"DC 마그네트론 스퍼터링" 검색결과 1-20 / 108건

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  DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 IGZO 박막트랜지스터의 특성

  한국재료학회 김성연, 명재민

  논문 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  Si 기판상에 DC 마그네트론 스퍼터링방식에 의한 Pt(200) 박막의 배향성장

  한국재료학회 장지근, 김민영, 박용익, 장호정

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  DC Magnetron 반응성 스퍼터링 방법을 이용한 stoichiometric Ta2O5막의 증착조건에 관한 연구

  한국재료학회 조성동, 백경욱

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  DC 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용한 Cu 증착률의 스퍼터링 압력 및 Power 의존성 조사

  갖는 가스에 high-impedence DC power supply를 이용하여 전압을 인가함으로써 방전이 일어난다. ... 따라서 플라즈마에 밖에서 자장이 가해지면 전자만이 가속되고 이온은 그 만큼 가속되지 않는다[10].(1) DC Glow dischargeDC Glow discharge는 낮은 압력을 ... 스퍼터링(sputtering)스퍼터링(sputtering) 현상은 1852년 Grove에 의하여 처음 발견되었으며[3], 현재는 여러 가지 박막의 형성에 광범위하게 사용되어지고 있다

  리포트 | 37페이지 | 6,000원 | 등록일 2008.01.16 | 수정일 2014.08.20

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  Evaporator_Sputter 레포트

  Magnetron Sputtering 등이 있다.먼저 DC Sputtering은 직류 전원을 이용한 스퍼터링 방법이다. ... DC 스퍼터링에서는 타켓이 산화물이나 절연체일 경우에는 스퍼터링이 되지 않으나, RF 스퍼터링에서는 해결이 가능하고 낮은 Ar 압력에서도 플라즈마가 유지될 수 있다. ... DC Sputtering 구조 [5]또한, RF 스퍼터링에 비해서 증착 속도가 빠르고 박막의 균일도가 크며, 밀착 강도가 높다는 장점이 있다.

  리포트 | 7페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.11.08

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  재료공학실험(세라믹) 최종 보고서

  실험 목적Magnetron 스퍼터링을 이용하여 각각의 웨이퍼에 재료를 증착시킨 후 박막 형성 결과에 대한 다양한 특성 평가를 진행한다.2. ... DC 스퍼터링을 위해선 이온이 충분한 에너지를 갖도록 가속되어야하는데, 이를 위한 변수로 파워와 챔버 내 기체 압력이 있다. ... DC를 사용할 시 타겟으로 부도체를 사용할 경우 타겟 표면에서의 Ar 양이온들의 charging 에 의해 스퍼터링이 어렵기 때문에, 타겟이 어떤 물질인지 먼저 파악하는 것이 중요하다.또한

  리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2022.09.08

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  [재료공학실험]투명전극재료의 합성 및 물성 평가

  스퍼터링 방법에는 DC 스퍼터링과 RF 스퍼터링 두 종류가 있는데, 우리가 사용한 방법은 주로 금속 타겟에 쓰는 DC 스퍼터링을 인듐틴을 타겟으로 사용하여 박막코팅을 하였다. ... 마그네트론 Sputtering 법에 의한 ITO 박막의 합성1) RF, DC, Pulse DC-Sputtering System으로 건조시킨 glass 기판 사용하여 합성다. ... 실험 방법은 가장 보편적으로 쓰이는 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 glass 기판에 박막 증착을 직접 해보았고, 투명 전도막이 가져야할 투과도, 전기전도도(비저항), 두께 측정을

  리포트 | 6페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.02.20 | 수정일 2022.02.22

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  반도체 공정 term project

  이러한 현상을 물리학에서는 “sputtering”이라고 말한다.1)DC 스퍼터링1. ... 이후 다양하고 우수한 박막을 코팅할 수 있게 되어 급속히 넓은 산업 분야에 이용되기 시작했다(일반적으로 ‘Magnetron Sputtering’을 Magnetron을 생략하여 ‘Sputtering ... 사용 및 응용분야스퍼터링 방법의 응용분야 및 생산제품분 야생 산 제 품기 계 용공구용 고경도 코팅, 고체 윤활제, 비행기 엔진부품,착륙기어, 자동차 엔진 부품전 자 용반도체, 저항재료

