"Focused-Ion-Beam" 검색결과 1-20 / 59건

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  Cross-sectional TEM Specimens Priparation of Precisely Selected Regions of Semiconductor Devices using Focused Ion Beam Milling

  한국재료학회 김정태, 김호정, 조윤성, 최수한

  논문 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  (특집) 포토공정 심화 정리17편. X-RAY Photo공정, FIB 공정

  < Focused Ion Beam(FIB) >??* Focused Ion Beam(FIB)- Ion beam : EUV, X-ray, E-Beam 보다 더 짧은 파장. ... 펨토미터 단위- 주로 Ga+(갈륨이온) 이온빔을 조사에 사용- Writing : Mask가 없이 Layout에 따라 Ion beam을 이용해 Direct 증착 / 식각? ... - 단점 1) 고강도의 X-선 발생 장치 제조가 어려움 2) 양산 Mask 제작 어려움(고가) 3) Lens를 통한 Focus 불가4) Throughput ~ 50wph?

  리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.08.16

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  (특집) 포토공정 심화 정리16편. EBL, FIB 노광기법

  < FIB(Focused Ion Beam) >? ... * FIB(Focused Ion Beam)- Ion beam : EUV, X-ray, E-beam 보다 더 짧은 파장(펨토미터 단위)- 주로 Ga+갈륨이온 이온빔을 조사에 사용- Writing ... : Mask 없이 Layout에 따라 Ion beam을 이용해 Direct 증착 / 식각?

  리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.08.16

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  나노측정 및 표면 분광학 최종 정리 족보

  monoenergetic X-ray beam이 샘플의 표면으로부터 photoelectron을 방출시켜 검출한다.ultrahigh vacuum 환경이 요구되며,Cylindrical Mirror ... primary ion을 샘플에 가하여 방출되는 secondary atomic ion을 detecting 후 mass analyzer로 분석하여 결과 SpectroscopyIR은 Surface ... 하여 관측할시 focusing 하지 않았던 부위와의 재료적 차이가 크게끔 contamination 되므로 낮은 진공도 환경에서 본다.Astigmatism(비정수차)Electron

  시험자료 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2019.10.16 | 수정일 2019.10.22

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  기기분석2 현미경 레포트

  SEM(Scanninnsmission Electron Microscope), FIB(Focused Ion Beam)과 같이 전자나 이온을 이용한 장치를 사용해 추측이 맞는지 물리 해석을 ... FIB의 반도체 응용FIB를 이용한 기술은 회로 수정, FIB Cross Section, TEM Sampling, Ion Channeling Contrast, 3D 나노 구조 형ion에 ... .- 일정 높이 방식(constant-height mode) : p전류의 흐름을 관찰할 수 있다.- 일정 전류방식(constant-current mode) : 터널링 전류가 동일하게

  리포트 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.08.31

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  원자현미경 (Atomic Force Microscopy)

  이 문제를 개선하기 위해 FIB (focused ion beam) 로 탐침의 옆면을 깎아 내서 종횡비를 높인 것이 아래그림 (b) 이다. ... 보편적인 Si 탐침 끝에 전자빔 (e-beam) 으로 탄소를 증착시켜 직경 20nm 정도의 가느다란 탄소 바늘을 형성시킨 것이 아래그림 (c) 이다. ... X-ray diffraction 이것은 표본의 결정을 통과한 x-ray의 회절을 측정하는 방법으로 원자 수준의 구조를 이끌어 내는 것에 사용된다.

  리포트 | 18페이지 | 4,000원 | 등록일 2020.06.26

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  수원대학교 화학공학과 나노화학공학 기말고사 정리본

  -사진 인쇄 기술과 비슷하게 빛을 이용하여 복잡한 회로 패턴을 제조하는 방법-Litho=석판(Mask)-Photo graphy=빛을 이용하는 그래프* Focused Ion Beam ... Lithography (FIBL): much heavier ion을 사용하고 hard material (반도체, 금속, 세라믹) 위에 강력한 에너지로 충격을 줘서 제조* Deposition ... -2차원: 평면(나노판, 나노박막)-3차원: (나노벌크/복합소재)*나노소재-소자-플랫폼-소프트 플랫폼 기술: ex)발열 겉옷-소프트나노소재+나노공정+나노소자+플랫폼 기술 ⇒나노기반

