"Soft-lithography" 검색결과 1-20 / 118건

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  숭실대 Soft-lithography 예비보고서

  Soft-lithography의 의미 및 원리Soft-lithography는 일반적으로 Photo-lithography에서 사용하는 장치들을 사용하는 것이 아닌 Soft한 몰드를 사용하여 ... 실험 제목 : Soft-lithography2. 배경 및 이론1. ... Soft-lithography-예비보고서-숭실대학교 유기신소재파이버공학과과목명신소재공학실험2(나)조반조원지도교수담당조교학번제출일이름1.

  리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2022.10.05

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  숭실대 Soft-lithography 결과보고서

  Soft-lithography-결과보고서-숭실대학교 유기신소재파이버공학과과목명신소재공학실험2(나)조반조원지도교수담당조교학번제출일이름1. ... 실험 제목 : Soft-lithography2. 실험 날짜 : 2021년 11월 25일 (목요일)3. ... 실험 목적 : Negative PR 과 Etching 공정 이해Silicone elastomer 를 이용한 Soft lithography 이해Base 와 Curing agent 의

  리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.10.05

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  논문 Soft lithography for micro- and nanoscale patterning 을 한국어로 번역 및 요약한 내용.

  바이오멤스 및 바이오칩 REPORT4Soft lithography for micro- and nanoscale patterning포토리소그래피 (photolithography)는 생물학적 ... 세 번째, 포토 리소그래피는 표면 화학을 거의 또는 전혀 제어하지 못하며 곡선이거나 비평면의 기판에는 적용 할 수 없다.소프트 리소그래피 (Soft lithography)는 특히 저렴한 ... micromolding (SAMIM), phase-shifting edge lithography, nanotransfer printing, decal transfer lithography

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.08.31

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  (특집) 포토공정 심화 정리18편. Soft Lithography

  Soft Lithography >?* Soft Lithography? ... 없는 공정- 비교적 저렴한 공정 가격, More flexible- Soft Lithography의 종류는 크게 Micro Contact Printing / MIMIC / Nanoprint ... - Molding, Printing, Material Transferring을 이용한 Lithography- Energetic Beam(전자, 이온)이나 조사(DUV, X-ray)가

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.08.16

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  AFM 발표자료

  스크래치 방식 Bottom-up 방식 PR 을 이용한 방식리소그래피 (Lithography) Part 3전세영 - Sample Part 3Part 3 LeftPart 3Part 3 ... mode Soft 한 tip 사용시 인력에 의해 cantilever – 시료가 접촉해 시료 표면 손상가능 → hard 한 tip 사용 해상도는 떨어지지만 , scan 속도 빠름 Un-contact ... Saebyeol’s PowerPoint Lithography리소그래피 (Lithography) Part 3 석판인쇄라고도 하며 매끄러운 석판이나 금속을 이용하여 인쇄하는 기법입니다

  리포트 | 28페이지 | 1,500원 | 등록일 2022.11.17

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  폴리다이메틸실록세인(PDMS)을 이용한 표면 구조의 복제(PDMS Soft Lithography)

  실험제목 : 폴리다이메틸실록세인(PDMS)을 이용한 표면 구조의 복제(PDMS Soft Lithography)2. 실험날짜 : 2021. 11. 153. ... 결과 및 고찰 - 오차원인 및 해결방안 - sylgard polymer base와 경화제의 비율을 10:1로 하는 이유

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2022.11.04

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  Photo lithography 결과보고서

  [결과1-3]은 [결과1-1]보다는 더 선명한 결과 이지만 기판 위 부분에 제거되지 않은 구리가 보인다.1주차 실험을 마치고 결과를 개선하기위해 Soft Baking과 Hard Baking을 ... Photo Lithography결론 : Photo Lithography 실험을 통해 Photo Lithography 공정의 과정을 이해하고 실제로 실험을 진행하고 조건을 달리하여 원하는 ... [그래프1] 1주차 실험의 스핀코터 작동스핀코터 과정이 끝난 후에는 핫플레이트 위에서 100oC에서 1분 동안 Soft Baking 작업을 거쳤다.Soft Baking 작업 후 기판을

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2019.10.13

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  숭실대 Photo-lithography 결과보고서

  Photo-lithography-결과보고서-숭실대학교 유기신소재파이버공학과과목명신소재공학실험2(나)조반조원지도교수담당조교학번제출일이름1. ... PR을 도포한 뒤, Spin coater로 박막 코팅한다.(1000 rpm, 10 sec)③ Soft baking - Hot plate를 이용하여PR 용액의 용매를 날린다.(110 ... 실험 제목 : Photo-lithography2. 실험 날짜 : 2021년 11월 18일 (목요일)3.

