"이온 플레이팅법" 검색결과 1-20 / 93건

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  이온플레이팅법으로 제조된 TiAlLaN계 박막의 산화속도

  한국재료학회 서성만, 이기선, 이기안

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  이온플레이팅법으로 TiN, TiC 코팅한 Ti temple의 제작 및 표면특성연구

  대한시과학회 박문찬, 주경복

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.05.03 | 수정일 2023.04.05

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  스퍼터링(Sputtering) 이론레포트

  석사학위, 동의대학교 대학원, 2008.김영종, “Mg 합금소재에 이온플레이팅한 Zn 박막의 전기화학적 특성.” ... 석사학위, 한국해양대학교 대학원, 2004.박지봉, “고품질 산화물 및 질화물 박막의 제조를 위한 마그네트론 스퍼터링법의 활용과 연구.” ... 박사학위, 연세대학교 대학원, 2004.이홍철, “Reactive Magnetron Sputtering 법을 이용한p-type SnO 투명산화물반도체 합성 및 특성분석.”

  리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.05.21

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  유기소재실험2_고분자_박막_제조

  반응촉진 에너지원은 열이다.(4) PVD : 드라이 플레이팅이라고도 한다. ... 고체에 충돌시키는 입자로 이온을 사용한다.(3) CVD : 출발원으로서 가스를 이용하여, 기판표면에서의 화학반응을 이용하여 박막을 형성하는 방법이다. ... 스퍼터링에 튀어나간 원자를 기판위에 퇴적시켜 박막을 만들며 이를 스퍼터링 법 또는 물리적 증착 방법이라고 한다.

  리포트 | 2페이지 | 2,000원 | 등록일 2023.08.31

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  [신소재공학실험]진공 및 박막 실험

  플레이팅이온 플레이팅은 생성된 증착 원자 또는 분자의 일부를 이온화시키 고 전기장 속에서 가속하여 고 에너지를 만들고 이를 진공중에 놓 여진 기판에 흡착시켜 박막을 형성한다. ... 증기 건조법)을 위시하여 전기도 금법, 기체 또는 액체 속의 산화법, 화합물 열분해법, 전자빔 증착법, 레이저빔 증착법 등에 의해 만들어진다. ... 증착 입자는 일단 진공증 착에서 사용된 방법으로 가열법이나 전자빔 증착법에 사용된 방법 인 전자선에 의해서 증발된다.

  리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.08.28

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  마이크로표면측정 - 경북대 기계공학실험 만점

  PVD의 종류로는 진공증착, 이온 플레이팅, 스패터링이 있다. 이들 공정도 처리온도가 600도에 현재도 실험을 하고 있다. ... 이온 플레이팅이나 플라즈마 CVD와 같이 질화에 있어서 벽을 플러스 공작물을 마이너스로 대전시켜 방전을 일으켜 질화를 촉진하는 플라즈마 에너지를 이용하는 것이 이온 질화이다.https ... 확산 경화법 의 종류에 침탄법과 질화법이 있는데 두 처리과정의 가장 큰 차이는 처리 온도 이다.

  리포트 | 11페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.04.05 | 수정일 2020.04.11

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  [박막공학실험]이온스퍼터링과 탄소코팅

  스퍼터링법이 진공증착 및 이온 플레이팅과 다른 가장 큰 차이점은 증착시킬 소스 물질에 운동량을 직접 전달한다는 점이다.그림 3 스퍼터된 원자들의 기판증착.라. ... 실리퍼 웨이퍼 기판 위에 진공증착법을 이용한 탄소코팅과 이온 스퍼트링법을 이용한 금코팅을 성막함에 있어 진공증착과 이온스퍼터링의 원리에 대해 알아보고, 횟수와 시간 변수에 따른 박막의 ... 이온스퍼터링과 탄소코팅1. 실험 목적가.

