"Spatial ALD" 검색결과 1-3 / 3건

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  ALD ppt 발표 자료

  gas-diffusion barriers/ https://slidetodoc.com/advances-in-atomic-layer-deposition-of-semiconductor-device-2/ Spatial ... Atomic layer deposition) ALD 최근 기술 동향 기존의 ALD : Precursor 가 기판에 접촉하는 면적 , 위치 제어 불가능 ↓ AS-ALD : 전구체 ( ... Multiple patterning 3D NAND FinFET DRAM DRAM 의 Capaciter 유전막Enhanced ALD - UV ALD PE-ALD 3D Atomic control

  리포트 | 7페이지 | 2,000원 | 등록일 2023.11.10

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  광운대학교 박막재료공학 이()() 교수님 A+ 시험 공부 자료

  ALD:MOCVD:PLD:I-PVD:Uniformity:Step coverage등등 - 특성 차이 종류 ... Solidification:Aspect ratio:Gap filling:Spin on glass:Spin on dielectrics:APCVD:LPCVD:PECVD:HDPCVD:ALCVD:Spatial

  시험자료 | 26페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.12.21 | 수정일 2023.12.22

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  원자층증착 기술: 개요 및 응용분야

  한국재료학회 신석윤, 함기열, 전희영, 박진규, 장우출, 전형탁

  논문 | 18페이지 | 5,200원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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