  리포트 | 11페이지 | 5,000원 | 등록일 2023.06.22

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  신소재프로젝트3 광전자 A+ 예비레포트

  REPORTⅠ. 박막 태양전지(구조, 각 층의 역할)박막 태양 전지는 실리콘 웨이퍼 대신 값싼 유리, 플라스틱 또는 금속과 같은 기판 상에 하나 이상의 얇은 층 또는 광전지 물질의 박막 (thin film, TF)을 증착시킴으로써 만들어진 제 2 세대 태양 전지이다(셀..

  리포트 | 14페이지 | 3,000원 | 등록일 2023.10.07

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  DC Magnetron sputtering

  DC Magnetron sputteringSputtering의 원리이온 스퍼터링은 에너지를 가진 입자에 의해 표면을 bomardment하여 이때의 운동량 교환으로 고체 표면 으로부터 ... 사용할 수 있는 장점이 있으며, 일반적으로 DC방법을 사용하나 비전도성 표적재료인 경우는 AC과정인 RF전위를 이용하여 스퍼터링 할 수 있다. ... 입사한 아르곤 가스의수에 hematic, illustrating the magnetic confinement and the resulting electron trajectories.magnetron

  리포트 | 12페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.12.24 | 수정일 2013.11.17

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  스퍼터링

  마그네트론 스퍼터링 (Magnetron Sputtering)마그네트론 스퍼터링 기술은 발생된 플라즈마(아르곤 등의 비활성가스)를 영구자석을 이용해 만든 자기장을 이용해서 수백볼트의 ... 여기서 인가된 전원이 직류(direct current, DC)일 경우를 직류스퍼터링법(DC sputtering methode)라 하며 일반적으로 전도체의 스퍼터링에 사용된다.2. ... 직류 스퍼터링 (DC Sputtering)스퍼터링 방법은 스퍼터링 가스를 진공상태인 chamber에 주입하여 증착시키고자 하는 타겟물질과 충돌시켜 플라즈마를 생성시킨 후 이를 기판(

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.21

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  sputtering (스퍼터링)

  DC장치와 같이 보이나, bias 전압을 기판에 걸어줌으로써 접착성이 우수하고 치밀한 조직을 얻을 수 있는 장점이 있다.3) Magnetron sputteringTarget의 이온화를 ... 크게 sputtering과 evaporation으로 나눌 수 있다.스퍼터링 (sputtering)의 원리스퍼터링은 DC 또는 RF 전원이 두 전극 사이에 가해지면 음극에서 방출, 가속된 ... (sputtering)의 종류1) DC sputtering소스2) RF sputtering부도체 박막을 증착 시키기 위해 개발된 방법으로, DC sputtering에서는 target이

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2015.12.07

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  스퍼터링(Sputtering) 결과 레포트

  이 현상을 스퍼터링 현상이라 하며, 튕겨나간 원자들이 음극 반대편에 위치한 접 전달한다는 점이다.스퍼터링은 DC Magnetron, RF Magnetron, BIAS, Reactive ... 등 스퍼터링 원리를 이용한 다양한 장비가 있다.- DC Sputtering직류 전원을 이용한 Sputtering 방법이다. ... 실험 목적RF - Magnetron Sputtering을 이용하여 500℃에서 ZnO 박막의 증착 및 분석2.

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2015.05.18

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  [고체 물리] 스퍼터링 결과 보고서

  Sputtering 실험1. 실험결과TargetCuSubstrate(name-orientation)SiliconChamber pressure(Torr)6.6 TIMES 10 ^{-3}Ar Flow(sccm)18Growth time(minute)402. 토의사항우리 실험..