  시험자료 | 5페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.08.16

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  생산공학 연세대 기말고사대비 자료 중요예상문제 및 답안 정리 [A+]

  Focused Ion Beam milling(FIB)모멘텀이 비교적 큰 이온을 EM field로 집속시켜서 직접 material을 때려서 깎아내는 것이 가능하다. ... E-beam 리소그래피마스크 없이 E-beam을 이용하여 몰드를 제작한다. Electro 느리다.3. ... 공정속도는 아주 느리지만, 마이크로 수준 이하의 해상도로 패터닝이 가능하다. beam focusing 기술과 정밀 제어 기술이 필요하다.전자빔, 이온빔 리소그래피는 진공에서 진행되므로

  리포트 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2019.06.30 | 수정일 2020.04.07

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  약품분석학 4-9단원 요약집

  이온을 analyzer tube로 민다5) ion focus plate의 작은 포텐셜이 focused 이온 빔 형성6) 이온 가속 판 사이에의 높은 전압은 이온이 ion source에서 ... ion을 focusing 하는 역할로 mass filter 기능은 없다. ... 구름에 싸여 있기 때문에 고유진동수를 계산하기 어렵고 따라서 유기화합filament에서 방출된 electron은 70eV의 Ek를 갖게 된다2) 어떤 분자는 electron beam과

  시험자료 | 15페이지 | 3,800원 | 등록일 2017.11.13 | 수정일 2024.01.27

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  e-비즈니스3공통) 유비쿼터스 컴퓨팅과 유비쿼터스 네트워킹은 엄밀한 의미에서 동일한 것을 지칭하지 않는다. 어떤것이 더 포괄적인 개념인지 기술하시오0k

  집속 이온빔 나노제조(focused ion beam lithography)의 기본적인 방법은 전자빔 리소그래피(e-beam lithography)와 크게 다르지 않다. ... 다시 말하면 일반전화망이 아닌 Internet망에서 사용하는 경우는 동의어가 된다.개인서비스 판매형태는 Phone-to-Phone과 PC-to-Phone이 있다. ... -나노쉘- 선택적으로 암세포로 접근하여 폭발하는 매직탄환이라고도 불리는 나노쉘은 실리콘과 같은 부전도체 핵을 다양한 두께의 금속껍질로 감싸고 있는 구조로 되어있음.

  방송통신대 | 7페이지 | 5,000원 | 등록일 2017.03.14

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  SEM과 FIB의 원리

  Ion Beam) Dual-Beam (FIB-SEM) SystemsFIB(Focused Ion Beam) Lift-Out Technique Micro-manipulator ▶ Detach ... ion imageFIB(Focused Ion Beam) FIB : MillingFIB(Focused Ion Beam) FIB : DepositionFIB(Focused Ion Beam ... 30 0 Infinite X-ray 0 0.7 0FIB(Focused Ion Beam) Ion vs.

  리포트 | 48페이지 | 2,500원 | 등록일 2013.06.04

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  Atom Probe Tomography: A Characterization Method for Three-dimensional Elemental Mapping at the Atomic Scale

  한국분말야금학회 Pyuck-Pa Choi, Ivan Povstugar

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.01 | 수정일 2023.04.05

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  박막의 두께, 미세조직, 조성 분석방법 조사

  SEM의 구성요소- Vacuum system - Remove air molecules- Electrical Optical System - Focus an자를 발생시킨 뒤 전자 렌즈계를 ... SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy)3.6. 조성 분석방법 비교요약1. 두께 분석방법1.1. ... 정의- 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)은 전자가 표본을 통과하는 것이 아니라 초점이 잘 맞추어진 전자선 electron beam을 표본의

  리포트 | 21페이지 | 2,000원 | 등록일 2017.01.06 | 수정일 2017.05.14

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  GMAW를 응용한 박판 이종용접에 대한 CMT 기술 개발

