Rotary Pump로 Chamber에 진공을 잡아 준 후 더 낮은 기압을 갖는 진공을 잡아주려고 할 경우 Diffusion Pump를 이용하여 더 낮은 진공을 잡아준다. ... 고진공 상태에서 소스를 원하는 고온까지 가열하면 소스는 기ㅣ체화되서 증발하면서 챔버 내로 분산되어 날아가게 된다. ... Turbo Molecular pump등을 이용하여 고진공을 잡아주게 되며 분자의 직진성에 의해 고진공을 잡을수록 박막의 순도 등에 영향을 미치기 때문에 단점이라고 할 수 있다.
