"직류 스퍼터링 (DC Sp" 검색결과 1-1 / 1건

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  스퍼터링

  여기서 인가된 전원이 직류(direct current, DC)일 경우를 직류스퍼터링법(DC sputtering methode)라 하며 일반적으로 전도체의 스퍼터링에 사용된다.2. ... 직류 스퍼터링 (DC Sputtering)스퍼터링 방법은 스퍼터링 가스를 진공상태인 chamber에 주입하여 증착시키고자 하는 타겟물질과 충돌시켜 플라즈마를 생성시킨 후 이를 기판( ... RF 스퍼터링 (RF Sputtering)공급되는 플라즈마를 DC전력공급장치가 아닌 AC전력공급장치로 얻는 방식이다.표적재료를 절연체와 같은 부도체(비전도성 재료)를 사용 할 때 DC전력공급장치를

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.21

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