍼터링과 탄소코팅1. 실험 목적가.

  리포트 | 9페이지 | 3,500원 | 등록일 2023.03.07

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  성균관대학교 일반대학원 신소재공학부 학업계획서

  스퍼터링을 통한 p형 텔루륨 필름의 전기 전도도, 제벡 계수 및 결정 성장 연구, 매우 높은 이동성과 신뢰성을 갖춘 선택적으로 질소 도핑된 ALD-IGZO TFT 연구, 생의학적 응용을 ... 자신의 학문적 지향저는 산화배소법에 의한 조산화아연의 고순도화에 관한 연구, Zr 도핑을 통한 리튬 이온 배터리용 LiNiO2 음극의 Self-Passivation 연구, 이중 도핑된 ... 기능성 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 GA급 항공기 엔진 부품용 Ni합금 설계 잉곳 및 주조기술 개발 연구, 고에너지 밀도 충전식 리튬 이온 배터리용 층상 전이금속 산화물 음극의

  자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2023.09.12

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  카이스트(한국과학기술원) KAIST 일반대학원 신소재공학과 자기소개서 연구계획서

  하는 표면 부동태화 수직 배향 Sb2S3 나노막대 광양극 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 재생 에너지 변환 반응을 위한 새로운 전기촉매로서의 중공 나노입자 연구, Li2O 공스퍼터링을 ... xCdxTi5O12(x = 0.20) 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 리튬이온 배터리용 탄소나노튜브 전도체를 포함하는 무첨가 가공 음극 슬러리 연구, 열적으로 H가 사전 충전된 ... 특성 규명 연구, Cr-Mo 저합금강의 진공침탄 공정 압력 및 질소 첨가 비율에 따른 경화깊이 균일도 및 표면 특성 효과 연구, 산소 진화 전기촉매를 위한 나트륨 치환 무질서 암염 음극의

  자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.03.23

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  한양대학교 일반대학원 신소재공학부 학업계획서

  나노입자로 구성된 거대다공성 미세구체로서 Zn-공기 배터리용 고효율 이중 기능 산소 전기촉매 관련 연구, 최근 진행된 Pt 기반 전기 촉매의 암모니아 산화 반응 연구, 고주파 마그네트론 스퍼터링으로 ... 제조된 Sn 치환 LiMn2O4 박막의 전기화학적 특성 연구, 고출력 Na 이온 배터리용 프러시안 블루/rGO 혼합 전도체 음극의 고체-고체 계면 전하 저장 연구 등을 하고 싶습니다.저는 ... 또한 안정한 탈산소화/금속화를 위한 양이온 전위 조정된 2상 적층 음극 연구, Na-ion 배터리용 고급 양극 재료로서 N 도핑된 그래핀 나노시트로 상호 연결된 FeSe2@C 나노로드에서

  자기소개서 | 2페이지 | 3,800원 | 등록일 2023.05.09

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  고려대학교 일반대학원 신소재공학부 연구계획서

  활동 매핑 연구, 인이 도핑된 케첸 블랙을 사용한 고주파 수퍼커패시터 연구, 다층 나노복합체의 형태 의존 열전기 역률 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 하이 니켈 층상 산화물 음극을 ... 2차원 포토닉스를 위한 웨이퍼 스케일 δ-도파관 연구, 점진적 밴드 구조에 기반한 초고감도 근적외선 InAs 콜로이드 양자점-ZnON 하이브리드 광트랜지스터 연구, 하드마스크용 DC 스퍼터링에 ... 전해조의 최근 개발 탐색 연구, 반 데르 발스 고체의 로봇 4차원 픽셀 어셈블리 연구, 탄탈륨 마이크로디스크 어레이를 이용한 열적으로 안정적인 중적외선 광학 필터 제작 연구, DC 스퍼터링

  자기소개서 | 2페이지 | 3,800원 | 등록일 2023.07.13

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  반도체 공정 term project

  이러한 현상을 물리학에서는 “sputtering”이라고 말한다.1)DC 스퍼터링1. ... 음극에 전압을 가하면 음극에서부터 방출된 전자들이 Ar기체원자와 충돌하여, Ar을 이온화시킨다. ... Ar양이온은 직류전류계에 의해서 음극으로 가속되어 Target표면에 충돌하게 된다.

