SPM(Scanning Probe Microscope) & AFM (Atomic Force Microscope)의 장치 비교 및 각각의 역사, 이론, 원리

소개글

재료 표면 분석 장비인 SPM(Scanning Probe Microscope) 와 AFM (Atomic Force Microscope)의 비교 설명 및 각각의 장비에 대한 역사, 이론, 원리, 구성 부품에 대해 설명한 자료 입니다.

목차

1. SPM의 개요
-SPM이란?
-역사
-STM과 AFM장치 비교
-현미경과 AFM

2. AFM과 관련 부품
- AFM 장치 설명
- AFM 에서 scanner 원리
- AFM 에사용하는 TIP
- 개략적인 실험작동 순서

3. AFM의 원리와 종류
-AFM의 원리및 장단점
- 작용하는 힘과의 관계
1) Contact Mode 의 원리
2) Non-contact Mode 의 원리
3) Tapping Mode 의 원리
4) 장단점

4. 기타
-해상도
-tip의 형태와 이미지와의 관계

본문내용

SPM(Scanning Probe Microscope) 이란?
- STM 과 AFM을 통칭하여 부르는 용어

STM : 최초로 개발된 주사탐침 현미경
• 탐침 : 도전체 표면에 가느다란 텅스텐이나 백금선을 부식시켜
원자 몇 개만 끝에 있음.
• 시료와 탐침(probe)거리가 원자 한 두개 크기이내로 매우 근접
• 시료와 탐침 양단간에 약간의 전압 걸어 흐르는 tunnel전류를 이용
• 시료표면의 궤적을 주사하여 형상화 하는 장치

AFM : Cantilever끝에 달려있는 뾰쪽한 부분과 시료표면과의 사이
원자반발력 (인력과 척력의 작용)
• Cantilever 휘는 정도를 레이저 광의 굴절을 통해 표면정보 수집

참고 자료

없음