Chemical vapor deposition (CVD)① thermal decomposition(열분해)② reaction of gaseous compounds (가스 화합물 반응 ... silicide: TiSi2, CoSi2 등의 합금을 실리콘과 먼저 결합하여 Schottky Contact으로 인해 높은 저항이 발생하는 것을 낮춰주기 위한 공정이자 화합물? ... 양극:C`u` rarrow`C`u ^{2+} +2`e ^{-}? 음극:`C`u ^{2+} +2`e ^{-} ` rarrow`C`u28.