  리포트 | 9페이지 | 3,500원 | 등록일 2023.03.07

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  나노화학실험 CVD 예비보고서

  그렇게 방출되어 나온 원자들을 기판에 증착시킨다.Ion plating(이온 플레이팅법) : Evaporation의 한계를 해결하기 위해, 증발된 입자에 열속도보다 훨씬 큰 에너지로 ... 가속된 이온을 같이 포함시켜 박막을 형성하는 방법. ... 녹는점이 높은 재료의 증착에 사용한다.Sputtering(스퍼터링) : 높은 에너지를 가진 이온(plasma)들이 target(증착재료)에 충돌하면, 주변 target원자들에 에너지가

  리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2020.06.30 | 수정일 2021.05.30

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  2020 경북대학교 기계공학실험 마이크로표면측정 A+ 레포트

  PVD의 종류로는 진공 증착법, 스패터링법이 있다.그중 진공 증착법은 진공 중에서 금속 혹은 비금속을 가열 증착시켜서, 물건의 표면에 응결시켜 피막을 형성시키는 도금법이다. ... PVD (Physical Vapor Deposition): PVD란 드라이 플레이팅 이라고도 하며, 진공 중에 금속을 기화시켜 기화된 금속 원자가 산화하지 않은 채, 방해물 없이 피도금물에 ... : 플라스마란 기체가 초고온 상태로 가열되어 전자와 양전하를 가진 이온으로 분리된 상태를 말한다. 일반적으로 물질의 상태는 고체·액체·기체 등 세 가지로 나눠진다.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.01.08

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  PVD의 종류와 특성, 응용분야

  진공 중에 금속을 기화시켜 기화된 금속 원자가 산화하지 않은 채, 방해물 없이 피도금물에 도금이 된다.① 진공 증착법,② 스패터링법,③ 이온 플레이팅법으로 분류된다. ... 등의 내마모성, 내열성, 그 외 기능성이 있는 화합물 피막을 도금할 수 있다.(1) PVD법의 종류와 특성종 류진공증착이온 플레이팅스퍼터링입자생성기구열에너지열에너지운동량 전이막 생성속도높음 ... 드라이 플레이팅이라고도 한다.

  리포트 | 21페이지 | 2,500원 | 등록일 2015.01.08 | 수정일 2023.04.29

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  패터닝 예비보고서(학부 실험)

  하는 것은 플라즈마의 화학작용을 응용하는 표면강화처리이지만, 그 중에서도 플라즈마가 중요한 역할을 하고 있는 프로세스로는 다음과 같은 것이 있다.①진공증착법, ②스퍼터링법, ③이온 플레이팅법 ... , ④이온 주입법 / 또한 플라즈마를 이용한 화학기상증착법(PCVD법)에서는 높은 에너지전자의 이용에 의한 원자의 이온화, 여기, 라디칼화, 분자의 라디칼화에 의한 화학반응촉진의 효과도 ... 이온시스층 내에서 활성 이온 입자는 웨이퍼 표면과 수직한 전계에 의해 가속되어 수직 방향으로 식각이 진행된다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.06.17

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  플라즈마와 표면개질 plasma

  PVD중에서도 공업적으로 적용이 풍부한 것은 이온플레이팅이다. 이온플레이팅은 증발한 입자를 이온화 하고 , 전압에 따라 가속하여 공작물에 부착 시킨다. ... PVD의 종류로는 진공증착, 이온플레이팅, 스패터링이있다. 이들 공정도 처리온도가 600도 보다 낮기 때문에 처리 공정에서의 변형을 억제 할 수있다. ... 이온플레이팅의 막은 TIN (질화 탄산)가 거의 전부였으나 현재에는 여러 막이 사용 되고 있다. 이중에도 TICN(탄질화 티탄) 이나 TIAIN이 최근에 많이 사용 된다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.07.10

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  스퍼터링, sputtering

  스퍼터링 이온 플레이팅 장치의 구성 01 Sputtering 장치의 구성 D.C Sputtering 장치 개략도 장치의 구성 Pumping : 배기속도와 진공도를 조절 Power Supply ... 물질이 수 마이크로미터 이하의 두께로 자체적으로 독립적인 기능을 가지고 있는 층 (layer ) 들어가기 앞서 들어가기 앞서 CVD PVD ALD 열 CVD 플라즈마 CVD 증발법

  리포트 | 38페이지 | 3,800원 | 등록일 2016.01.04

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  PVD 원리와 종류

  박막형태 특히 오염도(degree of contami법이 있는데 진공증착(Evaporation), 스퍼터증착(Sputtering), 이온 플레이팅(Ion plating)이 있다. ... 플레이팅 등이 있다. ... 예를 들면, 스퍼터 증발법이나 이온화(플라즈마화), 바이어스 전압을 인가함으로써 박막 성질을 개선하는 것이다.물리증착의 큰 특징은 저온에서 증착이 양호한 피막을 얻을 수 있고, 대단히

