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SPM & FIB 정의 슬라이드

*태*
최초 등록일
2014.10.24
최종 저작일
2014.10
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목차

1. SPM 정의 및 원리
2. SPM의 종류
3. FIB
4. 발전동향

본문내용

1. SPM의 정의 및 원리

SPM(scanning probe Microscope) 이란?
-STM 과 AFM을 통칭하여 부르는 현미경
-대상의 표면을 분자, 원자 단위의 미세한 단위를 3차원으로 관찰
-Nano scale의 분해능을 가지고 있어 단순한 관찰 뿐만 아니라 나노 구조물을 제어 또는 조작가능

SPM(scanning probe Microscope) 원리
-날카로운 탐침에서 나오는 빛 또는 전자등의 신호를 보내주면 그 신호가 재료의 표면에 반사되고 반사된 신호를 수집하여 증폭 대상을 IMAGE화 시키는 것
-크게 탐침이 접촉하는 방식과 비접촉방식으로 나뉘어진다.




참고 자료

없음
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