  TEM 관찰에 이용한 시료는 전자선이 투과될 수 있도록 충분히 얇게 가공할 필요가 있어 FIB법을 이용하여 시험편을 제작하였다.FIB(Focused Ion Beam)법은 수μm이하의 ... 열처리에 의해 금속간 화합물이 성장Fig.10 Macrostructure of specimen after tensile shear testFig.11 Result of tensile-shear ... 있다.어떤 시료에서도Al모재의 용착금속이 녹아 들어가 있지만 용착금과SPCC계면이 확실히 구분되기 때문에 SPCC모재는 용융되어 있지 않은 것을 알 수 있다.Fig.4 Macro-structures

  리포트 | 16페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.05.23

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  SIMS 원리

  , shape, position the primary beam...PAGE:7Secondary Ion Extraction..PAGE:8Secondary Ion Transfer..PAGE ... Double Focusing SectorEnergy Analyzer..PAGE:11Mass Analyzer Double Focusing SectorMagnetic sector..PAGE ... -2/0.74um=1.35×e19atom/ccSilicon ion counts : 2.2×e8/s..PAGE:21Depth ProfilingRSF = CI × IM / II= 1.35

  리포트 | 24페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.06.04

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  FIB (Focused Ion Beam) 자료조사

  FIB 에 관한 내용정리 FIB(Focused Ion Beam) 1차례 FIB(Focus Ion Beam) 의 개요 -------------------------- 3 - 광원 ( ... 의 응용예 -------------------------------------------10 2FIB (Focus Ion Beam) 의 개요 Focus Ion Beam 장치는 집속빔을 ... Ion Beam 의 조사 ( 照射 ) Focus Ion Beam 장치에서는 Gallium Ion 에 의한 Ion Beam 을 Sample 에 조사 하면 Sample 표면으로부터 2

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.05.14

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  입자가속기-엑스레이 흡수 분광법 (X-ray Absorption Spectroscopy ,XAS)의 기초 이론 및 응용

  Be window Monochrometer Focusing mirror Ion chamber sample chamber Detector First ! ... 한국의 포항 방사광 가속기가 대표적인 예이다 .Beam line - 원형 입자 가속기 원형가속기의 모식도 . ... Beam line - 입자가속기 물질의 미세 구조를 밝히기 위해 원자핵 또는 기본 입자를 가속 , 충돌시키는 장치 . 원형 가속기 : 양성자를 가속 .

  리포트 | 37페이지 | 1,000원 | 등록일 2014.11.13

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  EUVL (Extreme Ultraviolet Lithography) for semiconductor processing

  but ion beam, lower energy6International Technology Roadmap for SemiconductorsPresent: 45nm node(193nm ... Projection Electron-beam Lithography)..PAGE:113. ... of the lens▶ Increase NA→ Larger lens, could be too expensive and unpractical→ Reduce DOF (Depth of Focus

  리포트 | 20페이지 | 3,000원 | 등록일 2012.06.26

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  전계방사형주사전자현미경 FE-SEM 원리

  Ion coating instrument Sample Holder 를 고정 Time Control → Start Pt-Pd 이온이 표면에 코팅된 sample샘플 코팅에 백금 - 팔라듐 ... 주사전자현미경 ( S canning E lectron M icroscope)차례Introduction Electron source (electron gun) 으로부터 방출된 electron beam ... 수록 굴곡이 심한 대상 표면의 상을 선명하게 볼 수 있음 . f : 초점거리 , N : 조리개 값 , c : 착란원의 크기 s : 피사체와의 거리 피사계 심도 (depth of focusing

  리포트 | 36페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.12.03

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  반도체 공정의 이해

  에는 동위원소를 포함해 여러 가지 Ion 들이 포함 되어있는데 analyzer 안에 들어있는 magnet 을 이용해 이온들을 제어한후 여기서 주입될 Ion 들만을 찾아낸다 이온주입을 ... 액체를 젤로 다시 젤을 고체물질로 변화시켜 막을 형성 Sputtering( DC/RF/magnetron ) Evaporation( Thermal/E-beam ) LPCVD( Low ... Evaporation ( 진공증착 ) : 고진공상태에서 기판에 증착하고자 하는 물질의 소스를 전기저 항을 이용해 가열 또는 e-beam 을 쪼여 고체상태의 원자를 기체 상태의 원자로

  리포트 | 29페이지 | 3,500원 | 등록일 2011.11.18

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