  리포트 | 14페이지 | 2,000원 | 등록일 2015.07.27

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  형질전환 레포트

  하는 것이다.이 외에도 식물세포와 조류세포에 많이 사용되는 두 세포의 원형질체를 폴리에틸렌 글리콜이 있는 상태에서 섞어주면 두 세포가 융합하여 하나의 세포로 합쳐지는 원형질체 융합법( ... 그런 후에 형질전환된 세균이 플레이팅되어 항생제에 노출되었을 때 이들은 이미 생존할 수 있을 만큼 충분한 효소를 합성하고 있을 것이다. ... 칼슘 이온이 음전하를 띄는 DNA과 세포막을 전기적으로 중화시켜 전기적 척력을 최소화 시켜주게 된다.2)electrophoration : 전기충격을 주어 강한 전기장을 만들어 막이

  리포트 | 7페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.12.03

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  재공실 실험2 예보 - RF-Magnetron Sputter를 이용한 박막 증착 원리 이해

  진공 중에 금속을 기화시켜 기화된 금속 원자가 산화하지 않은 채, 방해물 없이 피도금물에 도금이 된다.진공 증착법, 스패터링법, 이온 플레이팅법으로 분류된다. ... 드라이 플레이팅이라고도 한다. ... PVD법은 알루미늄, 티탄이나 고융점 재료의 도금이 가능하고, 진공 중에 금속과 비금속 원자를 이온화하여 반응시키면, 탄화 티탄, 질화 티탄, 알루미나, 질화 알루미늄, 탄화 규소

  리포트 | 6페이지 | 2,000원 | 등록일 2013.10.29

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  3. Thermal evaporation 예비

  또한, PVD법은 진공 증착법과 스퍼터법, 이온플레이팅법으로 나눌 수 있다. ... 특히 코팅층이 피처리물에 우수한 접착력이 요구되거나 피처리물이 온도에 따라 성질이 변하는 경우는 이온도금을 사용하는 편이 유리하다.3-4.진공 증착법(Vacuum Evaporation ... 따라서, 증착되는 박막의 특성과 용도 등에 맞는 최적의 박막제작법을 선택하는 것이 중요하다. 그림 에 각종 박막제작법을 나타내었다.

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.05.22

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  이온플레이팅

  . mattox는 이것을 ‘증착전이나 증착과정 중에 고 에너지의 이온으로 형성되는 유속에 의해 지배되는 증착법’ 이라고 풀이 하였다.이온플레이팅도 스퍼터링과 비슷하게 플라즈마를 사용한 ... 피막을 형성할 수 있다.③ HCD법의 전자빔은 이온플레이팅을 실시하는 압력(10-2~10-4torr)에서 안정하므로 조작성 및 재현성이 우수하다. ... 이 기술은 이온 플레 이팅에서 증착 막 재료의 주기적 충격을 가능케하고 펄스 이온플레이팅이라고 칭 한다.그림3.

  리포트 | 19페이지 | 3,000원 | 등록일 2011.07.03

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  PLA의 고유점도와 표면개질 측정

  PVD중에서도 공업적으로 적용이 풍부한 것은 이온플레이팅이다. 이온플레이팅은 증발한 입자를 이온화 하고 , 전압에 따라 가속하여 공작물에 부착 시킨다. ... PVD의 종류로는 진공증착, 이온플레이팅, 스패터링이있다. 이들 공정도 처리온도가 600도 보다 낮기 때문에 처리 공정에서의 변형을 억제 할 수있다. ... 이온플레이팅의 막은 TIN (질화 탄산)가 거의 전부였으나 현재에는 여러 막이 사용 되고 있다. 이중에도 TICN(탄질화 티탄) 이나 TIAIN이 최근에 많이 사용 된다.

  리포트 | 17페이지 | 2,000원 | 등록일 2011.10.16

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  마이크로 표면측정

  PVD 중에서도 공업 적으로 적용이 풍부한 것은 이온 플레이팅이다.이온 플레이팅은 증발한 입자를 이온화 하고, 전압에 따라 가속하여 공작물에 부착 시킨다. ... 이온 플레이팅의 막은 TIN(질화 탄산)가 거의 전부였으나 현재에는 여러 막이 사용 되고 있다. ... 반응성 이온프로이팅 가운데서도 각종의 원리가 있고 HCD(Hollow Cathode Discharge)법, EB(Electron Beam)법 등을 들 수 있다.

  리포트 | 15페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.06.24

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