"Laser micromachining" 검색결과 1-20 / 21건

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  Microfabricated Silicon Solid Immersion Lens 발표자료

  manufactured with high yieldOpportunity for optical MEMS in telecommunicationsMOEMS Micro mirrors VOAs Tunable lasers ... spot close to wavelength in diameter Tolerance to errors in curvature and thickness is improved in micromachined ... SILSiliconSolid Immersion Microscopy with a Microfabricated SILImproved optical transparencyWell-developed micromachining

  리포트 | 18페이지 | 10,000원 | 등록일 2022.08.23

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  레이저 미세가공 기술을 이용한 초소형 전자빔 장치용 정전장 전자렌즈의 제작

  한국재료학회 안승준, 김대욱, 김호섭, 김영정, 이용산

  논문 | 5페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  MEMS

  MEMS 의 가공기술 표면 미세가공 (Surface micromachining) 몸체 미세가공 (Bulk micromachining) 나노머시닝 ( nanomachining ) 레이저 ... 미세가공 (Laser micromachining) LIGA( Lithographie , Galvanoformung , Abformung ) 방전 미세가공 (Electro discharge ... micromachining)3.

  리포트 | 40페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.06.08

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  [물리전자공학] Slilicon light source에 대한 고찰

  Survey Results1) VACUUM-SEALED SILICON MICROMACHINED INCANDESCENT LIGHT SOURCE백열성의 Silicon Light Source ... 비슷한 결과가 관찰되어지지만, laser-재결정 silicon은 설명할 수 없다. 게다가 그 장치는 room temperature나 그보다 높은 온도에서 매우 효과적이다.

  리포트 | 10페이지 | 2,500원 | 등록일 2014.10.19

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  마이크로열유체-MEMS

  MEMS 가공기술 표면 미세가공(surface micromachining) 몸체 미세가공(bulk micromachining) 나모머시닝(nanomachining) 레이져 미세가공( ... laser micromachining) LIGA(Lithographie, Galvanoforumung, Abformung) 방전 미세가공(electro discharge micromachining

  리포트 | 8페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.09.13

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  [예비 / 결과레포트] 유기물을 이용한 마이크로 패턴 제작

  At this time, we used the material which is printed by laser printer within point 10 letters. ... in HAR silicon micromachining the thickness can be from 10 to 100 μm. ... with comb structures and in-plane operation typical of surface micromachining.

  리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.12.23

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  [과제물]MEMS 논문 요약 3

  -13Thermal Ink Jet(TIJ) 프린터는 고해상도의 컬러 인쇄를 값싸고 빠르게 할 수 있어 사무용 프린터 시장의 상당부분을 차지하는 추세이지만 인쇄 속도와 품질에 있어 레이저 ... ER 밸브 장치는 TMAH를 이용한 bulk micromachining에 의해 제작되었으며 장치의 도식은 Fig. 2와 같다.ER 밸브에 5.0 kV를 가했을 때, 유체의 흐름은 두 ... Bulk micromachining을 이용하여 측벽이 54.7°의 각을 이룬다.고밀도 TIJ 시스템의 온도를 비선형 해석으로 분석한 결과 2W의 파워가 2μs동안 가해졌다고 가정했을

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.10.05

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  MEMS

  .1980년대 이후 surface micro machining 기술로 기판을 손대지 않고, 기판위에 증착된 희생 박막을 에칭해서 박막으로 된 3차원 구조물을 만들게 되었다.현재 LIGA, LASER ... 이것이 바로 ‘마이크로머시닝(Micromachining)’이다.마이크로머시닝 기술의 탄생이 오늘날의 MEMS 시대를 시작하게 해주었다.4. ... 마이크로머시닝(Micromachining)실리콘의 기계적인 성질이 전기적인 성질 못지않게 좋다는 사실을 알아내고 차츰 실리콘을 가지고 마이크로한 크기의 기계적 구조를 만드는 연구를

