ZrC+2CO(2) 7ZrO2+5B4C→7ZrB2+3B2O3+5CO(3) ZrO2+5C+B2O3→ZrB2+5CO(4) 2ZrO2+B4C+3C→2ZrB2+4CO(5) 2ZrO2+2B2O3 ... 이를 보완하기 위해 Carbon이나 SiC fiber에 의해 강화된 ZrB2 composite 으로의 적용이 고려되었다. ... 그러나 ZrB2계 섬유강화 복합체의 제조 및 물성에 대해서는 보고가 미비한 상태에 있으며, 이는 몇 가지 극복해야 할 요소들이 있기 때문이다.다음의 표3.은 ZrB2 composites에
composition Easy mechanism Good adhesion Safe processGood step coverage단점Bad step coverageHigh impurity ... Using toxic gas Hardware complexity적용공정Ti, TiN, Al, Co, W, ……WSix, W, TiN, Ti, Al, …… SiO2, Si3N4, SiON ... -Electron beam Evaporation 증착재료의 용융점이 높은 경우(W,Nb,Si..)에 사용 Hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 beam을 전자석에 의해