"Electrostatic Chuck" 검색결과 1-4 / 4건

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  정전척(Electrostatic Chuck)

  정전척(Electrostatic Chuck)제1장 정전척(Electrostatic Chuck)제1절. ... 일반적인 정전척(Electrostatic Chuck)의 원리 및 구조지구상에 존재하는 표면장력, 반데르바알스힘 및 정전기력의 3가지 힘 중에서 정전척은 정전기력을 이용한 방법이다.정전기란 ... 디자인 고려사항정전척을 제작하여 반도체 장비에 응용하기 위해서 고려되어야 할 사항들은 다음과 같다.첫째, 정전척은 반도체소자 제조 공정에서 적절한 Chucking force와 웨이퍼

  리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.03.18

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  반도체 진공 장비(DRY ETCHER 장비)

  HVDC*ESC (Electrostatic chuck)정전척(Electrostatic Chuck)은 반도체 및 LCD 제조장비의 진공 챔버 내부에 기판이 놓이는 곳으로 정전기의 힘을

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.11.17

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  폴리싱 Polishing (연마)

  : Mechanical Chuck과 Electrostatic Chuck이 있다.③ 공정을 위한 Gas를 공급하는 Gas supply system④ 공정을 위해 Plasma를 발생시키기 ... 압력을 유지하면서 Process를 진행하기 위한 Chamber와 Vacuum system② Wafer가 Load되어 공정 진행 시 Wafer의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있는 Chuck ... 위한 Plasma Source⑤ Plasma Source 및 Chuck에 Energy를 공급하기 위한 RF System⑥ 공정의 끝을 Detecting하기 위한 EPD (End Point

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.06.05

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  [재료공학,금속공학] Polishing 그리고 Gray cast iron

  : Mechanical Chuck과 Electrostatic Chuck이 있다.③ 공정을 위한 Gas를 공급하는 Gas supply system④ 공정을 위해 Plasma를 발생시키기 ... 압력을 유지하면서 Process를 진행하기 위한 Chamber와 Vacuum system② Wafer가 Load되어 공정 진행 시 Wafer의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있는 Chuck ... 위한 Plasma Source⑤ Plasma Source 및 Chuck에 Energy를 공급하기 위한 RF System⑥ 공정의 끝을 Detecting하기 위한 EPD (End Point

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.06.03

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