  리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.03.11

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  현미경의 역사와 종류, 특징

  것이다.레이져 현미경은 Laser의 특징인 직진성, 단색성, 단파장을 이용하온현미경(Field Ion Microscope:FIM)은 발명자 E.W.뮐러(1951년 발명)의 이름을 따서 ... 거칠기 측정, 단면형상계측.3) 전자현미경으로 관찰하기 어려운 절연시료 (고분자, 유기박막, 세라믹) 관찰.4) 대기중, 배약액중의 생체시료 관찰5) IC 패턴, 광 Device, Micromachine ... 현미경(Confocal Laser Scanning microscope)앞서 광학현미경을 잠시 설명했지만 현미경의 해상도는 광원의 파장과 렌즈의 NA값에 의해 결정 된다는 것을 알

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.10.27

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  MEMS 란

  나노 영역에 이르는 미세구조를 실현할 수 있지만, 주사형 터널 현미경(STM : Scanning Tunneling Microscope)의 프로브 등으로 가공하는 것도 가능하다.- 레이저 ... 미세가공 (laser micromachininig)- LIGA (Lithographoe, Galvanoformung, Abformung)- 방전 미세가공 (electro discharge ... MEMS 란 마이크로머신이 느끼고 생각하며, 운동하는 시스템을 일컫는다.뿐만 아니라, 깊은 식각을 하는 벌크 마이크로 머시닝 기술(bulk micromachining)과 LIGA 기술

  리포트 | 3페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.09.11

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  의용초음파 초음파 트랜스듀서의 종류

  정전용량형 초음파트랜스듀서 (Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer)- cMUT는 실리콘웨이퍼 위에 얇은 북 가죽(drumhead) 모양의 ... (물리적 증착), CVD(화학적 증착), LPCVD(저압식화학적 증착), PECVD(플라즈마 화학적 증착) 같은 증착 기술, ③ 습식 화학적 식각, 플라즈마 식각, 스퍼터 식각, 레이저

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.04.27

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  정밀절삭가공의 이론과 실제(MEMS)

  그 후 검사하고자 하는 시료와 반응시킨 후 레이저를 이용하여 활성화 된 상태를 관찰한다. ... )뿐만 아니라, 깊은 시각으로 하는 벌크 마이크로머시닝 기술(bulk micromachining)과 LIGA기술(lithographie, Galvano-formung, Abformung ... 이를 제작하는 기술은 반도체 칩을 만드는 실리콘 기판에 밸브, 모터, 펌프, 기어 등의 미세 기계요소 부품을 3차원구조로 만들기 위해서는 표면 가공 기술(surface micromachining

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.12.11

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  Atomic Force Microscope

  주파수의 범위가 넓어야 한다...PAGE:9원자현미경의 탐침은칸틸레버(cantilever)라고 불리우는 작은 막대(100 ㎛×10 ㎛×1 ㎛)끝에 달려있으며 이들은 마이크로머시닝(micromachining ... 레이저를 입사시켜 반사되어 나온 레이저를 PSD(Position Sensitive Detector)를 이용하여 측정함으로써 변위를 측정하는 방법이 많이 쓰임.탐침을 시료표면에 근접시키면 ... AFM의 구조다이오드 레이저광감지기칸틸레버 (Cantilever)압전 소자 스캐너(Piezoelectric scanner)AFM의 구조 및 원리..PAGE:4AFM의 원리칸틸레버에

  리포트 | 14페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.06.27

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  의용 초음파 트랜스듀서의 종류

  정전용량형 초음파트랜스듀서 (Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer)- cMUT는 실리콘웨이퍼 위에 얇은 북 가죽(drumhead) 모양의 ... (물리적 증착), CVD(화학적 증착), LPCVD(저압식화학적 증착), PECVD(플라즈마 화학적 증착) 같은 증착 기술, ③ 습식 화학적 식각, 플라즈마 식각, 스퍼터 식각, 레이저

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.10.19

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  포토리소그래피(Photolithography)

