do exist;2. to be honest and realistic in stating claims or estimates based on available data;3. to reject ... gate depletion 현상과 게이트의 전극의 저항을 줄이기 위해 poly-Si의 doping농도를 증가하게 되면 기판으로 사용되는 p형 poly-Si의 주요 dopant인 B(boron
시간(Etch time) 으로 결정법 ; monitor wafer를 이용*건식 식각 시 (실용화는 아님)i) 박막의 굴절률을 광학적으로 측정하여 결정법ii) Etchent의 농도 Boron ... 현상 상태 검사 및 선폭 측정 (Inspection & Measuring)· 규정된 형상 및 정렬 상태 확인· 규격화된 선폭의 치수 측정 → 다음 공정의 가.부 진단⇒ 공정상 불량(reject