  리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.10.05

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  반도체공정 photo lithography 발표자료

  Lithography 공정 step1.PR coating 구성 - solvent( 용제 ) : 감광제가 기판에 도포되어 사용될 때까지 액체 상태 유지 - polymer( 다중체 ) ... 현상 (Development) 150℃ 정도의 Hot Plate위에서 Wafer 가열 균일도 유지를 위해 솔벤트를 제거 Photo Resist를 경화 #Soft Baking과의 차이점 ... -Litho( 돌 )+graphy( 그림 ) = 석판술 - 회로패턴을 웨이퍼 위에 옮기는 공정#1.what’s photolithography?

  리포트 | 23페이지 | 2,500원 | 등록일 2021.06.03

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  (특집) 포토공정 심화 정리8편. 노광설비의 종류와 Mask Aligner의 설비구조

  * Lithography methods(노광방식)? ... (Vacuum, Hard, Soft, Proximity contact)? ... - Mask의 Pattern을 그대로 Wafer에 전사하는 설비 (1:1로 노광)- 노광계 / 구동부 / Wafer stage로 구성됩니다.?

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.08.16

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  포토공정(Photo-lithography)이란? , 과정

  목 차 포토공정 포토공정 과정포토공정 ( Photo-lithography ) 이란 ? ... 쏘여 원하는 패턴을 형성하는 과정※ 감광성 – 빛에 반응하여 분자구조가 바뀜 Positive PR PR (Photo Resist) Negative PR포토공정 포토공정 (Photo-lithography ... Soft Bake 도포한 PR 과 함께 남아있는 Solvent 를 제거하고 기판과의 접착을 강화하는 과정 5.

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2020.07.09 | 수정일 2020.07.11

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  고분자 photolithography 결과보고서

  Soft-bake와 PEB의 차이점은? ... Soft-bake과정은 PR코팅을 진행한 다음에 남아있는 용매의 농도를 최소화하는 동시에 Photoresist의 밀도를 증가시켜주는 과정입니다. ... 또한 CAR PR를 사용하는 경우 Soft-bake가 아닌 PEB(post exposure bake)과정을 통해 온도를 높여주어야만 화학증폭반응이 일어나게 됩니다.2.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2021.04.30

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  (특집) 포토공정 심화 정리15편. EUV Photo공정

  - Extreme UV : 극초단파, 실제 Lithography에 사용되는 파장은 13.5nm, Soft X-ray???* EUV 노광 시스템?? ... - DUV와 달리 빛이 Mask를 투과하지 못함- Quartz 대신 반사형 물질의 Mask 필요, Cr 대신 TaBO/TaBN, TaNo/TaN 등의 광흡수 물질을 이용해 패턴형성- ... to Reticle, Reticle to Wafer 구현합니다.- 어마어마한 갯수의 반사막을 써야합니다.

  리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.08.16

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  부산대학교 MEMS 실험 3 (박막형 반도체 가스센서) 결과 보고서

  실험 방법3p1) Lithography and Lift-off(Bottom electrode)2) Sensing layer deposition by Sputtering3) Lithography4 ... 실험 방법 (※ 실험에서 사용된 웨이퍼는SiO_2/Si이다.)1) Lithography and Lift-off(Bottom electrode)(1) PR Lithography1. ... Soft Baking3.