  PR4) 광가공(Photofabrication), 광식각(Photoetching)- 고정밀 전자·기계부품- TV shadow mask, IC lead frame 가공- MEMS, Micromachine ... PR (KrF, ArF)- 전자선, X-선 레지스트- 감광성 폴리이미드- Laser direct writing (LDW) resist3) 인쇄회로기판(PCB) 가공용 포토레지스트( ... 감광성 flexo판- 스크린 인쇄판- Off-press color proof2) 미세가공용 포토레지스트(PR)- G-선 및 I-선 PR- 원자외선(deep UV), excimer laser

  리포트 | 9페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.11.30

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  [전자재료]텅스텐(W)과 구리(Cu)의 비저항 및 MEMS

  식각법 등으로 나노 영역에 이르는 미세구조를실현할 수 있지만, 주사형 터널 현미경(Scanning Tunneling Microscope; STM)의프로브등으로 가공하는 것도 가능▶ 레이저 ... .○ 가공 기술▶ 표면 미세가공(surface micromachining)희생층(sacrificial layer)을 식각(etching)으로 제거함으로써 기판 위에 기계적으로움직이는 ... 구조, 또는 경첩으로 서 있는 구조를 만드는 기술로 이전의 LSI 처리에적용하기 쉬운 특징▶ 몸체 미세가공(bulk micromachining)반응성 이온 식각법(RIE; reactive

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.14

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  AFM 구동원리 및 측정방법

  최근에는 AFM과 형광현미경, 공집점 레이저 현미경(Confocal Laser Scanning Microscope), 전반사(Total Internal Reflection : TIRF ... 샘플의 높이 변화에 따라 진동 진폭이 변하게 되고 이 변화는 팁 반대편에 조사된 레이져 빔이 반사될 때에 변화를 초래하게 된다. ... 원리Nanostructured Materials Lab원자현미경의 탐침은 칸틸레버(cantilever)라 고 불리우는 작은 막대 (100 ㎛×10 ㎛×1 ㎛) 끝에 달려있으며 이들 은 마이크로머시닝 (micromachining

  리포트 | 20페이지 | 4,000원 | 등록일 2007.06.22 | 수정일 2023.07.20

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  광결정(Photonic Crystal)

  Band Gap을 보자.A material with a photonic band gap can be built (a) from a lattice made of layers of micromachined ... 이 레이저는 특수한 구조로 된 반도체 기판에 아주 적은 양의 전류를 흘려주면 빛이 증폭돼 발생하는 것으로, ‘전기만 연결하면’ 레이저를 구동할 수 있게 돼 관련 학계로부터 ‘실용화의 ... 빛이 유리제 물자에 의해 실제로 인도되지 않기 때문에, 아주 high-power laser 신호는 섬유에 따라서 그것 손상 없이잠재적으로 전달될 수 있었다광결정 구조의 미래와 가능성은

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.08.12

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  전기전자공학 - 마이크로, 나노 기계(MICRO,NANO MACHINE , mems)

  손대지 않고, 기판위에 장착된 희생 박막을 에칭해서 박막으로 된 3차원 구조물을 만들게 되었다. mems에서 말하는 3차원 구조 란 반도체에 비해 두께가 훨씬 크다.현재 LIGA, LASER ... 몇 가지 새로운 센서 기술은, 초미세분광 영상화(hyperspectral imaging), 활성 레이저 탐지, 무인 지상 센서들, FOPEN(Foilage Penetration) 레이더를 ... 전자-기계-광-재료-화학 분야 등의 집약 기술인 만큼 MEMS 구조, 부품, 시스템 등을 제조하기 위한 공정 기술도 실로 다양하다.MEMS 용 주요 기술- 실리콘 몸체의 가공(Bulk micromachining

  리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.09.19

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  광감성 포토레지스트를 이용한 패턴형성

  (마) 엑사이머 레이저용 포토레지스트 재료1980년대 초부터 15년여의 연구개발로 새로이 등장한 KrF 레지스트 재료의 구조는 전까지 사용되던 노볼락 수지(NR)와 유사한 poly( ... 고속으로 근접 효과를 보정한 것으로 0.1㎛ ), 광식각(Photoetching)- 고정밀 전자·기계부품- TV shadow mask, IC lead frame 가공- MEMS, Micromachine

  리포트 | 16페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.11.30

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