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2018.07.30

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  투명전극(ITO)과 진공펌프 및 게이지와 스퍼터링의 종류들과 원리

  Reactive sputtering에 적합③DC/RF 마그네트론 스퍼터링 장치기존 스퍼터링 방법에 자기장을 사용하면 마그네트론이라는 단어를 붙여 마그네트론 스퍼터링 방법의 특징을 띄게 ... /RF 반응성 마그네트론 스퍼터링 장치로 한다.④이온 빔 스퍼터링 장치고속 입자를 발생시키는 또 하나의 방법은, 이온 원에서 발생한 이온 빔을 고진 공의 스퍼터실 내에 놓여진 타깃에 ... 된다.마그네트론 스퍼터링 장치는 타깃 표면에서 Ar 양이온의 충돌로 발생한 2차 전자를 자기장을 이용하여 방전 공간 안에 가둬둠으로써 매우 효과적으로 플라즈마를 형성할 수 있어 1mtorr

  리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2019.07.03 | 수정일 2019.07.04

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  [기초공학실험]Cu film의 전기적 특성 분석 실험

  DC sputtering에서는 target이 산화물이나 절연체일 경우 sputtering되지 않는다. ... 열전도성이 좋지 않아 열충격에 약하다.- 제한된 증착 속도로 증착 ⇒ 금속 target을 반응성 증착으로 절연막 형성- 생성된 막이 target의 조성과 반드시 일치하지 않는다.③ magnetron ... 스퍼터링에 의해 튀어나간 원자(스퍼터원자)를 기판 위에 퇴적시켜 박막을 만들며 이를 스퍼터링법 또는 물리적 증착 방법이라고 한다.1) Sputtering의 원리sputtering은

  리포트 | 8페이지 | 3,200원 | 등록일 2019.09.02 | 수정일 2020.08.10

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  VLSI공정 5장 문제정리

  sputtering은 13.56MHz의 RF power를 사용하여 자기 바이어스를 일으키므로 부도체 타겟도 가능하다.Magnetron 스퍼터링은? ... 증가한다.DC sputtering와 RF sputtering을 비교하여라.glow방전을 위해 DC power를 사용하는 것이 DC sputtering 이며 타겟으로 금속만 가능하다.RF ... 스퍼터링된 원자들은 진공을 통하여 이동하여 웨이퍼 표면에 증착된다.E-beam 증착과 비교하여 스퍼터링의 장점은?

  리포트 | 10페이지 | 4,000원 | 등록일 2018.06.05 | 수정일 2020.05.03

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  진공의 이해

  진공의 이해진공이란 진공의 단위 및 분류 증착 장비 Magnetron Sputtering 플라즈마 기초 및 응용분야 플라즈마란? ... , RF, MF로 구분되어 사용됨 (주로 DC 사용)Target의 Size, Cathode 형태, Target 물질에 따라서 선정 고려 (기본적인 Spec은 10kw,20kw(DC ... 진공증착 물리적 증착- Sputtering Sputtering Evaporation 플라즈마 기술의 장래성 플라즈마 산업기술 세계시장 현황 및 전망 일반 진공 이론 진공장치 구성(스퍼터링

  리포트 | 58페이지 | 2,000원 | 등록일 2018.06.10

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  증착법

  PVD1 열 증착법2 전자빔 증착법3 스퍼터링 법Ⅱ. 화학 기상 증착법2. ... 단점으로는 X-ray 발생과 E-beam source 위에 원자의 농도가 크므로 와류 또는 discharge가 심하다.1. 3 스퍼터링 법(Sputtering)스퍼터링이란, 진공 속에서 ... , RF, LF, 마그네트론 글로우 방전이라 하고 이러한 것들을 통칭하여 글로우 방전이라 부른다.플라즈마 내의 화학반응은플라즈마의 발생 및 유지에 중요한 역할을 함을 의미한다.

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2018.12.08

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  [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 예비보고서

  같은 DC 글로 방전 스퍼터링의 경우 음극에는 -500~1000V의 DC 전압()를 걸어 주고 양극은 접지를 시킨다. ... 따라서 양극 면적을 음극 면적보다 크게 하면 음으로 대전된의 크기가보다 커지므로 이온이 음극의 과녁과 충돌하게 된다.2.2 마그네트론 스퍼터링글로 방전 스퍼터링 챔버의 Ar 압력은 ... 마그네트론 스퍼터링에서는위 그림과 같이 자기장을 원형 음극의 중심과 가장자리 사이에 걸어주면, 자기장이 가능한 음극 면에 평행하도록 영구 자석의 극과 크기를 음극 밑에 배치한다.양극과

  리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03

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