  리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.06.22

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  스퍼터링, 알파스텝과 시편 관련 조사 보고서

  기판과 음극 간에 플라즈마가 발생한다. ... 그런 다음 음극에 (-)전압을 가하면 음극(증착할 대상물질인 타겟이 장착된)과 양극(웨이퍼나 유리 같은 기판) 사이에 전기장이 형성되고 이 전기장에 노출된 Ar 가스는 Ar+로 이온화되면서 ... 실험 목적ion coater를 사용하여 기판(OHP, Al, Si wafer, Glass)에 백금을 스퍼터링하고, 알파스텝을 통해 단차를 알아본다.

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.11.24 | 수정일 2021.05.26

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  성균관대학교 일반대학원 신소재공학부 학업계획서

  열 구동 미세 구조 비교 연구, 다결정 및 단결정 설계의 임계 소성 온도 연구, 금속 및 세라믹 타겟의 직류, 펄스 직류 및 무선 주파수 마그네트론 스퍼터링에 의한 WO3 박막의 ... 제조된 Fe-16Mn-10Al-5Ni-0.86C 경량강의 마모특성 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 코디어라이트-Al2O3 복합재료의 상진화 연구, 리튬 이온 배터리용 고니켈 음극의

  자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2023.09.30

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  중앙대학교 일반대학원 첨단소재공학과 학업계획서

  통해 Ni가 풍부한 음극 표면 안정화 연구, 고투명 및 고전압 염료 감응형 태양전지를 위한 이진 산화환원 쌍 연구, 웨이퍼 규모 근적외선 광트랜지스터 어레이를 위한 전기화학적으로 ... 양극재의 Fe 치환의 다기능 효과 연구, 콜로이드 양자점-고분자 복합체를 이용한 용액 처리 멤리스터 소자 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 고성능 리튬 이온 배터리를 위한 대향 타겟 스퍼터링을

  자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.03.11

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  성균관대학교 일반대학원 신소재공학부 학업계획서

  미세조직 및 수소 저장 특성에 대한 열처리의 영향 연구, LT-LiNi1/3Mn1/3Co1/3O2: 리튬 이온 배터리용 화염 분무 열분해로 제조된 부분적으로 무질서한 복합 암염 음극 ... 의존성 연구, Al-O 바이너리 시스템에 대한 전하 평형 원자간 전위와 결합된 두 번째 최근접 수정 내장 원자 방법 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 금속-절연체-금속 구조를 위한 스퍼터링된

  자기소개서 | 1페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.02.24

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  스퍼터링, RIE 실습 레포트

  거시적으로 플라즈마 내부의 전자와 이온의 밀도는 거의 같아 전기적으로 중성이지만, 미시적으로는 양극, 음극에 따른 쉬쓰 전압에 의해 전위차를 갖는다. ... 실험장비 원리 및 방법ⅰ) 스퍼터링 (Sputtering) 증착법◆ 실험장비 원리DC/RF Sputter는 스퍼터링 원리를 이용한 박막 증착 장비이다. 3개의 스퍼터 건(Sputter ... 플라즈마 공학스퍼터링 & RIE 실습 레포트Ⅰ. 실험목표Ⅱ. 이론적 배경Ⅲ. 실험장비 원리 및 방법Ⅳ. 실험결과Ⅴ. 결론 및 고찰Ⅰ.