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.05.17 | 수정일 2023.05.10

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  숭실대 Metal strain sensor 제작 및 성능 분석 결과레포트

  결과Photo lithography 과정은 저번 실험에서 진행하였기 때문에 이번실험에서는 Ecoflex monomer 와 crosslinker를 1:1로 섞고, E-beam Evaporator로 ... resist coatingSi wafer 위에 PR(AZ 5260)을 도포한 뒤, Spin coater로 박막 코팅한다.(3000rpm, 30 sec)③ Soft bake스핀코팅 ... -Sample A의 저항은 기울기의 역수이기 때문에, R = -10^6/9 이다.-Sample B의 저항 또한 기울기의 역수이기 때문에, R = -1*10^5 이다.

  리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.10.05

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  [성균관대][전자재료실험][A+] 전자재료실험 최종발표 ppt 자료입니다. 많은 도움 되었으면 좋겠습니다.

  특성분석 , 동아대학교 , 1992 그림 8 lithography( 특집 포토레지스트 재료 - 화상형성용 유기 감광재 , 한국화상학회지 , 4, 45 (1998) 사진파일 엄금용 ... 순서 : E-beam 으로 Metal 을 증착 – Cleaning – 표면 화학 처리 – PR 도포 – Soft baking – Mask alignment – exposure – development ... ※C-V measurement - Capacitance 측정분석 방법 I-V measurement - 측정을 통하여 나온 그래프를 비교하여 변수에 따라 어떠한 차이가 있는지 확인을

  시험자료 | 15페이지 | 1,500원 | 등록일 2022.02.06

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  [고분자재료실험]ITO patterning 결과레포트

  (pre-bake)Soft bake 과정은 도포한 PR과 남아있는 용매를 4~7% 까지 제거하고 기판과의 접착을 강화하기 위함이다. ... 실험목표OLED/PLED/OTFT/OPV device의 투명전극으로 사용되는 ITO를 원하는 pattern으로 식각하는 법을 습득한다.Photo lithography에 사용하는 각 ... coater를 이용하여 도포한다.Soft baking: PR과 남아있는 용매를 4~7% 까지 제거하고 기판과의 접착을 강화한다.Expose: mask를 씌워서 UV를 쬐어준다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.01.21

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  나노화학실험 SAMs & DTP 예비보고서

  lithography-Photolithography는 pattern size의 제약이 있으며, 평면이 아닌 곳에 적용이 어렵다. ... 접착력 행상제, 계면활성제, 경화제, 산화방지제 등 다양한 제품이 쓰인다.[5.3] Etching : 포토공정 후 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 공정[6.1] Soft ... 이러한 점을 극복하고자 등장한 방법이 soft lithography이다. soft lithography 방법은 soft한 유기물질 (작용기를 갖는 alkane과 고분자 물질)을 사용하여

  리포트 | 9페이지 | 5,000원 | 등록일 2020.06.30 | 수정일 2020.07.05

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  Microscale Patterning with Photolithography and Etching Processes_결과레포트

  Result실험과정위의 사진에서 1000nm, 500nm, 300nm, 10nm의 마스크를 사용하여 lithography를 진행하였다. ... Soft baking을 통해 PR 코팅 후 웨이퍼를 구워서 UV expose 전에 PR 속의 solvent를 적절하게 제거해야 한다. ... 속도-단순한 공정-높은 정확도-미세 패턴 형성단점-낮은 정확도-화학물질 오염-PR 하부도 식각할 수 있음-고비용-느린 속도-복잡한 공정Discuss the critical factors

  리포트 | 6페이지 | 3,000원 | 등록일 2023.12.12

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  photolithography 공정 과정 결과보고서

  우리는 pattern 형성을 위해 빛의 파장을 줄이는 방법을 모색해야 하는데, 과거로부터의 몇 가지 이력을 보면 아래와 같다.1985: Mercury lamp i-line(365nm ... PhotolithographyPrupose of experiment반도체 8대 공정 하나인 Photo lithography를 즉, 포토 공정을 직접경험하여 원하는 패턴을 wafer위에 ... 그 순서에 맞게 설명하면 아래와 같다.Wafer 준비Wafer를 아무런 준비 없이 감광제 코팅을 하게 되면 wafer와 감광제 사이에 이물질이 간섭하여 mask 무늬를 조사하는 lithography

  리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.01.28

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