(장치)[E-beam evaporator]E-beam evaporation은 chamber 내를 먼저 진공상태로 만든 후 증착하고자하는 증발 원을 전자빔으로 가열해서 기판위에 증발원을 ... Thermal & E-beam evaporatorPVD(Physical Vapor Deposition) 물리적 기상 증착 원리Thermal & E-beam evaporator(열 증착 ... 법 & 전자 증착 법)제출일전공과목학번담당교수이름서론Thermal & E-beam evaporator?
rate1000 atomic 작다Cost저렴하다비싸다① 전자빔 증착(electron-beam evaporator): e-beam evaporator는 각종 금속(Au, Al, Ti ... 발생ㆍe-beem source 위에 원자의 농도가크므로 와류 또는 discharge가 심하다※ 작동원리전자빔을 발생시켜 가속시키면 많은 에너지를 갖게 되며, 이 전자빔을 증착시키고자하는 ... 금속 박막의 증착장비 종류 및 특성- 금속박막 증착에는 일반적으로 물리 기상 증착(PVD)을 많이 사용한다.실험장비는 DC 스퍼터, RF 스퍼터, 마그네트론 스퍼터, E-beam evaporator
