잔류 Gas 분석기 (Residual Gas Analyzer) 일반적으로 질량범위가 1-100 혹은 1-200 amu 인 4 중극자 질량분석기 분해능은 1amu 차이의 peak 를 ... Leak 탐지 방법 잔류 Gas 분석 방법차례 Leak 탐지 방법 1) 스파크 코일 기술 2) 압력 변화 방법 3) 헬륨 질량 분석기 리크 탐지기 (1) 헬륨을 사용하는 이유 ? ... 압력 눈금이 올라감 리크를 탐지하는데 한계성이 있음 압력이 torr ~ torr 사이일 때 리크를 탐지헬륨 질량 분석기 리크 탐지기 가장 감지력이 높고 , 사용하기가 편리 기체의