  리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.06.28

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  한양대학교 일반대학원 화학과 학업계획서

  저는 재충전 가능한 아연-공기 배터리용 음극 재료로서 금속-유기 구조에서 파생된 니켈 장식 바이메탈 촉매 연구 등에 관심이 있습니다.2. ... 미세다공성 유기 고분자의 광촉매 수소 생산 강화 연구, 다양한 응용 분야에서 잠재적으로 사용하기 위한 엽산 기능화 탄닌산 기반 금 양자점의 합성 연구, 다양한 산소 비율에서 마그네트론 스퍼터링으로

  자기소개서 | 2페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.02.29

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  일반화학및실험 간단구리도금 실험 레포트

  음극 스퍼터링 : 진공 내에서 양이온의 입자로 음극물질을 때림으로써 음극물질이 튕겨나온 것이 진공내의 피도금물체에 피막을 만든다.

  리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2020.12.18 | 수정일 2024.03.11

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  Glow discharge

  또한 스퍼터링이라는 표면 처리 기술에 사용된다.글로우방전을 이용한 사례는 이 외에도 글로우방전 질량분석법을 이용하여 구리 박막내의 미량불순물의 농도분석과 음의 기판 바이어스에 대한 ... 즉, 음극에서의 전자복사가 증가하는 것이다. 이때는 음극의 한 부분이 고온이 되어 열전자 방출이 많아지게 된다. ... 이는 아크방전인데, 글로우 방전 상태에서 전류를 증가시키면 양이온의 음극에 대한 충돌이 더욱 활발하게 되므로, 음극에서의 전자방출은 증가할 것이다.

  리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.03.02 | 수정일 2020.03.03

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  고려대학교 일반대학원 화학과 연구계획서

  보존하면서 표면 중합효소 반응 생성물을 2차 플랫폼으로 전달 연구, 고성능 리튬황-셀레늄 하이브리드 배터리를 위한 다층 그래핀 내장 2D MoSSe 구조 감소를 통한 Li2SxSey 음극 ... C3 Hydrocarbons 연구, 다양한 산소 비율에서 RF 스퍼터링으로 증착된 Mo 막의 합성 및 특성 분석 연구 등을 하고 싶습니다.저는 또한 패치 배향 및 순환 콜로이드 분자를

  자기소개서 | 2페이지 | 3,800원 | 등록일 2024.04.28

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  국민대학교 기계공작법 표면처리 요약 리포트

  증착종류정의설명물리 증착법코팅재료를 진공 챔버에서 증기 상태로 전환한 후 대상재의 표면에 얇은 층으로 응축시키는 박판공정대상: 금속, 세라믹, 폴리머 등예) 진공기화, 스퍼터링화학 ... 수용액으로 코팅자동차 등 페인팅크롬산 코팅이 인산염보다 두께가 얇음산화피막법전해공정을 통해 안정적인 산화물 피막을 금속표면에 형성하는 코팅전기도금과 상반된 공정(대상재-양극, 용기-음극 ... 도금종류정의설명전기도금전해질 용액속의 금속이온이 음극의 공작물의 표면에 얇은 금속막을 코팅시키는 전기분해공정특수한 용도(부식방지, 내마모성) 을 위해 아연, 니켈, 주석, 크롬 도금전해성형패턴에

  리포트 | 2페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.12.01

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  [재료공학실험]플라즈마 질화처리

  실험 순서1) 질화처리하려는 시편을 챔버 속에 넣고 불순물제거를 위해 우선적으로 스퍼터링을 1시간동안 실시한다2) 처리부품을(-), 챔버를(+)극으로 하고 500 V의 직류전압을 가하여 ... 음극강하에 의해 가속된 ion이, 고체에 충돌할 때, 표면근방에서 전계 방사된 전자에 의해 중화되어 중성이 되지만 운동량을 그대로 보존하여 고체에 돌입한다. ... _{4} N으로 변화를 일으키며 질화가 진행 → N이 내부로 확산하며 FeN을 계속 생성N _{2} +H _{2}가스를 1～10 Torr의 희박한 분위기의 진공로에서 처리부품을 음극

  리포트 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2023.07.03

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